哈尔滨工业大学朱浠文获国家专利权
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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120102927B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510192140.1，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法是由朱浠文;揣荣岩;王健行;乔子明设计研发完成，并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法在说明书摘要公布了：本发明公开了重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法，属于MEMS传感器技术领域。该敏感芯片由梳齿电容层和弹性梁结构层重叠放置构成，二者之间通过氧化层键合在一起。除阻尼系数小的优势外，还具有以下三方面优点：一是梳齿电容与弹性梁重叠放置的结构无需额外占用芯片面积，利于微小型化的同时还可降低芯片成本；二是梳齿电容与弹性梁重叠放置的结构，避免了平面放置时弹性梁占用质量块周围分布梳齿的空间，大幅增加了梳齿数量，有效增大了梳齿结构的电容量；三是重叠结构使弹性梁可以在质量块周围对称分布，显著降低了X轴和Y轴方向的交叉耦合影响。
本发明授权重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法在权利要求书中公布了：1.重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片，其特征在于：包括梳齿电容层1和弹性梁结构层2，梳齿电容层1和弹性梁结构层2键合构成整体结构；整体结构上包括质量块3和边框4，梳齿电容层1由n型或p型单晶硅制作，其上分布有第一区域5，在第一区域5上制作有与边框4相连的固定梳齿6，在第一区域5上制作有与质量块3相连的可动梳齿7，梳齿电容层1上分布有金属层的区域8、9、10，在区域9和10上刻蚀有与弹性梁结构层2上的SOI顶层硅相通的通孔11、12；弹性梁结构层2上制作有弹性梁13，质量块3通过弹性梁13和边框4相连接；固定梳齿6和可动梳齿7通过蒸镀了金属层的区域8、9与外部电路连接成加速度检测电路，将加速度信号转换成电信号输出； 弹性梁结构层2上制作有对称分布的弹性梁13； 梳齿电容层1和弹性梁结构层2通过氧化层键合。
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