广州中科飞测科技有限公司张龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广州中科飞测科技有限公司申请的专利晶圆图像预处理方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120672664B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510661536.6，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权晶圆图像预处理方法、装置、设备及存储介质是由张龙;杜爽;朱燕明;陈鲁设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆图像预处理方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆图像预处理方法、装置、设备及存储介质，其中方法包括：获取待测晶圆的初始待检图像；对初始待检图像进行噪声分布估计，定位初始待检图像中的高亮缺陷区域；对高亮缺陷区域进行平滑处理，得到平滑图像以及高亮缺陷区域与平滑图像上对应区域的差值图像；对平滑图像进行频域滤波操作，得到滤波图像；将差值图像叠加至滤波图像上的对应区域，得到最终待检图像。本发明通过将晶圆衍射图像中的高亮缺陷区域定位并分离出来，再对图像的其余部分进行频域滤波操作，最后将高亮缺陷区域对应的差值图像叠加至滤波后的图像，完成图像重建，保留了高亮缺陷的形态特征，不会对后续缺陷的检出和分类造成影响。
本发明授权晶圆图像预处理方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆图像预处理方法，其特征在于，其包括： 获取待测晶圆的初始待检图像； 对所述初始待检图像进行噪声分布估计，以基于每个像素点的预设邻域范围内的参考像素值计算该像素点的像素阈值，将像素值超过像素阈值的像素点所构成的区域，作为所述初始待检图像中的高亮缺陷区域； 对所述高亮缺陷区域进行平滑处理，得到平滑图像以及所述高亮缺陷区域与所述平滑图像上对应区域的差值图像； 对所述平滑图像进行频域滤波操作，得到滤波图像； 将所述差值图像叠加至所述滤波图像上的对应区域，得到最终待检图像。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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