合肥孚烜自动化科技有限公司周春获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥孚烜自动化科技有限公司申请的专利一种光刻胶灌装状态监测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120740662B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511086889.4,技术领域涉及:G01D21/00;该发明授权一种光刻胶灌装状态监测系统及方法是由周春;赵国飞;王飞;唐春铭设计研发完成,并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻胶灌装状态监测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及工业过程状态监控技术领域,具体为一种光刻胶灌装状态监测系统及方法;所述系统包括:微压脉冲控制单元采集反射压力变化信号,建立液柱长度与压力之间的对应关系,输出压力断裂判断结果;声学感知判别单元采集液柱断裂声压信号,构建非接触式液柱终点状态识别机制,输出声学断裂判断结果;多通道智能决策单元使用双态容疑自证机制判断压力断裂判断结果真伪并结合声学断裂判断结果,输出最终液柱断裂判断信号;灌装过程数据记录单元记录每次灌装过程中的终点判定相关参数、断裂判断结果与终点控制反馈信息。本发明通过微压脉冲施加与反射压力信号分析相结合,并引入声学判定,对光刻胶灌装末端液柱终点状态进行精准监控。
本发明授权一种光刻胶灌装状态监测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种光刻胶灌装状态监测系统,其特征在于,包括: 微压脉冲控制单元1,微压脉冲控制单元1用于向灌装管道施加微压脉冲,同时采集反射压力变化信号,建立液柱长度与压力之间的对应关系,并在液柱长度接近处于临界长度阈值区间时发出断裂触发指令,并输出液柱断裂状态的压力断裂判断结果; 声学感知判别单元2,声学感知判别单元2用于采集液柱断裂声压信号,并计算声谱能量变化、振幅波动率及持续时间指标构建非接触式液柱终点状态识别机制,输出液柱断裂状态的声学断裂判断结果; 多通道智能决策单元3,多通道智能决策单元3使用双态容疑自证机制动态判断压力断裂判断结果真伪并结合声学断裂判断结果,输出最终液柱断裂判断信号; 所述多通道智能决策单元3中,双态容疑自证机制用于对压力断裂判断结果进行可信性评估,并主动识别潜在误判模式,在压力断裂判断结果被识别为不可信时,结合声学断裂判断结果对液柱断裂状态进行辅助判断验证;所述双态容疑自证机制包括误判识别模型与声学补偿模块; 灌装过程数据记录单元4,灌装过程数据记录单元4用于记录每次灌装过程中的终点判定相关参数、断裂判断结果与终点控制反馈信息。
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