浙江赛瑾半导体科技有限公司姚庆利获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江赛瑾半导体科技有限公司申请的专利一种具有防撞挡板的晶圆盒获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121772664B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610255128.5,技术领域涉及:H10P72/10;该发明授权一种具有防撞挡板的晶圆盒是由姚庆利;王登科;李闯;童明设计研发完成,并于2026-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有防撞挡板的晶圆盒在说明书摘要公布了:一种具有防撞挡板的晶圆盒,其包括盒体,晶圆储存盒,限位挡板。所述晶圆储存盒设置有储存槽。所述限位挡板包括挡板,防撞结构。所述挡板包括挡板主体,侧挡板,连接结构。两个所述防撞结构均包括防撞部,导正部。每个所述防撞部均包括防撞面,接触槽,第一接触点,第二接触点。所述导正部包括连接端,插入端,引导斜面。与现有技术相比,本发明通过设置所述防撞部,避免所述挡板主体主体与晶圆片直接接触,而因为碰撞造成晶圆损伤,同时可以对晶圆片进行抵顶,避免晶圆片发生偏移,从而起到防护作用。通过设置所述导正部,在扣合所述盒盖时对从所述晶圆储存盒内滑出的晶圆片进行引导和修正,保证晶圆片排列整齐,保证所述防撞部的防护作用。
本发明授权一种具有防撞挡板的晶圆盒在权利要求书中公布了:1.一种具有防撞挡板的晶圆盒,其特征在于:所述具有防撞挡板的晶圆盒包括一个盒体,一个设置在所述盒体内的晶圆储存盒,以及一个设置在所述盒体内的限位挡板,所述盒体包括一个底板,以及一个扣合在所述底板上的盒盖,所述晶圆储存盒设置有多个储存槽,所述限位挡板包括一个挡板,以及两个设置在所述挡板上的防撞结构,所述挡板包括一个挡板主体,两个与所述挡板主体两侧的侧挡板,以及多个设置在所述挡板主体上的连接结构,所述挡板主体平行于所述挡板座设置,两个所述侧挡板设置在所述挡板主体的两侧,两个所述防撞结构分别设置在两个所述侧挡板上,并均包括一个固定在所述侧挡板上的防撞部,以及一个位于所述防撞部一侧的导正部,所述防撞部的长度的延伸方向与晶圆在所述晶圆储存盒内的排列方向一致,所述防撞部在垂直于其延伸方向的截面上,采用内部中空的圆拱形状,每个所述防撞部均包括一个弧形的防撞面,一个设置在所述防撞面上的接触槽,一个位于所述接触槽一侧的第一接触点,以及一个位于所述接触槽另一侧的第二接触点,在同一个垂直于所述防撞部延伸方向的截面上,所述接触槽的圆心和所述防撞面的圆心的连线与所述储存槽的几何中心间隔设置,且两个防撞部的所述接触槽的圆心和所述防撞面的圆心的连线分居于所述储存槽的几何中心的两侧,以使偏离所述储存槽的几何中心的晶圆能撞击在所述第一接触点或第二接触点上,所述导正部设置在所述防撞部的端部,并位于所述防撞部的朝向所述底板的一端,所述导正部包括一个与所述防撞部相连的连接端,一个位于远离所述防撞部一端的插入端,以及一个位于所述连接端与插入端之间的引导斜面,所述连接端到所述侧挡板表面的距离大于所述插入端到所述侧挡板表面的距离,所述连接端与侧挡板之间通过所述引导斜面连接,形成一个锥体状的结构。
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