极光先进雷射株式会社石田启介获国家专利权
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龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利气体激光装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116918196B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180093444.2,技术领域涉及:H01S3/104;该发明授权气体激光装置和电子器件的制造方法是由石田启介设计研发完成,并于2021-03-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体激光装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了:气体激光装置具有:激光振荡器,其包含一对放电电极和激光侧谐振器,该一对放电电极相互对置地配置且通过施加电压而利用激光气体产生光,该激光侧谐振器使光进行谐振;放大器,其包含放大部和放大侧谐振器;分束器,其使来自激光侧谐振器的光的一部分反射;光传感器,其检测被分束器反射的光;以及处理器,其根据光传感器的输出对电压进行控制。放大侧谐振器包含后镜和放大侧输出耦合镜,激光侧谐振器包含光栅和激光侧输出耦合镜。在电压低于电压的阈值的情况下,处理器将电压维持在阈值以上的固定值。
本发明授权气体激光装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种气体激光装置,其具有: 激光振荡器,其包含一对放电电极和激光侧谐振器,该一对放电电极相互对置地配置且通过施加电压而利用激光气体产生光,该激光侧谐振器使所述光进行谐振; 放大器,其包含对透过所述激光侧谐振器的所述光进行放大的放大部和使由所述放大部放大的所述光进行谐振的放大侧谐振器; 分束器,其使来自所述激光侧谐振器的所述光的一部分反射; 光传感器,其检测被所述分束器反射的所述光;以及 处理器,其根据所述光传感器的输出对所述电压进行控制, 所述放大侧谐振器包含: 后镜,其使来自所述激光侧谐振器的所述光的一部分透过,使来自所述激光侧谐振器的所述光的另外一部分朝向所述激光侧谐振器反射,使由所述放大部放大的所述光的一部分朝向所述激光侧谐振器透过,使由所述放大部放大的所述光的另外一部分反射;以及 放大侧输出耦合镜,其使由所述放大部放大的所述光的一部分反射,使由所述放大部放大的所述光的另外一部分透过, 所述激光侧谐振器包含: 光栅,其使利用所述激光气体产生的所述光反射;以及 激光侧输出耦合镜,其使利用所述激光气体产生的所述光的一部分反射,使利用所述激光气体产生的所述光的另外一部分朝向所述分束器透过,使来自所述后镜的所述光的一部分朝向所述分束器反射, 在所述电压低于所述电压的阈值的情况下,所述处理器将所述电压维持在所述阈值以上的固定值。
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