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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种加热盘基准位置调节方法及调节装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116988047B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311061141.X，技术领域涉及：C23C16/52；该发明授权一种加热盘基准位置调节方法及调节装置是由潘丽君;刘振;张恩慈;万亿设计研发完成，并于2023-08-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种加热盘基准位置调节方法及调节装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种加热盘基准位置调节方法及调节装置，用于对镀膜设备内部腔室中加热盘的空间位置进行对准调节，调节方法包括：在加热盘上安装水平检测器；在真空环境下调节所述加热盘水平度，通过所述水平检测器检测以确认所述加热盘处于水平姿态；在常压下，调节所述加热盘水平度，通过所述水平检测器检测以确认所述加热盘处于水平姿态；在常压下，对所述加热盘进行对中调节，使所述加热盘中心与所述镀膜设备的内部腔室中心对准，确定为所述加热盘的基准位置。本申请通过水平检测器与工装结构的结合实现水平调节与对中调节，可大大降低晶圆镀膜设备的生产成本。

本发明授权一种加热盘基准位置调节方法及调节装置在权利要求书中公布了：1.一种加热盘基准位置调节方法，用于对镀膜设备内部腔室中加热盘的空间位置进行对准调节，其特征在于，包括： 在加热盘上安装水平检测器；所述水平检测器为与所述加热盘的表面平行的水平检测盘； 在所述内部腔室顶部的水平开口上架设基准工装，所述基准工装在所述水平检测器上方形成与水平开口所在平面平行的基准检测面； 在真空环境下，采用至少三个竖直延伸且绕所述加热盘中心轴线均匀分布的第一螺杆调节加热盘移动；通过所述水平检测盘检测所述基准工装上的检测点至所述水平检测盘的竖直距离；其中，所述检测点包括在所述基准工装上的同一平面上的至少三个点；锁紧所述第一螺杆以锁定所述加热盘的水平姿态； 在常压下，采用至少三个竖直延伸且绕所述加热盘中心轴线均匀分布的第二螺杆调节加热盘移动；通过所述水平检测盘检测所述基准工装上的检测点至所述水平检测盘的竖直距离；锁紧所述第二螺杆以锁定所述加热盘的水平姿态； 在常压下，对所述加热盘进行对中调节，使所述加热盘中心与所述镀膜设备的内部腔室中心对准，确定为所述加热盘的基准位置。

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