南方科技大学于严淏获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利区域选择性沉积的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117265506B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311164463.7，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权区域选择性沉积的方法是由于严淏;王皓川;李春设计研发完成，并于2023-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本区域选择性沉积的方法在说明书摘要公布了：本申请属于半导体的技术领域，提供了区域选择性沉积的方法，包括：获取所述半导体基底；构筑液态密封层于所述掩膜板的一侧端，将带有所述液态密封层的一端置于所述半导体基底上；沉积指定材料至所述液封掩膜板。本申请通过液态密封层填充于基底和掩膜板的间隙中，防止原子层沉积在不需要的区域生长的问题，有效填充掩膜板和基底之间的所有间隙，直至分子水平，从而实现密封基底和掩膜板间的间隙的效果，以解决原子层沉积在不需要的区域生长的技术问题。
本发明授权区域选择性沉积的方法在权利要求书中公布了：1.一种区域选择性沉积的方法，其特征在于，包括： 获取半导体基底； 构筑液态密封层于掩膜板的一侧端，将带有所述液态密封层的一端置于所述半导体基底上，形成液封掩膜板； 沉积指定材料至所述液封掩膜板； 其中，所述液态密封层包括原油分馏和或脱芳构化得到的长直链烷烃油或全氟聚醚，且所述长直链烷烃油的碳原子的数量大于等于六，且小于十六。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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