上海微电子装备(集团)股份有限公司庆大伟获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119065205B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310639359.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备是由庆大伟设计研发完成，并于2023-05-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备在说明书摘要公布了：本发明提供了一种物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备，所述物镜的调试方法包括：获取物镜的当前像质、灵敏度矩阵及当前参数，输出可调镜片的若干初始调整量；将初始调整量编码作为个体，并输出初始化的种群；结合物镜的灵敏度矩阵，建立物镜的像质适应度函数，计算种群的像质适应度值；采用遗传算法，利用像质适应度函数，对种群进行迭代至种群成熟，并输出可调镜片基于当前像质的最优调整量；将最优调整量应用于物镜，获得物镜的优化像质。本发明中，将本实施例通过理论所获得最优调整量应用于物镜的调试，不仅可利用该最优调整量快速收敛像质，提高物镜的调试效率，还可简化物镜的调试流程，提高物镜的调试进程。
本发明授权物镜的调试方法、调试装置、存储介质及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种物镜的调试方法，所述物镜包括若干可调镜片，其特征在于，包括： S1：获取所述物镜的当前像质及灵敏度矩阵、若干所述可调镜片的当前参数，输出所述可调镜片的若干初始调整量；所述灵敏度矩阵为所述物镜响应于所述当前参数变化的波像差变化； S2：对所述初始调整量进行实值编码形成个体，以所述可调镜片的可调范围及调整精度为约束，对种群执行初始化，得到初始化的种群； S3：结合所述物镜的灵敏度矩阵，计算所述种群的各项波像差RMS值；基于各项波像差RMS值建立种群的像质适应度函数，计算所述种群的像质适应度值； S4：采用遗传算法，利用所述像质适应度函数，对所述种群进行迭代至所述种群成熟，并输出所述可调镜片基于当前像质的最优调整量； S5：将所述最优调整量应用于所述物镜，获得所述物镜的优化像质。
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