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龙图腾网获悉上海盛韬半导体科技有限公司申请的专利一种半导体液源中频感应加热的双回路控制方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121751418B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610230862.6，技术领域涉及：H05B6/06；该发明授权一种半导体液源中频感应加热的双回路控制方法及系统是由甘万;沈颉;江福荣;李桢设计研发完成，并于2026-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体液源中频感应加热的双回路控制方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种半导体液源中频感应加热的双回路控制方法及系统，属于半导体制造配置设备技术领域。其中，该方法包括：获取中频感应电频率，同步调节谐振频率，提供液源加热控制基础；构建温度‑压力双回路反馈曲线通过比例积分算法动态调节逆变输出功率，对中频感应加热电流的幅值与分布进行控制；通过差分串行通信协议经双绞屏蔽线及差分信号接口传输至柔性加热线圈，感应涡流加热液源；基于无风扇冷却方案控制感应涡流热源温度，并关联中频感应电频率调节冷却强度，当监测到液源温度偏离预设安全冷却温度区间时，基于内置安全联锁逻辑在负载阻抗异常时执行功率限制。

本发明授权一种半导体液源中频感应加热的双回路控制方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种半导体液源中频感应加热的双回路控制方法，其特征在于，包括： S1：获取中频感应电频率，基于全桥绝缘逆变拓扑架构控制输出中频交流电的频率范围，并通过锁相环同步调节谐振频率，使逆变输出频率始终跟踪负载谐振点，提供液源加热控制基础； S2：构建温度-压力双回路反馈曲线实时采集液源瓶壁温度、压力信号，并与对应的目标设定值进行比较，生成温度偏差信号和压力偏差信号，通过比例积分算法动态调节逆变输出功率，对中频感应加热电流的幅值与分布进行控制，生成定向涡流加热信号； S3：根据所述定向涡流加热信号感应电流形成的回流路径，构建闭合电磁屏蔽回路，并通过差分串行通信协议经双绞屏蔽线及差分信号接口传输至柔性加热线圈，感应涡流加热液源； S4：基于无风扇冷却方案控制感应涡流热源温度，并关联中频感应电频率调节冷却强度，当监测到液源温度偏离预设安全冷却温度区间时，基于内置安全联锁逻辑在负载阻抗异常时执行功率限制。

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