祎智量芯(江苏)电子科技有限公司董胜龙获国家专利权
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龙图腾网获悉祎智量芯(江苏)电子科技有限公司申请的专利基于MEMS传感器的气体热物性参数辨识方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121830824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610297043.3,技术领域涉及:G01N27/18;该发明授权基于MEMS传感器的气体热物性参数辨识方法及系统是由董胜龙;符子建;李龙;段所行设计研发完成,并于2026-03-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于MEMS传感器的气体热物性参数辨识方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及气体检测与热物性分析技术领域,具体为基于MEMS传感器的气体热物性参数辨识方法及系统。包括:向加热元件施加多频交流激励电流,使其产生两倍基准频率的焦耳热波动并引起电阻同频波动;通过锁定放大电路提取三倍频输出电压信号,利用相敏检测分解为同相与正交分量,进而计算复数温升并构建复数热阻抗模型;基于复数热阻抗模型实部信号随频率变化的斜率计算导热系数,由虚部及相位延迟提取热扩散率;最终结合关联模型解耦并输出体积比热容。本发明通过三倍频频率域阻抗分析实现多维热学参数的高精度解耦,有效滤除漂移干扰,解决了复杂组分气体在微尺度下难以精准辨识的难题。
本发明授权基于MEMS传感器的气体热物性参数辨识方法及系统在权利要求书中公布了:1.基于MEMS传感器的气体热物性参数辨识方法,其特征在于,包括: 向MEMS传感器的加热元件施加多频交流激励电流;使所述加热元件产生两倍基准频率的焦耳热波动,引起所述加热元件的电阻值产生同频波动; 通过锁定放大电路实时检测并提取所述加热元件两端产生的三倍频输出电压信号;利用相敏检测技术将所述三倍频输出电压信号分解为与所述交流激励电流同相位的同相分量信号以及与所述交流激励电流存在相位偏差的正交分量信号;根据所述同相分量信号和所述正交分量信号计算所述加热元件的复数温升,结合所述焦耳热波动构建待测气体的复数热阻抗模型;利用所述同相分量信号、所述正交分量信号以及所述加热元件的电阻温度系数,计算所述加热元件在两倍基准频率下的复数温升幅值及相对于交流激励电流的相位滞后;根据所述交流激励电流的有效值与所述加热元件的电阻基值,计算所述加热元件产生的焦耳热波动功率,定义为输入至待测气体环境的动态热流矢量;将所述复数温升幅值与所述动态热流矢量进行复数除法运算,得到所述复数热阻抗模型; 基于所述复数热阻抗模型的实部信号随所述基准频率对数变化的斜率计算待测气体的导热系数;基于所述复数热阻抗模型的虚部信号及相位延迟提取待测气体的热扩散率;计算导热系数和热扩散率的步骤包括:提取所述复数热阻抗模型中实部信号在预设频率段内的数值,建立所述实部信号与所述基准频率的线性映射关系;计算所述线性映射关系的斜率,结合所述加热元件的几何特征参数,反演得到待测气体的导热系数;利用所述复数热阻抗模型的虚部信号,结合所述导热系数,通过截距拟合计算提取得到待测气体的热扩散率; 利用所述导热系数和所述热扩散率,结合关联模型,解耦并输出待测气体的体积比热容,对混合气体的组分比例进行定量分析;输出体积比热容的步骤包括:根据热扩散率与导热系数、体积比热容之间的物理关联公式,建立待测气体的热学参数特征矩阵;所述物理关联公式满足热扩散率等于导热系数除以体积比热容的数学关系;将所述计算得到的导热系数与提取得到的热扩散率代入所述物理关联公式,通过数值除法运算解耦出待测气体的体积比热容。
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