常州大学沙翔获国家专利权
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龙图腾网获悉常州大学申请的专利一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224221842U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520938880.0，技术领域涉及：B05C15/00；该实用新型一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置是由沙翔;杨国泉;谭常乐;李宁;唐昕怡;王思诺;刁东起;曾芳磊;张昊设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置。包括安装有密封门的真空旋涂箱，所述真空旋涂箱的两端分别连接涂覆单元和抽真空系统，所述真空旋涂箱内底部固定连接有底板，顶部连接有所述预烘机械臂，所述底板上连接有用于安装晶圆的静电吸附支撑台。本申请的一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置解决了现有装置未能实现真空涂胶与预烘的集成控制的技术问题。
本实用新型一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置在权利要求书中公布了：1.一种带有预烘功能的光刻胶旋涂装置，其特征在于：包括安装有密封门的真空旋涂箱1，所述真空旋涂箱1的两端分别连接涂覆单元和抽真空系统，所述真空旋涂箱1内底部固定连接有底板11，顶部连接有预烘机械臂3，所述底板11上连接有用于安装晶圆9的静电吸附支撑台43； 所述预烘机械臂3的执行端固定连接有最外端具有滤光片33的灯罩31，所述灯罩31内电连接有若干加热光源32，所述加热光源32位于灯罩31底壁与滤光片33之间，所述预烘机械臂3用于带动灯罩31移动到晶圆9的正上方，所述加热光源32通过滤光片33将预定波长的辐射能量透过传递给晶圆9。
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