浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司谢龙辉获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224222129U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520532300.8，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型清洗设备是由谢龙辉;张杭军;蒲涛;王凯;赵旗;范国帅;夏希林;柴宏录设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洗设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种清洗设备，该清洗设备包括第一清洗组件和第二清洗组件。第一清洗组件包括清洗机构和驱动件，清洗机构用于清洗晶圆，驱动件用于驱动清洗机构移动。第二清洗组件包括清洗槽和喷洗件，喷洗件用于清洗清洗机构，喷洗件至少部分位于清洗槽内；驱动件能够驱动清洗机构处于清洗位置，当清洗机构处于清洗位置时，清洗机构至少部分位于清洗槽内。通过上述设置，清洗机构对晶圆进行清洗，当清洗机构无法对晶圆进行有效清洗时，驱动件将清洗机构驱动至清洗槽内，使得喷洗件对清洗机构进行清洗，从而去除清洗机构上的污染物，以提高清洗机构的晶圆清洗效果。
本实用新型清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种清洗设备100，用于清洗晶圆，其特征在于，所述清洗设备100包括： 第一清洗组件11，所述第一清洗组件11包括用于清洗晶圆的清洗机构111以及驱动所述清洗机构111移动的驱动件112； 第二清洗组件12，所述第二清洗组件12包括清洗槽121以及用于清洗所述清洗机构111的喷洗件122，所述喷洗件122至少部分位于所述清洗槽121内； 所述驱动件112能够驱动所述清洗机构111处于清洗位置，当所述清洗机构111处于所述清洗位置时，所述清洗机构111至少部分位于所述清洗槽121内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江求是半导体设备有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司，其通讯地址为：311100 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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