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龙图腾网获悉深圳市联合睿智电子有限公司申请的专利一种半导体晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224222139U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520728604.1，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种半导体晶圆清洗装置是由康庆海;肖丽君设计研发完成，并于2025-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体晶圆清洗装置，涉及半导体工艺技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱上部分的下表面固定连接有排水管，所述清洗箱上部分的前面固定连接有操作面板，所述清洗箱上部分的内腔固定连接有清洗组件，所述清洗组件中部的下表面搭接有支撑固定组件。本实用新型所述的一种半导体晶圆清洗装置，通过液压杆的作用，使连接块和支撑架能够在导杆和U型连接板的作用下向上移动，从而使支撑架的上表面与固定壳的下表面搭接，此时若干半导体晶圆位于固定壳和支撑架之间，从而便于上下料，其中通过橡胶垫的作用，使支撑架在上移至固定壳的下表面时不会与其发生磕碰，从而起到防护的作用。

本实用新型一种半导体晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体晶圆清洗装置，包括清洗箱1，其特征在于：所述清洗箱1上部分的下表面固定连接有排水管5，所述清洗箱1上部分的前面固定连接有操作面板2，所述清洗箱1上部分的内腔固定连接有清洗组件3，所述清洗组件3中部的下表面搭接有支撑固定组件4，所述支撑固定组件4的左右两侧与清洗箱1的内腔固定连接； 所述支撑固定组件4包括液压杆41，所述液压杆41上部分的外壁与清洗箱1的内腔固定连接，所述液压杆41的输出端固定连接有连接块42，所述连接块42的前面固定连接有支撑架43； 所述清洗组件3包括固定壳32，所述固定壳32的左右两侧与清洗箱1的内腔固定连接，所述固定壳32的上表面固定连接有清洗液箱31且清洗液箱31和固定壳32位于液压杆41的前方，所述固定壳32的下表面与支撑架43的上表面搭接，所述清洗液箱31的左右两侧均固定连接有水泵33，两个所述水泵33的相反侧固定连接有输送管道一34，所述输送管道一34下部分的外壁与固定壳32的内腔固定连接。

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