山东有研艾斯半导体材料有限公司于亚迪获国家专利权
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龙图腾网获悉山东有研艾斯半导体材料有限公司申请的专利一种用于硅片盒清洗的装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224222263U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520679826.9，技术领域涉及：B08B9/20；该实用新型一种用于硅片盒清洗的装置是由于亚迪;王玥;库黎明;于兴瑞;李耀东;闫志瑞设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于硅片盒清洗的装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于硅片盒清洗的装置。该装置包括：整机支架、机械手、片盒支架、片盒支架分离机构，其中，整机支架的一端设有片盒支架定位卡槽和片盒支架分离机构；机械手设于整机支架的另一端，用于盒盖的拆卸和安装；片盒支架为分体式结构，包括片盒固定支架和位于片盒固定支架顶部的片盒压紧支架，由片盒固定支架和片盒压紧支架构成片盒和盒盖的固定支撑空间；片盒支架分离机构具有两个片盒压紧支架夹爪，分别设置于片盒支架的两侧，用于片盒固定支架上的片盒压紧支架的拆卸和安装。本实用新型在提高工作效率和提升清洗设备稳定性方面有较高收益，在避免人工操作所带来的污染的同时，也规避了人工操作带来的其他风险。
本实用新型一种用于硅片盒清洗的装置在权利要求书中公布了：1.一种用于硅片盒清洗的装置，其特征在于，该装置包括：整机支架、机械手、片盒支架、片盒支架分离机构，其中， 整机支架的一端设有片盒支架定位卡槽和片盒支架分离机构；机械手设于整机支架的另一端，用于盒盖的拆卸和安装； 片盒支架为分体式结构，包括片盒固定支架和位于片盒固定支架顶部的片盒压紧支架，由片盒固定支架和片盒压紧支架构成片盒和盒盖的固定支撑空间； 片盒支架分离机构具有两个片盒压紧支架夹爪，分别设置于片盒支架的两侧，用于片盒固定支架上的片盒压紧支架的拆卸和安装。
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