苏州铭显精密仪器有限公司庞亮获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州铭显精密仪器有限公司申请的专利一种能够调整光路的扫描探针显微镜激光测头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224231796U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521024721.6，技术领域涉及：G01Q20/02；该实用新型一种能够调整光路的扫描探针显微镜激光测头是由庞亮;黄良君;邱宇晗设计研发完成，并于2025-05-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能够调整光路的扫描探针显微镜激光测头在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种能够调整光路的扫描探针显微镜激光测头，包括光源发出模块、光源接收模块、扫描探针、反光镜一和反光镜二，所述光源发出模块发射的光线通过反光镜一反射后落入到反光镜二上，所述反光镜二将接收的光线反射到光源接收模块上；所述反光镜二置于一安装基板上，所述安装基板上还设置有用于调整反光镜二反射光线方向的位置调整模块一。本方案通过设置反光镜一和反光镜二，在光学杠杆放大效应下能够将悬臂的纳米级偏转转化为光斑位移的微米级变化，显著提升检测灵敏度，纵向分辨率可达亚纳米级，同时，在本方案中，通过位置调整模块一对反光镜二的位置进行调整，能够有效的纠正不同探针悬臂角度的偏差。
本实用新型一种能够调整光路的扫描探针显微镜激光测头在权利要求书中公布了：1.一种能够调整光路的扫描探针显微镜激光测头，包括安装台，所述安装台上设置有光源发出模块、光源接收模块及扫描探针6，其特征在于：还包括有反光镜一4和反光镜二10，所述光源发出模块发射的光线通过反光镜一4反射后落入到反光镜二10上，所述反光镜二10将接收的光线反射到光源接收模块上； 所述安装台上还设置有用于调整反光镜二10反射光线方向的光路调整模块。
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