中微半导体设备(上海)股份有限公司王亚军获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利电磁线圈组件及半导体加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224232426U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520763154.X，技术领域涉及：H01F5/00；该实用新型电磁线圈组件及半导体加工设备是由王亚军;周国祥设计研发完成，并于2025-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本电磁线圈组件及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种电磁线圈组件及半导体加工设备。所述电磁线圈组件包括：直流电源；电磁线圈；电流转向器，连接在所述电磁线圈和所述直流电源之间；所述电流转向器包括第一磁性开关和第二磁性开关，所述第一磁性开关和所述第二磁性开关包括动触点、常开触点和常闭触点；所述第一磁性开关的动触点连接所述电磁线圈的第一端，常开触点和常闭触点分别连接所述直流电源的正极和负极；所述第二磁性开关的动触点连接所述电磁线圈的第二端，常开触点和常闭触点分别连接所述直流电源的负极和正极，所述第一磁性开关和所述第二磁性开关同步切换。本实用新型能够方便控制电磁线圈的电流方向，提高沉积工艺的稳定性和产品质量。
本实用新型电磁线圈组件及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种电磁线圈组件，其特征在于，包括： 直流电源； 电磁线圈； 电流转向器，连接在所述电磁线圈和所述直流电源之间； 所述电流转向器包括第一磁性开关和第二磁性开关，所述第一磁性开关和所述第二磁性开关包括动触点、常开触点和常闭触点；所述第一磁性开关的动触点连接所述电磁线圈的第一端，常开触点和常闭触点分别连接所述直流电源的负极和正极；所述第二磁性开关的动触点连接所述电磁线圈的第二端，常开触点和常闭触点分别连接所述直流电源的正极和负极，所述第一磁性开关和所述第二磁性开关同步切换。
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