无锡迪渊特科技有限公司王迪杏获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡迪渊特科技有限公司申请的专利一种可快速冷却的加热环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224232640U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520856769.7，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种可快速冷却的加热环是由王迪杏;彭冬冬设计研发完成，并于2025-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可快速冷却的加热环在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体公开了一种可快速冷却的加热环，包括加热环本体，所述加热环本体呈圆环形中空结构，所述螺旋冷却通道设置于加热环本体的内部，所述螺旋冷却通道的两端分别连接设于加热环本体底部的介质入口和顶部的介质出口，所述加热层包括蛇形排布的电阻加热丝，所述散热鳍片设置有多个且沿圆周方向均匀分布于加热环本体的外侧壁，通过螺旋冷却通道与散热鳍片的协同作用，实现快速升降温及温度均匀控制，氮化铝陶瓷隔热层减少热损耗，提升加热效率，一体化结构增强散热性能，延长使用寿命，适配多种冷却介质，模块化设计便于维护，降低能耗及运行成本，显著提高蚀刻工艺稳定性和生产效率。
本实用新型一种可快速冷却的加热环在权利要求书中公布了：1.一种可快速冷却的加热环，其特征在于：包括： 加热环本体1，所述加热环本体1呈圆环形中空结构； 螺旋冷却通道2，所述螺旋冷却通道2设置于加热环本体1的内部，所述螺旋冷却通道2的两端分别连接设于加热环本体1底部的介质入口3和顶部的介质出口4； 加热层，所述加热层包括蛇形排布的电阻加热丝5，所述电阻加热丝5设置于加热环本体1的上表面； 散热鳍片6，所述散热鳍片6设置有多个且沿圆周方向均匀分布于加热环本体1的外侧壁。
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