无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司张惠贤获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利一种电容耦合等离子体处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224232641U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521009333.0，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种电容耦合等离子体处理装置是由张惠贤;戴尤燕;杨文宾;孙文彬设计研发完成，并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电容耦合等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开一种电容耦合等离子体处理装置。其中电容耦合等离子体处理装置包括喷淋块、电极组件、石英环、支撑环和上盖，喷淋块连通于供气源，喷淋块的下方设置有喷淋孔；电极组件连接于喷淋块的喷淋孔的下方，电极组件设置有与喷淋孔连通的气孔；石英环环设于喷淋块，石英环用于承载喷淋块；支撑环环设于石英环，支撑环用于承载石英环；上盖连接于支撑环的顶端，且位于喷淋块的上方。本实用新型保证等离子体反应的稳定性和电极组件的正常工作，有效限制等离子体在反应区域内的分布，减少了等离子体对反应室壁的腐蚀和污染风险，延长了反应器部件的使用寿命，保证了蚀刻过程的稳定性和可控性。
本实用新型一种电容耦合等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种电容耦合等离子体处理装置，其特征在于，包括： 喷淋块1，其连通于供气源，所述喷淋块1的下方设置有喷淋孔； 电极组件2，其连接于所述喷淋块1的所述喷淋孔的下方，所述电极组件2设置有与所述喷淋孔连通的气孔； 石英环3，其环设于所述喷淋块1，所述石英环3用于承载所述喷淋块1； 支撑环4，其环设于所述石英环3，所述支撑环4用于承载所述石英环3； 上盖5，其连接于所述支撑环4的顶端，且位于所述喷淋块1的上方。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市新吴区观山路1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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