北京芯源科技有限公司闫占忠获国家专利权
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龙图腾网获悉北京芯源科技有限公司申请的专利一种用于前开式晶圆传送盒的安全光栅装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234127U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520831732.9，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种用于前开式晶圆传送盒的安全光栅装置是由闫占忠;孙福奇;张辉;王丹设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于前开式晶圆传送盒的安全光栅装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体制造设备技术领域的一种用于前开式晶圆传送盒的安全光栅装置，包括位于天车与前开式晶圆传送盒的操作区域外围安装的传感器支架护栏，所述传感器支架护栏朝向天车与前开式晶圆传送盒的操作区域的一侧集成安装有多组安全光栅与距离传感器，所述传感器支架护栏的顶部安装有三色警示灯，所述传感器支架护栏的背面安装有带主控单元的中间板，且主控单元与三色警示灯、安全光栅与距离传感器电性连接，所述传感器支架护栏的底部一侧安装有为三色警示灯、主控单元、安全光栅与距离传感器供电的电源盒。本实用新型通过多传感器协同检测与动态警示，实时监测人员靠近并触发警报，避免天车操作时的人员伤害。
本实用新型一种用于前开式晶圆传送盒的安全光栅装置在权利要求书中公布了：1.一种用于前开式晶圆传送盒的安全光栅装置，其特征是，包括位于天车与前开式晶圆传送盒的操作区域外围安装的传感器支架护栏2，所述传感器支架护栏2朝向天车与前开式晶圆传送盒的操作区域的一侧集成安装有多组安全光栅5与距离传感器6，所述传感器支架护栏2的顶部安装有三色警示灯3，所述传感器支架护栏2的背面安装有带主控单元的中间板4，且主控单元与三色警示灯3、安全光栅5与距离传感器6电性连接，所述传感器支架护栏2的底部一侧安装有为三色警示灯3、主控单元、安全光栅5与距离传感器6供电的电源盒1。
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