苏州河图电子科技有限公司王兴华获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州河图电子科技有限公司申请的专利一种晶圆自动覆膜机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224234135U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521102578.8,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型一种晶圆自动覆膜机构是由王兴华;许乐乐;李孟超设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆自动覆膜机构在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种晶圆自动覆膜机构,涉及覆膜机构技术领域,包括覆膜箱,所述覆膜箱内设置有膜释放机构,所述膜释放机构内设置有保护膜,所述覆膜箱的内顶壁设置有贴膜环切机构,所述覆膜箱的内侧壁设置有吹扫机构;本实用新型当活动板下移时半圆形气囊的最底端与保护膜优先接触,并促使保护膜首先与晶圆的中心位置贴合,并随着半圆形气囊下移促使保护膜与晶圆的接触面积不断增加,从而减少保护膜与晶圆贴合时产生的气泡;当活动板下移时促使压板推动活动杆与半圆块下移,同时促使凸轮杆旋转并不断推动活塞板做往复运动,当活塞板移动时不断将空心板内的气流推送至喷气嘴内,随即通过喷气嘴喷射气流对晶圆的表面进行吹扫。
本实用新型一种晶圆自动覆膜机构在权利要求书中公布了:1.一种晶圆自动覆膜机构,包括覆膜箱1,其特征在于, 所述覆膜箱1内设置有膜释放机构2,所述膜释放机构2内设置有保护膜3,所述覆膜箱1的内顶壁设置有贴膜环切机构4,所述覆膜箱1的内侧壁设置有吹扫机构5,所述覆膜箱1的前侧活动插接有放置板6; 其中,所述贴膜环切机构4用于将保护膜3贴在晶圆上,并用于对保护膜3进行环切,所述吹扫机构5用于对晶圆表面进行吹扫。
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