买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种具有能量回收功能的极紫外收集镜及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-08-06发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2021105282767,技术领域属于G03F7/20(20060101);该专利一种具有能量回收功能的极紫外收集镜及其制备方法是由中国科学院长春光学精密机械与物理研究所设计研发完成,并于2021-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。 本申请提供的具有能量回收功能的极紫外收集镜,包括:基底、设置于所述基底上的多层膜、设置于所述多层膜上的表面反射微结构及沉积于所述表面反射微结构的红外反射层,本发明提供的极紫外收集镜,当红外反射层指向主焦点点时,来自主焦点的红外光正入射反射面被反射回主焦点点,再次轰击靶材实现了能量的回收再利用,提高能量利用率;另外,本发明提供的极紫外收集镜,能够提供减少从IF点进入系统的红外光,进而实现极紫外光源的光谱纯化,且在极紫外波段的能量损失较小。另外,本申请提供的具有能量回收功能的极紫外收集镜的制备方法,制备工艺简单,易于工业化生产。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应。实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 龙图腾网(www.lotut.com) 是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等, 通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供 龙图腾商标专利检索分析平台 、 龙图腾知识产权管家 、 龙图腾知识产权交易平台 等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 法律声明:当前页面专利信息仅供研究,该信息不具备任何法律效应,实际以国家专利局为准。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话 0551-65771310 或微信搜索“龙图腾网”。 |