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买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网获悉常州工学院申请的专利一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2015-06-03发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2015100682217,技术领域属于C23C14/56(2006.01)I;该专利一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机是由常州工学院设计研发完成,并于2015-02-09向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种快速换靶单面往复连续镀膜磁控溅射卷绕镀膜机,属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、冷却辊、收卷机构、阴极小室、纠偏装置和回转换靶装置,开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置;冷却辊、阴极小室和回转换靶装置处于同一轴线上;回转换靶装置包括机座、回转盘、回转机构、轴向伸缩机构、两个或两个以上的伸缩轴套、极靶座板和径向伸缩机构,当轴向伸缩机构收缩后,径向伸缩机构刚好位于一个伸缩轴套的下方;开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开真空室的情况下即可快速更换阴极靶,并利用基材往复运动实现多层膜层的连续镀制,每层膜均能单独镀制,便于膜层参数的控制;设备结构紧凑。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 以上内容由龙图腾AI智能生成。 |
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