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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网获悉南京工业大学申请的专利一种具有过渡层结构的半导体石墨基座盘及其制备方法成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-02-23发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2020112787418，技术领域属于C30B25/12(20060101)；该专利一种具有过渡层结构的半导体石墨基座盘及其制备方法是由南京工业大学设计研发完成，并于2020-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明公开了一种具有过渡层结构的半导体石墨基座盘及其制备方法，包括从下往上依次包括依次层叠的石墨基座盘基体、第一SiC界面层、Si过渡层、第二SiC界面层、热解炭过渡层以及梯度SiC涂层。本发明在反应室高温下沉积的硅过渡层可与石墨基座盘基体在反应界面处形成致密第一SiC界面层，从而构成化学键结合，提高涂层的结合强度，在反应室高温下沉积的硅过渡层可与石墨基座盘基体在反应界面处形成致密第一SiC界面层，从而构成化学键结合，提高涂层的结合强度，梯度SiC涂层的组分含量呈线性梯度分布，进一步缓解涂层与基体之间的热匹配差异；本发明可缓解涂层与基体之间的热应力，可有效避免涂层裂纹的产生，提高其使用寿命。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 以上内容由龙图腾AI智能生成。 |
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