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买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！ 龙图腾网恭喜电子科技大学申请的专利一种单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器装置成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-07-05发布的专利公告中获悉：该专利的专利申请号/专利号为：2019101872522，技术领域属于H01L21/265(20060101)；该专利一种单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器装置是由电子科技大学设计研发完成，并于2019-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明提供一种单晶薄膜的制备方法，包括如下步骤：向晶圆的表面注入重离子，形成离子损伤层，得到一次离子注入的晶圆；向所述一次离子注入的晶圆的表面注入轻离子，使所述轻离子在所述离子损伤层的上表面聚集，得到二次离子注入的晶圆；将所述二次离子注入的晶圆键合至衬底，得到键合后的晶圆；将所述键合后的晶圆进行退火处理，使所述离子损伤层劈裂，并在所述衬底上获得单晶薄膜。本发明还提供了一种单晶薄膜。本发明所述的单晶薄膜的制备方法，能够有效抑制所述轻离子在晶圆中的高斯深度分布形态，减小后续退火时劈裂面的起伏，降低薄膜表面粗糙度，提高薄膜厚度均匀性。 龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，欢迎咨询龙图腾网官方客服，联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |
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