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当前位置: 首页 > 专利交易 > 恭喜电子科技大学吴传贵老师一件发明专利完成成果转化

恭喜电子科技大学吴传贵老师一件发明专利完成成果转化

发表时间:2022年09月26日 来源:龙图腾

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龙图腾网恭喜电子科技大学申请的专利具有隔离层的单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器成功实施成果转化。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-06-21发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2019101871816,技术领域属于C30B33/06(2006.01)I;该专利具有隔离层的单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器是由电子科技大学设计研发完成,并于2019-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本发明涉及单晶薄膜制备技术领域,尤其是涉及一种具有隔离层的单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器;制备方法包括在单晶晶圆下表面注入高能量离子,使得单晶晶圆内部形成损伤层,损伤层将单晶晶圆分隔成压电层和单晶薄膜层;在单晶薄膜层的表面制备隔离层;在隔离层表面旋涂键合层;将键合层与衬底叠放,进行退火处理,冷却,得到具有隔离层的单晶薄膜;通过具有隔离层的单晶薄膜的制备方法制备得到的单晶薄膜,单晶薄膜表面无气泡,无裂纹,无隆起结构,单晶薄膜性能显著提高。

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