买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便! 龙图腾网恭喜电子科技大学申请的专利具有隔离层的单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器成功实施成果转化。 龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-06-21发布的专利公告中获悉:该专利的专利申请号/专利号为:2019101871816,技术领域属于C30B33/06(2006.01)I;该专利具有隔离层的单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器是由电子科技大学设计研发完成,并于2019-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。 本发明涉及单晶薄膜制备技术领域,尤其是涉及一种具有隔离层的单晶薄膜的制备方法、单晶薄膜及谐振器;制备方法包括在单晶晶圆下表面注入高能量离子,使得单晶晶圆内部形成损伤层,损伤层将单晶晶圆分隔成压电层和单晶薄膜层;在单晶薄膜层的表面制备隔离层;在隔离层表面旋涂键合层;将键合层与衬底叠放,进行退火处理,冷却,得到具有隔离层的单晶薄膜;通过具有隔离层的单晶薄膜的制备方法制备得到的单晶薄膜,单晶薄膜表面无气泡,无裂纹,无隆起结构,单晶薄膜性能显著提高。 龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。 如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,欢迎咨询龙图腾网官方客服,联系电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。 |