

一种用于铬腐蚀的工件
70
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专利号:202121229355X等年费滞纳金
申请日:
2021-06-02
发布日期:2025-08-15
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本实用新型公开了一种用于铬腐蚀的工件,包括主体、转动组件和喷淋机构,转动组件,其安装在所述主体的内侧中部,喷淋机构,其设置在所述主体的内侧底部。该用于铬腐蚀的工件,与现有的装置相比,通过夹持板,可以对晶圆的侧面进行固定,从而可以使上下表面暴露以方便进行喷淋,通过防滑垫,可以增大与侧面之间的摩擦力,从而在安装时防止物件发生滑动脱落,同时可以对晶圆进行保护,避免在固定时发生夹损,通过第二电机,可以带动放置盘进行翻转从而在一面加工好后,可以翻转到另一面进行喷淋,从而可以减少人工操作的时间,以此可以提高工作的效率,同时可以避免经常人工调整容易使物件表面造成损伤,通过储液箱,可以将铬腐液进行储存。

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