一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法
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专利号：2023102943095已下证现有效
申请日：
2023-03-24
发布日期：2025-12-17
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专利摘要
本发明涉及燃料电池技术领域，尤其涉及一种金属双极板表面纳米涂层的制备方法，包括，步骤S1，清洗并固定基板、钛靶和石墨靶，在真空泵排气后，启动加热装置对涂层室进行调温；步骤S2，将所述旋转架接入负偏压并启动旋转电机，通过氩气口通入氩气，启动射频装置，进行溅射镀膜；步骤S3，通过实时图像与实时反射率调整旋转架的旋转速度，通过设置的中控模块判定是否完成镀膜；步骤S4，关闭射频装置并通过真空泵排气，再通过氮气口通入氮气，启动射频装置，进行溅射镀膜；步骤S5，通过中控模块重复所述步骤S3的判定操作，完成金属双极板基板表面纳米涂层的制备。本发明通过对双极板溅射镀膜过程进行控制，有效提高涂层均匀性。
交易流程
01
免费咨询
联系客服享一对一免费咨询服务02
需求匹配
精准匹配需求，不成功不收费03
确定购买
达成协议后按照约定支付账款04
官方备案
按协议约定办理官方备案手续05
交易完成
双方完成协议约定即交易完成
过户资料
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专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
| 公司 |
企业营业执照 企业组织机构代码证 |
企业营业执照 专利证书原件 |
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账户户：1302 0119 0920 1112 865
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