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最新专利技术
  • 晶圆加工装置及方法
    晶圆加工装置及方法_合肥晶合集成电路股份有限公司_202511205854.8
    本申请涉及一种晶圆加工装置及方法， 晶圆加工装置包括：发射模块、缺陷检测模块和控制模块， 其中， 所述控制模块分别与所述缺陷检测模块、所述发射模块连接；所述缺陷检测模块用于获取晶圆的边缘图像， 以及在根据所述边缘图像确定晶圆边缘存在缺陷的情...
    2026-03-23
  • 一种功率器件压接装置
    一种功率器件压接装置_上海乐瓦微电子科技有限公司_202511224925.9
    本发明涉及一种功率器件压接装置， 属于功率器件制造技术领域， 包括：压力控制单元用于产生并调控施加于功率器件的压接力， 实时监测压接力数值并将监测数据进行传输给控制模块， 压力控制单元根据控制模块的指令调整压接力；位移控制单元用于控制压接执...
    2026-03-23
  • 一种带有位置矫正功能的晶圆载具
    一种带有位置矫正功能的晶圆载具_义柏科技(深圳)有限公司_202510893710.X
    本发明公开了一种带有位置矫正功能的晶圆载具， 涉及晶圆载具技术领域。包括底座， 底座上侧设置有固定筒， 固定筒外侧安装有减震弹簧， 固定筒下侧埋设有第一线圈， 第一线圈两端与控制系统电性连接， 固定筒内部安装有导向柱， 固定筒和导向柱之间安...
    2026-03-23
  • 作业方法及装置
    作业方法及装置_万润科技股份有限公司_202411589538.0
    本发明提供一种作业方法及装置；该作业方法包括：使一工件在一搬送流路上被搬送至一作业区；使一作业头移动至该作业区， 并在该作业头对位于该作业区的该工件执行预设作业之前， 以一静电量测器量测位于该作业区的该工件的静电值；当该工件的静电值低于一预...
    2026-03-23
  • 搬运用手及搬运机器人
    搬运用手及搬运机器人_尼得科仪器株式会社_202510381008.5
    一种搬运用手及搬运机器人， 能调节带框架的姿势。搬运用手(5)具备：手主体(32)， 其从Z1方向支撑带框架(2)；一对移动辊(45)， 其能在与载置于手主体部的带框架的第一直线外周缘部分(15)接触的夹持位置(45C)与离开带框架的外侧位...
    2026-03-23
  • 搬运机器人
    搬运机器人_尼得科仪器株式会社_202510381012.1
    构成搬运机器人的第一基板保持装置(2)具备：具有载置基板(W)的手叉(31)的手(3)；用于把持载置在手上的基板的把持机构(5)；装设手及把持机构的基座部件(6)；以及用于将手安装于基座部件的安装部件(7)。把持机构具备用于与基板抵接而把持...
    2026-03-23
  • 搬运机器人
    搬运机器人_尼得科仪器株式会社_202510381014.0
    构成搬运机器人(100)的第一基板保持装置(2)具备：多个手(3)， 其具有手叉(31)；可变机构(4)， 其改变多个手叉之间的间距；基座部件(6)， 其供多个手和可变机构安装；以及多个引导机构(8)， 其将多个手分别保持为能够沿Z轴方向移...
    2026-03-23
  • 一种具有增摩减黏功能的晶圆搬运装置
    一种具有增摩减黏功能的晶圆搬运装置_南京航空航天大学_202510716398.7
    本发明公开了一种具有增摩减黏功能的晶圆搬运装置， 涉及晶圆搬运技术领域。本发明的仿生增摩减黏材料的材质为弹性体， 结构分为末端凸起直柱阵列、支撑层和背部连接层三部分。其中， 直柱阵列单元末端凸起呈球冠状。本发明涉及的直柱阵列的球冠状末端凸起...
    2026-03-23
  • 一种立式玻璃基板搬运装置
    一种立式玻璃基板搬运装置_江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司_202510773421.6
    本发明涉及太阳能电池板加工技术领域， 更具体地说， 本发明涉及一种立式玻璃基板搬运装置， 包括承载箱， 承载箱上安装有能够承载玻璃基板和移动玻璃基板的承载搬运件；移动件， 移动件安装于承载搬运件的一侧， 移动件能够移动玻璃基板和清理玻璃基板...
    2026-03-23
  • 半导体物料搬送方法、控制装置、电子设备及存储介质
    半导体物料搬送方法、控制装置、电子设备及存储介质_深圳市章阁仪器有限公司_202510821908.7
    本申请属于半导体集成电路技术领域， 揭示一种半导体物料搬送方法、搬送装置、电子设备以存储介质， 该方案在规划半导体物料的搬送路径时， 综合考虑了第一参数、第二参数和第三参数， 第一参数基于搬送路段的理论搬送时间和/或历史最短搬送时间获得， ...
    2026-03-23
  • 一种用于多尺寸片盒倒片翻面装置
    一种用于多尺寸片盒倒片翻面装置_安徽微芯长江半导体材料有限公司_202510833435.2
    本发明涉及半导体材料加工设备技术领域， 尤其是涉及一种用于多尺寸片盒倒片翻面装置， 其包括倒片杆、底座和固定组件。倒片杆由PFA材质制成， 设有挡板、缓冲装置、底杆、滑块和手柄；底座为长方体PFA材质， 底部设有支撑脚和凸起， 表面设有滑轨...
    2026-03-23
  • 一种基于吸盘转运的硅片运输装置
    一种基于吸盘转运的硅片运输装置_昆山迈瑞凯精密工业有限公司_202510838169.2
    本发明公开了一种基于吸盘转运的硅片运输装置， 涉及硅片加工装备领域， 包括：两个并列放置的第一输送线体和第二输送线体， 且两者位置相对固定， 第一输送线体和第二输送线体的外部固定架设有两个龙门架， 且两个龙门架上均设置有一个双向移动的气动吸...
    2026-03-23
  • 一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具
    一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具_涌淳半导体(无锡)有限公司_202510841676.1
    本发明公开了一种用于机械臂吸盘在晶舟盒载物台取放晶圆位置的定位辅助工具， 包括底座和机械臂主体， 所述底座上端后侧固定连接有支撑台， 所述支撑台上端固定连接有支撑柱， 所述支撑柱上端固定连接有晶舟盒载物台。本发明中， 通过本装置辅助调节机械...
    2026-03-23
  • 一种垂直叠料盘进料预冷装置
    一种垂直叠料盘进料预冷装置_上海中艺自动化系统有限公司_202510853130.8
    本申请涉及一种垂直叠料盘进料预冷装置， 涉及芯片分选测试技术的领域， 其包括机架， 机架上开设有供出料回温结构的小车送出的出料通道， 机架上固定安装有防尘箱， 防尘箱遮覆在出料通道的上方；出料回温结构的回温模块固定安装在防尘箱的顶部， 回温...
    2026-03-23
  • 一种旋转式连续烧结封装装置及烧结封装工艺
    一种旋转式连续烧结封装装置及烧结封装工艺_南安芯华元件烧结封装有限公司_202510885583.9
    本发明涉及芯片封装设备技术领域， 且公开了一种旋转式连续烧结封装装置， 包括架体；控制电脑；封装组件， 用于对元器件进行稳定封装；座套；载料组件， 用于承载封装坯料；所述封装组件包括有驱动组件、旋转组件、加热组件和稳定组件。该旋转式连续烧结...
    2026-03-23
  • 一种光伏二极管模块的装配装置及其控制方法
    一种光伏二极管模块的装配装置及其控制方法_浙江中环赛特光伏科技有限公司_202510890073.0
    本申请涉及光伏元件生产辅助装置的领域， 尤其是涉及一种光伏二极管模块的装配装置及其控制方法， 其包括用于铜片输送机构、料架输送机构、铜片上料机构、喷料机构、二极管上料机构以及焊接机构；所述铜片输送机构包括相互平行设置且同步输送的第一输送带和...
    2026-03-23
  • 一种静电吸盘及等离子体处理装置
    一种静电吸盘及等离子体处理装置_中微半导体设备(上海)股份有限公司_202410366264.2
    本发明提供了一种静电吸盘及等离子体处理装置， 属于等离子体加工领域， 主要包括设有吸附电极的陶瓷盘；与陶瓷盘可拆卸安装的导电盖板， 并且导电盖板的上表面具有用于承载基片的介质层；同时， 吸附电极连接高压直流电源， 导电盖板连接偏置直流电源，...
    2026-03-23
  • 用于上片机的芯片吸附装置及上片机
    用于上片机的芯片吸附装置及上片机_矽品科技(苏州)有限公司_202410370364.2
    本发明提供一种用于上片机的芯片吸附装置及上片机， 芯片吸附装置包括：底座；固定连接在底座一侧表面上的卡合结构；卡合结构与其下方的底座中设置有至少一个贯通的抽真空孔；底部设置有盲槽的橡胶嘴；橡胶嘴通过盲槽以套设的方式固定在卡合结构外部表面上；...
    2026-03-23
  • 晶圆处理装置及静电吸附方法
    晶圆处理装置及静电吸附方法_日新离子机器株式会社_202411653822.X
    本发明提供一种晶圆处理装置及静电吸附方法。在实施静电卡盘的再生处理的前后的晶圆处理中， 对静电卡盘施加适当的吸附电压， 从而抑制晶圆吸附所涉及的各种不良情况的发生。晶圆处理装置具有：处理室， 对晶圆进行处理；静电卡盘， 在处理室中对晶圆进行...
    2026-03-23
  • 一种晶圆级真空键合装置及键合方法
    一种晶圆级真空键合装置及键合方法_苏州锐杰微科技集团有限公司_202510874183.8
    本发明涉及晶圆键合技术领域， 具体是一种晶圆级真空键合装置及键合方法， 包括相互适配的盖合件及承托件；中间施压件， 固定安装在所述盖合件朝向所述承托件的一侧；偏转板组， 沿所述中间施压件呈圆周等距设置有多组， 所述偏转板组上设置有第二抵接轮...
    2026-03-23
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