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最新专利技术
  • 一种嵌入式电极氮化铝静电卡盘及其制造方法
    一种嵌入式电极氮化铝静电卡盘及其制造方法_厦门格睿电子材料有限公司_202511482396.2
    本发明属于半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种嵌入式电极氮化铝静电卡盘及其制造方法；采用丝网印刷技术在氮化铝生坯表面预置钨浆电极图案；将印刷好电极的氮化铝生坯先进行排胶处理，然后在N22‑H22混合气氛中共烧；利用激光加工技术在静电卡盘表面...
    2026-01-24
  • 一种一体化压制成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法
    一种一体化压制成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法_广东精瓷新材料有限公司_202511514151.3
    本发明公开一种一体化压制成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法，碳化硅静电卡盘包括有基座、邦定材料层以及陶瓷片；该邦定材料层贴合固定在基座的表面；该陶瓷片贴合固定在邦定材料层的表面，该陶瓷片采用一体化压制成型方法获得，其中设有具备发热以及吸附功能...
    2026-01-24
  • 一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置
    一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置_苏州欣威晟电子科技有限公司_202511873708.2
    本发明公开了一种晶圆固定装置及晶圆干燥装置。该晶圆固定装置包括：固定底座和旋转底座，该旋转底座上固定设有静电吸盘；多个均布在旋转底座周侧的对中组件，每个对中组件均包括外壳以及沿晶圆轴向对称设置在外壳上的上柔性垫块和下柔性垫块，外壳能够沿旋转...
    2026-01-24
  • 一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘
    一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘_深圳市圣柏林橡塑电子有限公司_202511916202.5
    本申请涉及静电卡盘的技术领域，尤其涉及一种多温区静电卡盘的制作方法及多温区静电卡盘。包括：在各待处理单层板上形成若干板间互联单元，得到待集成单层板；将同一集成对内的两个待集成单层板通过板间互联单元对位形成初始堆叠板；在板间互联单元处进行镀铜...
    2026-01-24
  • 一种侧立式晶圆上料装置及固晶机
    一种侧立式晶圆上料装置及固晶机_深圳市卓兴半导体科技有限公司_202511903641.2
    本发明公开了一种侧立式晶圆上料装置及固晶机，侧立式晶圆上料装置包括顶针组件、晶圆环保持组件和转接组件，所述晶圆环保持组件包括竖直设置的晶圆环保持座、晶圆底座和晶圆环旋转驱动件，所述晶圆环保持座用于安装晶圆环，所述晶圆环保持座转动连接于晶圆底...
    2026-01-24
  • 一种晶圆加工用预定位设备
    一种晶圆加工用预定位设备_厦门特仪科技有限公司_202511423794.7
    本发明涉及一种晶圆加工用预定位设备，包括：工作台，所述工作台的顶端面转动设置有基座，所述基座与所述工作台之间设置有转动驱动装置，所述基座的顶端面移动设置有承移定心板，所述承移定心板与所述基座之间设置有平移驱动装置；能够在对晶圆进行寻边前先将...
    2026-01-24
  • 一种激光解键合设备及键合晶圆分离机械手
    一种激光解键合设备及键合晶圆分离机械手_三河建华高科有限责任公司_202511438320.X
    本发明公开了一种激光解键合设备及键合晶圆分离机械手，涉及晶圆加工领域，包括吸附件、旋转臂、转轴、伸缩臂、安装板、移动驱动件、限位件、A复位件和B复位件；定义：安装板的长度方向为X向，转轴的轴向为Y向，X向与Y向相垂直；安装板连接用于驱动安装...
    2026-01-24
  • 一种硅显示板抽真空式吸附机构
    一种硅显示板抽真空式吸附机构_秀玻光电科技(滁州)有限公司_202511512779.X
    本发明公开了一种硅显示板抽真空式吸附机构，包括移动平台上设有吸附台；吸附台上活动设有多组吸嘴，吸嘴顶端放置有显示板；还包括驱动件，且驱动件设于吸附台内，驱动件传动连接吸嘴，且驱动件控制吸嘴具有两个状态：第一状态；吸嘴在显示板的压力下移与驱动...
    2026-01-24
  • 一种微波芯片生产用自动化上下料设备
    一种微波芯片生产用自动化上下料设备_合肥芯谷微电子股份有限公司_202511515753.0
    本发明公开了一种微波芯片生产用自动化上下料设备，涉及上下料技术领域，旨在解决机械臂内部的零部件运动时容易产生微小的尘埃颗粒，这些尘埃颗粒容易造成芯片的短路、开路或降低绝缘性能的技术问题，包括机械臂主体，机械臂主体执行端布置有晶圆抓取组件，晶...
    2026-01-24
  • 晶圆真空吸盘的应力监控装置和方法
    晶圆真空吸盘的应力监控装置和方法_华虹集成电路(成都)有限公司_202511554204.4
    本申请提供一种晶圆真空吸盘的应力监控装置和方法，该应力监控装置包括应力传感器、信号处理单元、逻辑判断单元、运动控制单元和报警装置，对吸附销的运动进行实时应力监控，有效防止因拉应力过大而导致吸附销被拉断事件的发生。
    2026-01-24
  • 半导体设备的吸附式承载盘
    半导体设备的吸附式承载盘_天虹科技股份有限公司_202511581643.4
    本发明为一种半导体设备的吸附式承载盘，其中吸附式承载盘的一第一表面用以承载及吸附一晶圆或一承载基板。吸附式承载盘包括一主体、多个第一连接孔、多个第二连接孔及至少一缓冲空间，其中第一连接孔连接主体的第一表面，第二连接孔连接主体的第二表面，而缓...
    2026-01-24
  • 一种克服翘曲晶圆的载台装置
    一种克服翘曲晶圆的载台装置_苏州德龙激光股份有限公司_202511626821.0
    本发明涉及一种克服翘曲晶圆的载台装置，包括载台单元、上料手臂单元和翘曲晶圆产品；载台单元从下往上依次包括载台主腔下体和载台主腔上体顶升机构驱动上方的顶升载台上下移动，在顶升载台的顶部安装有若干个顶升载台吸盘，在顶升载台外侧的载台主腔上体的顶...
    2026-01-24
  • 晶片测试系统以及探测器
    晶片测试系统以及探测器_株式会社东京精密_202511349667.7
    本发明提供能够抑制设置空间的增加并且以低成本使探针卡的更换自动化的晶片测试系统、探针卡更换方法以及探测器。晶片测试系统具备：探测器，其具备保持半导体晶片的吸盘及具有探针的探针卡，并使探针与形成于半导体晶片的多个半导体芯片接触而进行半导体芯片...
    2026-01-24
  • 半导体器件的可靠性测试设备及其探针调整方法
    半导体器件的可靠性测试设备及其探针调整方法_芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司_202511371892.0
    本申请提供一种半导体器件的可靠性测试设备及其探针调整方法, 设备包括多个探针组包括间隔且平行设置的测试探针和陪衬探针，测试探针用于接触对应的测试焊盘；陪衬探针与测试探针间隔设置，待测试半导体器件上设置有陪衬焊盘，陪衬探针之间通过陪衬焊盘电连...
    2026-01-24
  • 硅基板芯片的封装参数确定方法、装置、设备及介质
    硅基板芯片的封装参数确定方法、装置、设备及介质_北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司_202511427669.3
    本申请涉及一种硅基板芯片的封装参数确定方法、装置、设备及介质。所述方法包括：获取芯片封装的电流负载数据和芯片封装中第一导电凸块的第一初始封装参数，基于电流负载数据和第一初始封装参数，确定芯片封装中第二导电凸块的第二初始封装参数，将第一导电凸...
    2026-01-24
  • WAT测试结构及测试方法
    WAT测试结构及测试方法_上海华虹宏力半导体制造有限公司_202511432067.7
    本发明提供一种WAT测试结构及测试方法，WAT测试结构包括第一测试结构和第二测试结构，第一测试结构中的第一金属互连结构与第一控制栅电性连接；第二测试结构中的第二金属互连结构与第二控制栅断开，第二控制栅的结构与第一控制栅的结构相同。在测试方法...
    2026-01-24
  • 一种晶圆外观自动化检测装置及其检测方法
    一种晶圆外观自动化检测装置及其检测方法_国电投核力创芯(无锡)科技有限公司_202511476722.9
    本发明申请涉及一种晶圆外观自动化检测装置及其检测方法，属于半导体制造技术领域，晶圆外观自动化检测装置包括：分度上料组件对晶圆蛋糕盒上料，晶圆蛋糕盒载有晶圆、晶圆垫片和晶圆隔离膜；移栽组件取走晶圆隔离膜、晶圆垫片并对晶圆隔离膜、晶圆垫片下料，...
    2026-01-24
  • 一种晶圆标记方法、装置、电子设备、存储介质及产品
    一种晶圆标记方法、装置、电子设备、存储介质及产品_上海孤波科技有限公司_202511481756.7
    本发明公开了一种晶圆标记方法、装置、电子设备、存储介质及产品。包括获取晶圆测试结果，晶圆测试结果包括晶圆上所有芯片对应晶格的原始坐标；基于第一目标芯片对应晶格的原始坐标，通过坐标转换将第一目标芯片对应晶格在前端页面中显示，前端页面显示所述第...
    2026-01-24
  • 一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质
    一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质_上海广川科技有限公司_202511489920.9
    本发明提供了一种晶圆位置检测装置及方法、存储介质，其中装置包括：末端执行器，用于拾取及承载晶圆；线性传感器，其成对设置于所述末端执行器上，所述两个线性传感器的测量方向指向所述末端执行器上理论晶圆圆心，且两者测量方向之间的夹角大于0°小于18...
    2026-01-24
  • 一种基于激光传感器的晶圆寻心定位装置及方法
    一种基于激光传感器的晶圆寻心定位装置及方法_苏州赛森电子科技有限公司_202511512242.3
    本申请公开了一种基于激光传感器的晶圆寻心定位装置及方法，涉及半导体制造技术领域，该装置包括旋转平台、激光传感器、步进电机及处理单元；旋转平台用于承载晶圆；激光传感器设置于旋转平台的一侧，激光传感器用于检测晶圆的边缘与预设基准点之间的距离；步...
    2026-01-24
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