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调节源发生器和偏置发生器之间相位延迟的设备和方法
本发明涉及一种调节腔体装置中源发生器和偏置发生器之间相位延迟的设备和方法, 腔体装置包括:用于容纳待加工晶片的反应腔室、与反应腔室上部连接的源发生器以及与反应腔室下部连接的偏置发生器, 其中, 所述源发生器和偏置发生器为向所述反应腔室加载射...
使用非均匀剂量的样品制备
公开了用于样品制备的可变剂量离子束铣削技术。带电粒子显微镜系统可被配置为:通过至少将离子束朝向样品的第一部分引导来从该样品移除第一材料层以减小该样品的第一部分的厚度。在移除第一层之后, 可通过至少将该离子束朝向该样品的第二部分引导来从该样品...
一种用于实现四维扫描透射电子计算成像的装置和设备
本申请涉及计算电子成像技术领域, 公开了一种在扫描电镜上实现四维扫描透射电子计算成像的装置和设备。该装置包括样品舱舱门、样品承载组件和探测器, 其中, 样品舱内不设置样品位移台, 并且探测器和样品台之间的距离可以根据实际4D‑STEM的需求...
电子源模组和电子束直写机
本申请提供一种电子源模组和电子束直写机, 所述电子源模组包括:阵列式电子源基板(1), 在所述阵列式电子源基板的第一个主面(1‑1)上形成有复数个电子发射单元(1‑3);电子源控制电路基板(2), 在所述电子源控制电路基板上形成有复数个控制...
一种电子束束闸装置
本发明涉及扫描电子显微镜技术领域, 尤其涉及一种电子束束闸装置, 包括基座与接地盖板, 基座底部周向均匀布设有四组定位块与四组偏转电极板, 偏转电极板与定位块位置相对应, 且其通过螺栓A与定位块连接, 偏转电极板底部设置有接地盖板, 接地盖...
电子源模组和电子束直写机
本申请提供一种电子源模组和电子束直写机, 所述电子源模组包括:所述电子源模组包括:阵列式电子源基板(1), 在所述阵列式电子源基板的第一个主面(1‑1)上形成有复数个电子发射单元(2);以及局部温控机构(3), 其与所述阵列式电子源基板(1...
一种电子过滤器、负氢离子源中子管及中子产生方法
本发明公开了一种电子过滤器、负氢离子源中子管及中子产生方法, 解决了由于偏转磁钢设置玻璃管的内部, 离加速电极比较近, 容易使加速电极放电, 造成损坏中子管及外围电路的风险, 以及无法对偏转磁钢形成的磁场强度进行自由调节, 磁场较强, 会影...
X射线管、射线源装置及检测设备
本发明公开了X射线管、射线源装置及检测设备, 其中, X射线管包括:管体, 具有真空密封的管腔, 所述管体包括第一管体和第二管体, 管腔由第一管体和第二管体密封形成;第一管体为金属件, 第二管体为玻璃件;负极组件, 设置于第二管体内, 包括...
一种射线管阳极轴承及射线装置
本发明涉及辐射发射设备领域, 尤其涉及一种射线管阳极轴承及射线装置。本发明提出的一种射线管阳极轴承, 通过在衬套组件内壁靠近阳极靶盘的一侧与转轴之间设置自润滑滚动体, 自润滑滚动体具有自润滑功能, 能够大幅提升自身的润滑性能, 通过在衬套组...
一种孔栏时间补偿型像增强器及补偿结构的设计装配方法
本发明公开了一种孔栏时间补偿型像增强器及补偿结构的设计装配方法, 解决了现有的像增强器在不同成像区域选通开始或关断时间不一致导致, 选通时间区间的一致性变差甚至完全分离的问题。本发明孔栏时间补偿型像增强器, 基于弯曲光纤面板对不同区域光信号...
射频激励气体放电冷阴极电子束同轴熔丝的电子枪装置
本发明为一种射频激励气体放电冷阴极电子束同轴熔丝的电子枪装置。包括内部带水冷通道的类“漏斗”形阳极, 内设环形水冷通道、连接高压电源的阴极, 送丝系统, 枪顶盖, 导丝管和射频激励气体放电单元;阴极设置在射频激励气体放电单元的透明放电腔室内...
一种基于分布式重入腔结构的轴向调谐相对论磁控管
本发明涉及一种基于分布式重入腔结构的轴向调谐相对论磁控管, 本发明通过在单频相对论磁控管的谐振腔外部引入分布式重入腔结构, 突破了传统调谐方式的频带限制, 即使在谐振腔深度较浅的高频段器件中, 仍能实现谐振频率的连续调节;相比传统轴向调谐结...
一种应用于磁控管阵列的自适应锁相系统
本发明公开了一种应用于磁控管阵列的自适应锁相系统, 属于高功率微波技术领域。该系统包括:磁控管阵列、脉冲功率控制模块、工作参数监测模块、控制指令生成及传输模块。对于锁相磁控管阵列工作过程中可能出现的失锁问题, 本发明引入了工作参数监测模块和...
一种固态断路器配合的高压快速开关
本发明涉及电气设备技术领域, 具体为一种固态断路器配合的高压快速开关, 包括断路器本体、多组隔离开关、控制断路器本体通断的第一旋钮以及多组控制隔离开关的第二旋钮, 还包括第一控制机构与第二控制机构, 所述第一旋钮在打开状态通过第一控制机构对...
一种用于复杂电网环境的智能熔断器
本发明涉及电网的熔断器相关技术领域, 公开了一种用于复杂电网环境的智能熔断器, 包括所述电杆的上端阵列设有三组熔断器, 所述熔断器包括绝缘杆部以及熔芯部件, 所述绝缘杆部与所述熔芯部件实现组合形成高压电网通断;所述熔芯部件包括陶瓷防护壳, ...
一种保险结构的自动更换装置
本发明涉及开关电器技术领域, 具体涉及一种保险结构的自动更换装置, 包括背板和两个接线座, 背板上转动安装有转轮, 转轮的外周间隔开设有多个用于卡装熔断器的卡槽, 转轮连接有用于驱动转轮的动力机构, 在转轮的转动路径上, 每个熔断器具有等待...
电气装置、电熔断器系统、触发电熔断器系统并指示电熔断器系统的触发的过程和用于电气装置的组装方法
本发明涉及电气装置(1)、电熔断器系统、触发电熔断器系统并指示电熔断器系统的触发的过程和用于电气装置的组装方法, 电气装置(1)包括:电气元件(2), 该电气元件(2)包括本体(2A)和端子(3);电导体(5), 该电导体(5)通过可熔接合...
具有短路保护功能的过载保护开关结构改良
一种具有短路保护功能的过载保护开关结构改良, 其双合金属片于偏向固定端的内侧, 相对于设在接触弹片上的触接点的位置, 至少在U型镂空部的任一边缘, 设有朝向触接点的泄弧凸伸脚, 泄弧凸伸脚的内侧端呈现接近但未接触到接触弹片与触接点的状态, ...
一种大电流高分断断路器
一种大电流高分断断路器, 包括第一接线端和第二接线端, 第一接线端电连接有第一静触头, 第二接线端电连接第二静触头;以及, 动触头本体, 其电连接于第二接线端, 动触头本体包括主触头与辅触头, 静触头与主触头之间形成第一电路, 第二静触头与...
一种自动监控且脱扣机构独立设计的接地故障断路器
本发明公开了一种自动监控且脱扣机构独立设计的接地故障断路器, 包括:中性线重复接地检测电路, 其包括互感器线圈、芯片IC1和桥式整流器D4, 互感器线圈包括漏电传感器互感器线圈ZCT和中性线重复接地传感器互感器线圈CT, 互感器线圈连接芯片...
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