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化学机械抛光设备及晶圆传输方法
本申请半导体晶圆加工技术领域,提供一种化学机械抛光设备及晶圆传输方法,化学机械抛光设备包括:抛光机构,包括承载头;装卸机构,包括驱动组件、支架和装卸组件;支架包括呈L形的竖直架和水平架以及固定到竖直架的滑块,装卸组件设置在水平架上;驱动组件...
一种多工位齿槽啮合移动组件自动研磨机
本发明公开了一种多工位齿槽啮合移动组件自动研磨机,属于机械制造汽车焊接夹具零部件生产技术领域。所述自动研磨机包括:支撑框架组件、研磨工件放置组件、研磨运动组件、研磨驱动组件、齿槽啮合运动组件;支撑框架组件为方形框架结构,其底部与地面接触,起...
表面处理工具、加工工艺及器件
本申请实施例提供一种表面处理工具、加工工艺及器件,用于解决表面处理工具的表面抛光液的流动和分布均匀性较差,而对待加工件的抛光质量和抛光效率造成不利影响的问题。该表面处理工具包括抛光层和沟槽结构,沟槽结构设于抛光层的表面,沟槽结构包括沿抛光层...
一种用于晶片表面粗抛的白垫及制作方法
本发明涉及抛光垫技术领域,且公开了一种用于晶片表面粗抛的白垫及制作方法,解决了现有技术存在因老化和磨损导致抛光精度下降的问题。采用双层复合结构,表层为闭孔发泡结构,用于储存抛光液并实现柔性研磨,材料包括聚醚型聚氨酯树脂、微米级耐磨填料及抗老...
一种航空发动机凸轮定位销的研磨夹持装置及方法
本发明涉及一种航空发动机凸轮定位销的研磨夹持装置及方法,解决了航空发动机凸轮定位销的无法夹持进行研磨的问题。(1)设计定位衬套对定位销进行夹持定位,并保证定位销的圆柱面完全伸出以便进行研磨操作,整体设计为带孔圆柱体,剖面设计为4段,从左往右...
保持环和故障检测系统
本发明提供一种用于晶圆研磨的保持环和检测保持环的使用寿命的故障检测系统。保持环(10)包括基部(11)和设置在基部上的研磨部(12)。研磨部(12)具有作为研磨面的顶面(121),以及内周壁(122)和外周壁(123)。研磨部形成有从顶面(...
一种深孔内花键磨削专用内磨臂装置及加工方法
本发明属于内花键磨削加工技术领域,公开了一种深孔内花键磨削专用内磨臂装置,包括固定于机床转台表面的砂轮架和磨削头;所述砂轮架包括盖板和架体,所述架体内部连接有传动机构和磨削头,所述砂轮架整体结构设置为靠近传动机构一侧截面较大,靠近磨削头一侧...
一种汽车方向盘骨架表面处理夹持工装
本发明涉及一种汽车方向盘骨架表面处理夹持工装,包括承重底座,所述承重底座内部设有伺服电机,所述伺服电机的输出端固定连接工作台面,所述工作台面上对称设有电磁滑轨,所述电磁滑轨的滑块上固定设有连接座,所述连接座通过销连接支撑板,所述其中一个支撑...
一种用于3D手机后盖玻璃抛光的磨头夹具
本发明公开了一种用于3D手机后盖玻璃抛光的磨头夹具,属于手机后盖玻璃加工技术领域,包括磨头杆、固定设置在磨头杆底端的磨头和安装座,所述安装座的内部滑动设有夹持组件,该夹持组件用于对磨头杆进行夹持定位,所述夹持组件上设有吹风组件,该吹风组件与...
一种抛光机上盘多工位同步传动结构
本发明属于表面抛光加工设备技术领域,尤其涉及一种抛光机上盘多工位同步传动结构,包括安装板,所述安装板的底部开设有多个球面槽,且多个球面槽呈均匀的环形分布,所述球面槽内设置有夹持装置,所述夹持装置包括夹盘、夹爪、螺杆、第一齿轮、球面环以及复位...
一种磨床尾座顶尖对中调节装置
本发明涉及磨床尾座技术领域,公开了一种磨床尾座顶尖对中调节装置,调节装置安装于凸轮磨床上,凸轮磨床包括头架、尾座和操作台,头架和尾座上均设置有顶尖,调节装置包括调节机构和检测机构,调节机构包括安装座、高度调节组件和水平调节组件,安装座固定安...
一种大涵道比风扇叶片可变支撑夹具及自动抛光方法
本发明涉及一种大涵道比风扇叶片可变支撑夹具及自动抛光方法,可变支撑夹具,利用榫头夹紧和叶顶可变支撑结构,解决叶顶抛光颤振问题、消除叶顶基准缺失影响,解决自动抛光过程无法实现叶顶顶紧区域全覆盖难题,通过可变支撑夹具及自动抛光方法,自动抛光在七...
一种可调磨心轴夹具及其加工方法
本发明涉及轴套磨削加工技术领域,尤其是指一种可调磨心轴夹具及其加工方法。该可调磨心轴夹具包括心轴、滑块和锁紧螺丝,所述心轴轴体设置有凸起圆环,所述凸起圆环开设有若干个沿心轴轴向延伸布置的斜面槽,所述斜面槽开设有凹槽,所述凹槽的一端贯通凸起圆...
一种半导体衬底抛光的温度控制方法及系统
本发明公开了一种半导体衬底抛光的温度控制方法及系统,涉及半导体领域,解决了现有的温度控制方法存在温度控制不佳的问题,包括步骤S1:对处于抛光监测周期的目标半导体衬底进行周期性抛光压力监测,根据监测结果将目标单导体衬底与历史单导体衬底进行抛光...
一种铸件表面后处理与在线检测装置
本发明涉及铸件检测技术领域,公开了一种铸件表面后处理与在线检测装置,其结构包括工作台、间隙驱动装置、表面处理装置、耦合剂装置、嵌入式检测装置,本发明通过将去毛刺后处理与检测功能集成于同一工位,减少了工件搬运、定位等辅助时间,极大提高了生产节...
晶圆抛光工艺健康状态检测方法、装置、设备及介质
本申请提供一种晶圆抛光工艺健康状态检测方法、装置、设备及介质。该方法包括:获取晶圆抛光工艺过程中的过程数据;过程数据包括工艺参数数据、传感数据和设备运行数据中的至少一种;根据过程数据,建立晶圆抛光工艺过程中的多维时间序列;将多维时间序列划分...
一种用于光学元件共形振动抛光的机器人末端执行器力控制方法及系统
本发明属于机器人控制技术领域,公开了一种用于光学元件共形振动抛光的机器人末端执行器力控制方法及系统,本发明解决光学元件复杂曲面抛光过程中,由共形切向振动引发的周期性扰动、摩擦非线性及多轴互扰等问题,保障法向恒力精度、抛光一致性与加工面形质量...
一种基于速度阈值的抬刀式磁流变抛光面形高效收敛方法
本发明公开了一种基于速度阈值的抬刀式磁流变抛光面形高效收敛方法,属于光学抛光领域,包括:根据加工工具获得点去除函数,并采用干涉仪测量工件的初始面形;设置轨迹参数,基于材料去除量为去除函数与驻留时间的卷积原理,解算出每个点的工具进给速度。由于...
一种刚性接触网自适应打磨控制方法及系统
本发明公开了一种刚性接触网自适应打磨控制方法及系统,属于轨道交通供电设备维护技术领域,获取接触网沿汇流排方向各位置的弓网作用历史数据,构建接触线损伤指数分布曲线;基于损伤指数识别高损伤区间,提取粗糙度、波纹幅值与氧化厚度参数,构建损伤强度向...
晶片贴蜡及抛光一体设备及晶片贴蜡及抛光方法
本申请公开了一种晶片贴蜡及抛光一体设备,属于半导体加工技术领域。通过取片转移组件抓取晶片后依次在各个处理单元之间运转处理;通过搬盘组件将瓷盘在瓷盘刷洗组件和贴片组件之间运转处理,最终在贴片组件处实现贴片。瓷盘转移组件将贴片后的瓷盘转运至每种...
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