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一种提升晶圆的关键尺寸均匀性的处理系统及处理方法
本发明提供了一种提升晶圆的关键尺寸均匀性的处理系统及处理方法,处理系统包括曝光模块,用以将监控图形曝光至掩模版的有效图形区域中;检测模块,用以获取监控图形的尺寸偏差数据,并对尺寸偏差数据进行检测,以确保尺寸偏差数据在预设范围之内;以及光刻模...
一种二维阵列型套刻误差光学测量标记设计方法及系统
本发明公开一种二维阵列型套刻误差光学测量标记设计方法及系统,涉及集成电路工艺量测技术领域。所述方法包括:设计二维阵列型套刻误差光学测量标记,并构建套刻误差的表征方法;基于所述表征方法构建多目标优化模型;利用多目标多元宇宙优化算法对所述多目标...
版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备
本申请实施例提供一种版叉结构、掩模版传输装置及半导体设备。该版叉结构包括:版叉主体,版叉主体形成容纳掩模版的空间;两个夹爪组,两个夹爪组均与版叉主体转动连接;位置调节机构,位置调节机构设置于版叉主体,用于驱动两个夹爪组相对于版叉主体旋转预设...
结合物理模型的深度学习光刻热点检测方法及系统
本发明提供一种结合物理模型的深度学习光刻热点检测方法及系统,涉及光刻工艺技术领域,包括获取设计版图与掩膜版图数据,利用双物理场模型计算光强梯度与表面应力分布,形成物理敏感特征图;将特征图输入物理约束神经网络进行重构和映射;基于补偿状态序列构...
成像设备
成像设备包括图像承载构件、带、外辊、内辊、张紧辊、输送辊对、包括凸部的引导构件、构造成驱动带的带驱动马达、构造成检测带驱动马达的扭矩的扭矩传感器、以及控制单元,该控制单元构造成在片材已到达转印夹持部之后基于扭矩传感器的检测结果执行输送控制,...
图像形成装置
本发明公开了图像形成装置。图像形成装置在经过了在转印材料上形成图像的第一图像形成操作与在第一图像形成操作之后执行的第二图像形成操作之间的中止时间之后的使感光鼓旋转的旋转操作中,基于关于感光鼓的使用历史信息和中止时间来控制感光鼓的旋转次数。
改变显影磁辊导电方法的导电结构、硒鼓粉盒及导电方法
本发明公开了一种改变显影磁辊导电方法的导电结构、硒鼓粉盒及导电方法,导电结构应用于硒鼓粉盒,导电结构包括导电端边盖以及导电体;导电体设置于导电端边盖上,导电体具有第一接触部以及第二接触部,第一接触部能够套设于定位结构上,第二接触部设置于导电...
一种基于H-Net的双通道同步菲涅耳非相干相关全息成像方法
本发明公开了一种基于H‑Net的双通道同步菲涅耳非相干相关全息成像方法,包括以下步骤:步骤1)通过双通道偏振光路系统,在单次曝光下同步采集物体反射或自发光的0相移全息图与π/2相移全息图;步骤2)将步骤1采集的两幅全息图输入预训练的H‑Ne...
基于多全息图的光学重建方法、装置及系统
本发明涉及光学重建技术领域,揭露了一种基于多全息图的光学重建方法、装置及系统,该方法包括:获取目标灰度图像集合,将灰度图像集合中的每个灰度图像转换为全息图像,得到全息图像集;对全息图像集中每个全息图像的光场进行附加相位嵌入,得到复合全息图;...
一种手表镜片内嵌标识的双面加工方法
本发明公开了一种手表镜片内嵌标识的双面加工方法,属于钟表加工技术领域。该方法包括:在手表镜片的用户面进行激光镭雕,形成刻线或数字;在镜片背面印刷环形视窗区域,使镭雕图案的投影位于视窗内;在用户面丝印环状油墨层以填充镭雕区域;最后通过抛光去除...
一种应用于大面阵图像传感器系统的可配置性高精度时间数字转换器
本发明涉及一种应用于大面阵图像传感器系统的可配置性高精度时间数字转换器,属于时间数字转换器技术领域,以解决传统TDC分辨率受工艺延迟限制、死区时间过长及资源效率与测量性能难以平衡的问题。本发明技术方案包括:多周期多耦合方法构建非均匀延迟链提...
一种具有升降功能的实验水池的安全控制系统
本申请提供的一种具有升降功能的实验水池的安全控制系统,该系统包括安装在实验水池底部的升降台,以及布置在实验水池周边的造波机。其中,升降台可与升降台控制器保持实时通信连接,而造波机则同样与造波机控制器建立了稳定的通信链路,并且,这两个控制器之...
一种碎矿及输送智能自动化控制系统
本发明提供一种碎矿及输送智能自动化控制系统,所述系统包括碎矿输送模块、控制模块和监控模块,所述控制模块包括主站控制器和分站控制器,所述主站控制器用于与分站控制器数据进行通讯和逻辑保护功能设定,所述分站控制器用于对碎矿输送模块的信号采集和控制...
一种GGH烟气换热器低泄漏风机冗余控制方法、系统、设备及存储介质
本发明涉及烟气脱硫控制技术领域,特别是一种GGH烟气换热器低泄漏风机冗余控制方法、系统、设备及存储介质。针对传统单台低泄漏风机配置存在的单点故障风险和缺乏自动切换机制的问题,本发明构建双风机冗余配置,通过监测风机运行参数建立性能与系统泄漏率...
一种分布式处理系统主备控制器确定方法及系统
本发明公开了一种分布式系统主备控制器确定方法及系统,通过在系统上电后对系统内的主控制器和备用控制器的硬件资源均进行初始化自检;若主控制器的自检时间大于备用控制器的自检时间超过设定阈值,则将备用控制器作为新的主控制器用于系统控制,否则仍利用主...
PDFF控制器的前馈系数确定方法、伺服驱动器及介质
本申请公开了一种PDFF控制器的前馈系数确定方法、伺服驱动器及介质,涉及伺服驱动器控制技术领域,获取待使用前馈系数和目标性能指标值,并控制PDFF控制器按照待使用前馈系数运行;计算得到PDFF控制器在待使用前馈系数下的第一性能指标值;若第一...
一种自动化控温的豆类食品熟化油炸协同处理工艺
本申请涉及豆类食品加工技术领域,公开了一种自动化控温的豆类食品熟化油炸协同处理工艺,包括以下步骤:步骤1、获取待处理豆料的原料特征信息;步骤2、对所述待处理豆料进行熟化处理;步骤3、根据所述熟化处理过程的监测结果,生成表征本次熟化处理效果的...
基于伺服调节阀门的船用水力测功器控制系统
一种基于伺服调节阀门的水力测功器控制系统及方法,属于船用动力装置测试技术领域。该系统包括测功器本体、伺服调节进水阀和排水阀、高精度称重设备和转速监测设备、智能控制器及人机交互界面。通过采用微米级精度的伺服电机驱动阀门,结合双闭环PID控制算...
一种基于数字孪生的大部件装测一体化在线调控方法及系统
本申请提供一种基于数字孪生的大部件装测一体化在线调控方法及系统,属于智能制造与数字孪生技术领域,所述方法:对大部件的原始三维模型进行预处理,对原始三维模型进行边界点识别、折叠代价计算以及迭代简化;构建多传感器测量网络,进行大部件装配场景全局...
一种滤饼成型动态压控智能调控方法
本发明提供了一种滤饼成型动态压控智能调控方法,属于基于计算机数据处理的智能调控技术领域;首先,通过布设压力、流量传感器提取固液混合物的特性,同时通过摄像机识别固液混合物状态特征,综合多维度信息构建滤饼状态的模式识别模型,避免单一参数致使模型...
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