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最新专利技术
  • 分解性膜的使用方法及抗蚀图案的制作方法
    分解性膜的使用方法及抗蚀图案的制作方法_琳得科株式会社_202480005675.7
    本发明提供一种分解性膜的使用方法，其具备：准备分解性膜的工序，所述分解性膜含有脂肪族聚碳酸酯和通过照射能量射线产生酸或碱的酸/碱产生剂，除上述脂肪族聚碳酸酯以外的粘着性树脂的含量为10质量%以下；对上述分解性膜的整个面或俯视平面的一部分照射...
    2025-12-23
  • 用于控制光学元件的位置的方法和系统
    用于控制光学元件的位置的方法和系统_ASML荷兰有限公司_202480027557.6
    本公开提供了一种控制光学元件的位置用于投影图像的方法，该方法包括以下步骤：‑提供光学元件，光学元件具有至少一个致动器，以允许光学元件在至少第一自由度和至少第二自由度中的移动；‑确定光学元件在至少第二自由度中的移动误差；‑使用光学元件在第一自...
    2025-12-23
  • 具有流体处理结构的光刻装置
    具有流体处理结构的光刻装置_ASML荷兰有限公司_202480027904.5
    本文中公开了一种光刻装置，该光刻装置包括与衬底和/或衬底支撑件间隔开间隔距离的流体处理结构；被配置为移动衬底支撑件并且由此移动衬底的定位设备；以及控制系统，该控制系统被配置为控制定位设备，使得衬底支撑件沿着包括一个或多个准备运动和一个或多个...
    2025-12-23
  • 衬底边缘图案化技术
    衬底边缘图案化技术_昂图创新有限公司_202480029686.9
    用于快速地对衬底面板的一个或多个边缘区域进行成像而不对衬底面板的其他区域(诸如衬底面板的已暴露于紫外(UV)光的区域)进行成像的各种技术。在一些示例中，照明掩模组件可以联接到夹具组件并用于对衬底面板的至少一个边缘区域(诸如包括一个或多个虚设...
    2025-12-23
  • 用于在光刻设备中夹持图案化装置的系统和方法
    用于在光刻设备中夹持图案化装置的系统和方法_ASML荷兰有限公司_202480029823.9
    图案化装置(例如，掩模版)通常通过真空夹具夹持到光刻设备中的卡盘，以在扫描方向上驱动图案化装置。用于扫描的图案化装置的加速通常会导致图案化装置以螺旋形和/或扭曲形状变形。描述了一种新的夹持系统，该夹持系统包括被配置为向图案化装置施加夹持力的...
    2025-12-23
  • 抗蚀剂图案填充液以及使用其来制造抗蚀剂图案的方法
    抗蚀剂图案填充液以及使用其来制造抗蚀剂图案的方法_默克专利有限公司_202480027989.7
    提供了一种抗蚀剂图案填充液以及使用其来制造抗蚀剂图案的方法。
    2025-12-23
  • 用于金属氧化物光刻胶的后显影处理
    用于金属氧化物光刻胶的后显影处理_应用材料公司_202480028139.9
    本文所披露的实施方式包括金属氧化物光刻胶的后显影处理的方法。在实施方式中，一种方法包括在基板之上沉积金属氧化物光刻胶，通过极紫外线(EUV)曝光来暴露金属氧化物光刻胶以形成已暴露区域及未暴露区域，使已暴露的金属氧化物光刻胶显影，及对经显影的...
    2025-12-23
  • 包括传感器组件的电子装置
    包括传感器组件的电子装置_三星电子株式会社_202480029539.1
    根据本文中公开的实施例，电子装置可以包括：壳体，包括第一表面和面对与第一表面相反的方向的第二表面；印刷电路板，设置在第一表面和第二表面之间的空间中；传感器组件，包括设置在第一表面和印刷电路板之间的至少一个传感器和设置在面对印刷电路板的表面上...
    2025-12-23
  • 使用数据通信的增强型远程控制
    使用数据通信的增强型远程控制_三菱电机株式会社_202380090879.0
    本说明书提出一种根据从控制器(CTLR)重复接收的命令来控制操作至少一个执行器的代理(AGT)的方法，所述代理从感测执行器的环境的至少一个传感器重复接收测量数据，所述测量数据在迭代k处定义由执行器在先前迭代k‑1处应用标称命令(2)产生的执...
    2025-12-23
  • 用于训练机器学习系统的方法和设备
    用于训练机器学习系统的方法和设备_罗伯特·博世有限公司_202480027378.2
    用于训练机器学习系统(60)的计算机实施的方法(300)，所述机器学习系统(60)用于在工程系统(100，200)的模型预测控制中使用，其中机器学习系统(60)构成用于：关于待控制的工程系统(100，200)的运行状态和/或环境状态求出表征...
    2025-12-23
  • 用于形成设施的、尤其工业环境中的设施的、用于形成设施的数字孪生的三维运动学模型的计算机辅助的方法和装置
    用于形成设施的、尤其工业环境中的设施的、用于形成设施的数字孪生的三维运动学模型的计算机辅助的方法和装置_西门子股份公司_202480028811.4
    本发明涉及用于形成设施、尤其工业环境中的设施的、用于形成设施的数字孪生的三维运动学模型的计算机辅助的方法以及装置，其中a)通过第一模块在第一时间点创建并存储设施的第一3D扫描，b)根据检测结果通过第三模块在至少一个随此之后的第二时间点创建并...
    2025-12-23
  • 带有无刷永磁马达的致动器
    带有无刷永磁马达的致动器_贝利莫控股公司_202480027160.7
    公开了一种用于移动HVAC系统中负载的致动器(1)。致动器(1)包括马达(15)，马达为无刷永磁马达。致动器包括齿轮单元(16)，其中齿轮单元(16)的输入侧耦合到转子，并且齿轮单元(16)的输出构件(12)被配置为耦合到负载。致动器还包括...
    2025-12-23
  • 从模块以及至少开始模块化控制器系统的从模块的迭代注册的方法
    从模块以及至少开始模块化控制器系统的从模块的迭代注册的方法_丹佛斯有限公司_202480028535.1
    本发明涉及一种用于模块化控制器系统(100)的从模块(1)，该模块化控制器系统包括主模块(50)并且采用工业网络(90)。从模块(1)包括处理单元(10)和耦接到处理单元(10)的网络适配器(20)。为了促进控制器系统(100)的调试并允许...
    2025-12-23
  • 工程工具
    工程工具_株式会社东芝_202480028488.0
    课题在于，使控制程序的导入高效化。解决方案在于，工程工具具备导入部，该导入部对分别具有至少1个以上的变量或数组的多个构造体进行导入，所述导入部以使所述多个构造体中的参照其他构造体的构造体在所述其他构造体之后导入的方式，决定导入顺序，并以所决...
    2025-12-23
  • 显示装置以及计算机可读存储介质
    显示装置以及计算机可读存储介质_发那科株式会社_202380097697.6
    显示装置具备：路径取得部，其取得表示控制轴的动作路径的路径信息；电力取得部，其取得与控制轴在动作路径上移动时加工机所消耗的电力有关的电力信息；决定部，其基于电力取得部取得的电力信息来决定由路径取得部取得的路径信息所表示的动作路径的显示方式；...
    2025-12-23
  • 加工信息显示装置
    加工信息显示装置_发那科株式会社_202380097680.0
    提供一种无论用户的熟练度如何，都可以容易地选择机床的加工模式，而可以简单地进行效率良好的加工的加工信息显示装置。加工信息显示装置具有对由机床进行的加工所要求的加减速功能、伺服功能和校正功能中的至少1个的参数的组合进行定义的至少2个加工模式，...
    2025-12-23
  • 加工信息显示装置
    加工信息显示装置_发那科株式会社_202380097688.7
    本发明提供一种无论用户的熟练度如何，都可以容易地选择机床的加工模式，从而可以简单地进行效率良好的加工的加工信息显示装置。加工信息显示装置具有对由机床进行的加工所要求的加减速功能、伺服功能和校正功能中的至少1个的参数的组合进行定义的至少2个加...
    2025-12-23
  • 数值控制装置
    数值控制装置_发那科株式会社_202380097651.4
    本发明提供一种可以使考虑到工件或夹具与工具的干扰的周程时间有效缩短的数值控制装置。一种数值控制装置，其用于使工具与工件或夹具相对移动并通过所述工具来加工所述工件的机床，其中，所述数值控制装置具备：存储部，其存储加工程序，所述加工程序使所述机...
    2025-12-23
  • 机床的显示装置、机床的控制装置以及程序
    机床的显示装置、机床的控制装置以及程序_发那科株式会社_202380097732.4
    本发明提供一种能够容易地计算在摆动加工中满足目标表面粗糙度的进给速度的技术。机床的显示装置(1)具备：关系值取得部(12)，其取得表示切削刀具与工件的相对进给速度与表面粗糙度的关系的关系值；目标表面粗糙度取得部(13)，其取得针对作为加工对...
    2025-12-23
  • 机床的显示装置以及程序
    机床的显示装置以及程序_发那科株式会社_202380097784.1
    本发明提供一种能够在机床的摆动加工中基于应考虑的多个观点来提示加工条件的设定范围的技术。机床的显示装置(1)具备：第一加工条件获取部(11)，其获取加工条件中包含的主轴转速、进给速度、频率参数以及振幅参数中的至少一个来作为第一加工条件；计算...
    2025-12-23
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