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电镀装置及使用其的晶圆清洗方法
本发明公开了一种电镀装置及使用其的晶圆清洗方法。电镀装置包括电镀腔室和晶圆夹具(用于定位连接晶圆),电镀腔室包括回收槽和清洗水出口(用于向晶圆喷射清洗水),晶圆夹具具有能够驱动晶圆绕轴向进行旋转的第一运动自由度、还具有能够调整晶圆的轴向与水...
一种非真空镀膜枪
本发明公开了一种非真空镀膜枪,其特征在于:包括离子发生枪、药液反应喷涂枪,离子发生枪与药液反应喷涂枪进行连接;离子发生枪包括离子枪头组件、离子枪体组件、点火组件、进气接头;药液反应喷涂枪包括喷枪主体、分流芯子组件、喷枪头组件、后定位组件,分...
一种温度分布均匀的薄膜沉积腔体
本发明公开了一种温度分布均匀的薄膜沉积腔体,包括加热器、背板组件、腔体侧壁、腔体底板和多个温度补偿装置;所述背板组件包括气体入口和气流匀化板;所述腔体底板上设置有真空泵接口;所述温度补偿装置设置在腔体侧壁的内侧,或者,所述温度补偿装置嵌设在...
一种高温钢渣分级冷却破碎与f-CaO高效消解系统及工艺
本发明公开了一种高温钢渣分级冷却破碎与f‑CaO高效消解系统及工艺,包括液态渣罐、一级湿法冷却辊压破碎装置、二级密闭干式冷却破碎装置、用于在一级湿法冷却辊压破碎装置和二级密闭干式冷却破碎装置之间转运钢渣的中转渣罐、三级连续输送及雾化冷却高效...
一种类器官样本制备系统
本发明公开了一种类器官样本制备系统,包括液滴制备子系统;液滴制备子系统包括胶滴制备冷室和动力装置;动力装置和胶滴制备冷室连接;胶滴制备冷室包括制冷模块以及制备模块,制冷模块设置在制备模块周围任意位置,制冷模块用于调节所述制备模块中待处理类器...
制备复合材料用橡胶密封膜的配方及加工方法
本发明提供制备复合材料用橡胶密封膜的配方及加工方法,所述制备复合材料用橡胶密封膜的组分以重量份计包括:50~70份高苯基硅橡胶、20‑30份中苯基硅橡胶、10‑20份氟硅橡胶、5~10份高温内脱模剂、10‑20份白炭黑、2‑5份芳纶短纤维、...
一种复合材料用橡胶密封条及其制备方法
本发明涉及高分子制品技术领域,具体为一种复合材料用橡胶密封条及其制备方法,组分包括:50‑70份苯基硅橡胶、10‑25份硼硅橡胶、10‑20份氟硅橡胶、5‑10份氟醚橡胶、5‑10份高温改性剂、10‑30份白炭黑、10‑30份芳纶短纤维、5...
一种纺织加工用印染废水处理装置
本发明属于废水处理技术领域,公开了一种纺织加工用印染废水处理装置,其技术要点是:包括箱体,所述箱体内腔转动安装有承载柱,所述箱体侧壁设置有与承载柱相互配合的旋转组件,所述承载柱表面设置有除杂机构,所述除杂机构包括有筛选组件与混合组件,所述筛...
一种液流温控式熔融物料下料分布器
本发明涉及一种液流温控式熔融物料下料分布器,主体包括由上部进料槽和下部排料基座构成的布料器,包含有温度传感器、液流输出管道、液流返回管道和PLC控制柜的供液温度控制系统,及上设有温度传感器安置孔、液流输出管道和液流返回通道的密封安装连接座的...
一种用于矿车车轮机加工的自动送料装置
本发明公开了一种用于矿车车轮机加工的自动送料装置,属于矿车车轮机加工技术领域,一种用于矿车车轮机加工的自动送料装置包括对称设置的侧支架,所述侧支架的顶部设有上支板,所述侧支架上设有用于运输轮毂的运输组件,所述运输组件上设有若干个用于支撑轮毂...
一种轮对压装智能配送系统
本发明公开了一种轮对压装智能配送系统,包括立体库、输送单元、用于检测车轮尺寸的检测单元以及用于打磨车轮的打磨单元,其中,所述输送单元包括自检带与输送带,所述输送带的两端设有上下料机构,所述自检带的两端分别连接立体库的一个出入口与输送带,所述...
一种货厢载物运输用折叠货架
本发明涉及货厢运输的技术领域,特别是涉及一种货厢载物运输用折叠货架,包括两相对设置的基架和安装于两所述基架上的若干载物架,所述载物架用于承载货物,两所述基架之间通过若干连接架连接;所述载物架的两侧均设置有基座、斜臂和侧板,所述载物架在所述基...
一种地质灾害动态自适应监测的无人机监测装置
本发明公开了一种地质灾害动态自适应监测的无人机监测装置,涉及地质灾害监测技术领域,包括机架,机架下方安装有底托板,底托板底部圆周设置有弧形支腿,机架外侧圆周设置有空心密封板,机架上均匀安装有信号传输装置,机架中部上表面安装有信号传输装置,还...
一种农药喷洒无人机
本发明提供一种农药喷洒无人机,包括安装板,所述安装板顶面的中部安装有矫正组件,所述矫正组件的顶面停放有无人机组件,所述安装板的顶面且圆周阵列有加药组件;所述无人机组件包括机体,所述机体的四周分别固定连接有机臂,所述机臂顶面的一端固定连接有飞...
一种超高速列车负压运行管道
本发明属于超高速列车技术领域,具体为一种超高速列车负压运行管道,包括列车运行负压管道,所述列车运行负压管道的上壁和侧壁固定有均匀排布的排气窗,所述列车运行负压管道的下侧铺设有轨道地基,所述列车运行负压管道的侧壁开设有应急检修门,所述列车运行...
自动驾驶方法、装置、电子设备、存储介质和程序产品
本公开实施例公开了一种自动驾驶方法、装置、电子设备、存储介质和程序产品,基于锚点轨迹引导目标车辆的预测驾驶轨迹,并将预测驾驶轨迹作为基础驾驶策略,为目标车辆的自车驾驶提供基础的参考轨迹,解决了相关技术中行为克隆在闭环部署中的分布偏移问题,而...
一种履带式铰接车辆协调控制系统及方法
本发明涉及辆运动控制系统的动态调节与同步技术领域,尤其涉及一种履带式铰接车辆协调控制系统及方法,包括主从控制模块、冗余通信模块、动态协调模块、冗余控制模块及低温适应模块。主从控制模块通过时间戳同步机制对齐前后车指令时序,动态协调模块基于车辆...
电子真空泵控制方法、装置、制动系统、可读存储介质和计算机程序产品
本公开提供了一种电子真空泵控制方法、装置、制动系统、可读存储介质和计算机程序产品,涉及电动汽车领域,尤其涉及制动控制领域。实现方案为:响应于检测到制动踏板被踩下的信号,获取所述制动踏板的制动踏板力和制动系统的制动压力,其中,所述制动系统包括...
空中轨道充电机器人
本发明公开了空中轨道充电机器人,属于充电桩领域,包括安装架,所述安装架的顶壁上固定安装有顶板,所述顶板上开设有滑轨,且所述滑轨上滑动安装有安装箱,且所述安装箱内设有充电组件;所述充电组件包括开设在安装箱内的滑槽,所述滑槽内滑动安装有安装板,...
汽车天窗机械组件及汽车天窗装置
本发明揭示了一种汽车天窗机械组件及汽车天窗装置,所述汽车天窗机械组件包括:驱动滑块、连接侧板、横梁、举升机构及第二滑块;所述驱动滑块及连接侧板设置于天窗导轨的设定位置,所述驱动滑块能在天窗软轴的带动下沿所述天窗导轨运动;所述驱动滑块的第一侧...
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