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  • 本申请提供了一种用于电涡流传感器的大量程标定方法、测量方法及设备,其中,标定方法包括:获取电涡流传感器检测样本晶圆得到的基值量测信号和晶圆量测信号,计算晶圆量测信号和基值量测信号的差,得到用于表征样本晶圆上金属层产生的电涡流的涡流信号;将涡...
  • 本申请涉及高精度工件研磨领域,提供一种用于航空航天零部件的研磨装置,包括行星轮、下研磨组件和上研磨组件;下研磨组件包括研磨座、下磨盘、太阳齿轮、内齿圈、第一转轴和第一驱动单元;第一转轴顶部设有卡槽;太阳齿轮设于第一转轴上;行星轮放置于下磨盘...
  • 本发明涉及自动化研磨设备技术领域,尤其涉及化学机械研磨装置。该化学机械研磨装置包括装夹座、研磨组件、研磨液喷射组件以及驱动模组,装夹座具有沿竖直方向延伸的装夹端面,装夹端面能够与产品的待固定端面可拆卸固定,研磨组件的研磨端与产品的待研磨端面...
  • 本发明公开了一种双面研磨玻璃基板的研磨装置及其工作方法,涉及玻璃基板技术领域,包括六组面研磨设备机组,每组面研磨设备机组按照工序依次包括粗磨设备、细磨设备和抛光设备;六组面研磨设备机组依次编号为1‑6号面研磨设备机组,且每组面研磨设备机组相...
  • 本发明公开了一种用于控制钌阻挡层铜布线CMP碟形坑、蚀坑及界面腐蚀的方法,适用于14纳米及以下集成电路制造工艺。该方法通过将特定合成的TTAK缓蚀剂引入抛光液体系,利用其分子结构的定向吸附特性,选择性抑制铜的腐蚀反应,同时维持钌阻挡层与TE...
  • 本发明公开了一种超声能场辅助研磨与抛光加工微球的装置及方法,所述装置包括上磨盘组件和下磨盘组件,待加工球体设置在所述上磨盘组件的上磨盘与所述下磨盘组件的下磨盘之间;所述上磨盘组件包括依次相连的传动组件、轴承组件、连接组件二、弹簧组件、上磨盘...
  • 本发明涉及石墨模具抛光技术领域,公开了一种精密石墨模具加工用CMP抛光机,包括底座,底座上端转动连接有放置盘,放置盘上开设有圆槽,放置盘上方滑动连接有抛光板,放置盘下端内壁上连接有内齿,内齿之间设置有旋转轨,旋转轨下端连接有旋转杆,旋转杆转...
  • 一种针刺机针板的自动研磨去毛刺装置,属于无纺织机械制造技术领域。包括机架,在机架内构成有机架上腔室隔板以及机架下腔室隔板,并构成为机架上腔室、机架下腔室和针板研磨工作腔;上研磨模具设置在针板研磨工作腔内,上研磨模具升降机构设置在机架上腔室内...
  • 一种适用微小尺寸硬密封单向活门阀体的研磨工装及方法,适用微小尺寸硬密封单向活门阀体阀芯配对研磨方法,摒弃传统人工操作对研精度低、效率低的加工方式,创新的通过一种适用于硬密封单向活门阀体阀芯配对研磨工装结构,有效解决了现有技术中生产效率低下、...
  • 本发明公开了一种高纯镍蒸发颗粒的制备方法,将圆形镍铸锭料进行热镦获得方形坯,第一次打磨后进行热轧获得热轧坯,第二次打磨后进行冷轧获得冷轧坯,再将冷轧坯进行热处理、压平,随后进行切割获得条状料,再将条状料依次进行模压、第三次打磨、旋锻获得棒材...
  • 本发明属于控制阀加工技术领域,且公开了一种张紧控制阀加工用内壁面磨粒流抛光装置,包括支撑组件,所述支撑组件上连接设有夹持组件,且所述夹持组件的一侧设有驱动组件,所述夹持组件远离所述驱动组件的一侧设有冷却组件,所述冷却组件远离所述夹持组件的一...
  • 本发明提供了一种零件内表面抛光机,包括壳体、夹持固定组件、超声螺旋振动杆以及三相交变线圈;壳体具有用于储存铁磁性磨料的磨料储存转运器;夹持固定组件用于夹持具有通孔的工件;超声螺旋振动杆包括驱动部、杆体和螺旋凸台,驱动部用于驱动杆体转动和沿轴...
  • 本发明涉及抛光装置技术领域,具体为一种铝管高度调节式抛光装置,包括安装板,所述安装板的前表面安装有控制面板,所述安装板的顶面安装有支撑架,所述安装板的上表面设置有放置台,所述放置台的左右表面皆安装有夹持机构,所述安装板的背面安装有修整组件,...
  • 本发明涉及一种钛合金焊丝飞翼轮抛光机构,本发明有效解决了飞翼轮的接触位置容易堆积灰尘等问题;解决的技术方案包括台体,所述台体的上表面设置有抛光机构,所述抛光机构包括飞翼轮和辅助轮,所述台体的下方转动设置有驱动轮,所述驱动轮的底部一体设置有缺...
  • 本发明涉及烹饪机器人加工技术领域,且公开了一种烹饪机器人加工用抛光设备,包括底座与烹饪锅主体,烹饪锅主体包括锅体与连接头,所述底座的顶部设有用于对锅体内表面以及外表面进行抛光作业的抛光模组,抛光模组的下方设有设置在底座顶部带动抛光模组进行水...
  • 本申请涉及版辊抛光设备技术领域,尤其是涉及一种版辊抛光装置及版辊加工方法,其包括机床,机床顶部左右两端设有两固定座,待抛光打磨的版辊沿水平方向转动安装在两固定座之间,机床的顶部还加设有抛光组件,抛光组件位于版辊一侧,抛光组件用于对所述版辊进...
  • 本申请涉及混凝土砌块抛光技术领域,特别是涉及一种节能型混凝土砌块的表面抛光装置,包括抛光机架,所述抛光机架一端设置有入料平台,另一端设置有出料平台,且入料平台高度高于出料平台,所述抛光机架中部设置有面向出料平台向下均匀排布的转动滚筒;本发明...
  • 本发明公开了一种显示屏加工用曲面自适应抛光装置,包括定位底座,还包括固定连接在定位底座上的调节支撑架、固定连接在调节支撑架上的连接架、固定连接在连接架底部的定位盘、固定连接在连接架上的第一伸缩杆、转动连接在第一伸缩杆底部的连接杆、固定连接在...
  • 本发明公开了高同心度齿轮快速夹紧定位抛光装置,属于齿轮生产技术领域,通过设置的传动机构、定位机构和抬升机构,通过升降台上升带动转动台转动,进而使夹具沿限位槽水平移动,完成对齿轮的自动夹紧定位,使得齿轮在抛光过程中不会发生偏移,提高了抛光的稳...
  • 本发明公开了一种基于数控路径规划与过程优化的光学元件成形方法,涉及高端装备制造与工业智能控制技术领域,具体方法包括:第一步,对光学元件易崩边区域进行预处理,从右向左加工,在该区域形成至少三个高度依次逐步加高的阶梯状缓冲区域,第二步,刀具从左...
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