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最新专利技术
  • 一种种子层防氧化的方法
    一种种子层防氧化的方法_深圳市矩阵多元科技有限公司_202511023129.9
    本发明属于集成电路技术领域，提供了一种种子层防氧化的方法。本发明先在基板完成开通孔，然后在基板至少一个表面沉积种子层，接着在种子层上采用ALD沉积钌和/或钨抗氧化层，再进行后续的光刻、微蚀和电镀，钌和/或钨抗氧化层对种子层起到保护作用，在后...
    2025-12-18
  • 半导体结构及其形成方法
    半导体结构及其形成方法_北京知识产权运营管理有限公司_202410591738.3
    本申请提供半导体结构及其形成方法，所述半导体结构包括：半导体衬底，所述半导体衬底表面形成有若干鳍片结构；第一开口，位于所述鳍片结构中；保护层，位于所述第一开口的侧壁；第二开口，位于所述第一开口底部的鳍片结构中与所述第一开口连通，所述第二开口...
    2025-12-18
  • 一种晶圆定位夹持装置
    一种晶圆定位夹持装置_上海集迦电子科技有限公司_202511500429.1
    本发明公开了一种晶圆定位夹持装置，包括晶圆载台，包括支撑部和承载部；承载部设于支撑部，承载部上开设至少一个夹持通道和多个同心设置的放置槽；多个放置槽的直径由内而外依次增大，以承载不同尺寸的晶圆；夹持通道自承载部的外部向中部延伸以使放置槽均与...
    2025-12-18
  • 一种晶圆夹持装置
    一种晶圆夹持装置_上海集迦电子科技有限公司_202511500428.7
    本发明公开了一种晶圆夹持装置，包括：晶圆载台，包括放置部和滑动部；所述放置部与所述滑动部连接；所述放置部上开设多个同心设置的放置槽，多个所述放置槽的直径由内而外依次增大，以承载不同尺寸的晶圆；相对设置的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部...
    2025-12-18
  • 一种芯片定位装载盘及芯片自动翻转设备
    一种芯片定位装载盘及芯片自动翻转设备_四川和恩泰半导体有限公司_202511494617.8
    本发明涉及一种芯片定位装载盘及芯片自动翻转设备，属于半导体芯片检测技术领域，包括框架；第一夹紧机构包括固定件及第一夹紧件，第一夹紧件可相对于固定件移动；第二夹紧机构包括与固定件连接的止位件及第二夹紧件，多个第一夹紧机构和多个第二夹紧机构之间...
    2025-12-18
  • 半导体槽式清洗机的翻转机构
    半导体槽式清洗机的翻转机构_航菱微(泰州)科技有限公司_202511123856.2
    本发明公开了一种半导体槽式清洗机的翻转机构，包括翻转底座，翻转底座连接有右侧主板、左侧主板；翻转底座上设置有安装支架，安装支架的端部设置有第一传感器，且第一传感器的输出端连接控制系统；右侧主板、左侧主板之间设置有翻转框结构；翻转框结构包括框...
    2025-12-18
  • 半导体工艺设备、晶圆传输系统及加载腔
    半导体工艺设备、晶圆传输系统及加载腔_北京北方华创微电子装备有限公司_202511120551.6
    本发明提供一种加载腔，包括：腔体、基座、顶针驱动组件和多根顶针；基座设置在腔体中，基座具有用于承载托盘的承载面；顶针驱动组件包括安装板、升降杆和升降驱动组件，其中，多根顶针设置在安装板上；腔体的底壁上形成有第二通孔，升降杆的顶端与安装板固定...
    2025-12-18
  • 一种晶舟夹持机构
    一种晶舟夹持机构_江苏道达智能科技有限公司_202510941886.8
    本发明涉及半导体器件专用设备技术领域，提供一种晶舟夹持机构，包括第一夹爪和第二夹爪，所述第一夹爪和所述第二夹爪受驱动相互接近或远离，以对物品进行夹持或释放，所述第一夹爪和所述第二夹爪均包括第一支架和第二支架，所述第一支架适于夹持第一类晶舟，...
    2025-12-18
  • 机械手取片方法及电子设备
    机械手取片方法及电子设备_北京京仪自动化装备技术股份有限公司_202510863330.1
    本申请涉及机械手技术领域，提供一种机械手取片方法及电子设备。所述方法包括：控制机械手的手叉移动至晶圆载体盒内晶圆片的下方并上升，直至与所述晶圆片接触；在所述手叉与所述晶圆片之间存在水平坐标偏差时，控制所述手叉下降，直至与所述晶圆片脱离接触；...
    2025-12-18
  • 基板保持装置
    基板保持装置_盛美半导体设备(上海)股份有限公司_202410605625.4
    本发明公开了一种基板保持装置，包括卡盘、多个夹持件、同步件和驱动机构。多个夹持件沿周向间隔设置在卡盘的边缘，每个夹持件均包括相互连接的夹持部和连接部；同步件设置在卡盘的下方，同步件包括支撑环和多个支撑轴，多个支撑轴沿周向间隔设置在支撑环上，...
    2025-12-18
  • 一种旋风伯努利手指
    一种旋风伯努利手指_芯钛科半导体设备(上海)有限公司_202511316790.9
    本发明公开了一种旋风伯努利手指，属于晶圆搬运技术领域，包括手指本体，手指本体的表面设置有若干个呈环状的涡旋通道，手指本体的内部还设有气流通道，气流通道包括均与涡旋通道以相切的方式连通的进气流道和排气流道，进气流道及排气流道分别在手指本体的表...
    2025-12-18
  • 具有改良的接合层保护的基板支撑载体
    具有改良的接合层保护的基板支撑载体_应用材料公司_202511116886.0
    一种基板支撑基座包括静电吸盘、冷却基部、气流通道、多孔塞和密封构件。静电吸盘包括具有腔的主体。冷却基部经由接合层耦接到静电吸盘。气流通道形成在静电吸盘的顶表面与冷却基部的底表面之间。气流通道进一步包括腔。多孔塞定位于腔内，以控制通过气流通道...
    2025-12-18
  • 一种抑制吸嘴变形和改善气流传导的吸嘴杆及其控制方法
    一种抑制吸嘴变形和改善气流传导的吸嘴杆及其控制方法_无锡中微高科电子有限公司_202511109450.9
    本发明涉及一种抑制吸嘴变形和改善气流传导的吸嘴杆及其控制方法。本发明包括主承载柱，沿轴向设置有主承载柱孔；基座，其一端与主承载柱相连且设置有基座孔；蜂窝管道，其一端与基座另一端相连，蜂窝管道包括中空外管、中空内管和蜂窝结构，中空内管同轴设置...
    2025-12-18
  • 一种晶圆级封装的保护封盖的表面处理方法
    一种晶圆级封装的保护封盖的表面处理方法_江苏纳沛斯半导体有限公司_202511097816.5
    本发明公开了一种晶圆级封装的保护封盖的表面处理方法，其包括如下步骤：S1、对保护封盖的表面进行平整度优化处理；S2、再进行保护封盖表面粗糙度调控；S3、对保护封盖的热界面优化处理；S4、对保护封盖的激光敏感界面层设计；S5、对保护封盖的表面...
    2025-12-18
  • 一种用于半导体陶瓷的气体压力层压装置
    一种用于半导体陶瓷的气体压力层压装置_中材高新氮化物陶瓷有限公司_202511041940.X
    本发明公开了一种用于半导体陶瓷的气体压力层压装置，包括基板、密封盖和加压组件，基板具有用于承载待层压件的上表面，待层压件包括多个从下至上依次叠放的生瓷片；密封盖具有罩住基板并围成密闭腔体的第一状态，以及具有与基板相分离的第二状态，密封盖的顶...
    2025-12-18
  • 一种晶圆传送控制方法及传送控制系统
    一种晶圆传送控制方法及传送控制系统_苏州鸿安机械股份有限公司_202511503260.5
    本发明提供一种晶圆传送控制方法及传送控制系统，包括：通过传感器网络采集设备状态和位置数据，形成设备状态矩阵；根据矩阵和加工流程确定各工艺节点的可用设备集合；以设备为节点，以传输距离和实时负载为边权构建有向加权图；采用路径搜索算法查找从起点到...
    2025-12-18
  • OHT稳定保持机构和料盒运输装置
    OHT稳定保持机构和料盒运输装置_华芯(嘉兴)智能装备有限公司_202511493660.2
    本发明涉及OHT设备技术领域，提供了一种OHT稳定保持机构和料盒运输装置，该OHT稳定保持机构的驱动电机浮动安装于第二滑轨上，当两侧的支撑脚任意一侧支撑脚先到达作业位置后，会将驱动电机作为浮动件，通过第二滑块在第二滑轨上滑动，增加了另一侧支...
    2025-12-18
  • 紧凑型晶圆线性搬运机构
    紧凑型晶圆线性搬运机构_苏州德龙激光股份有限公司_202511272630.9
    本发明涉及一种紧凑型晶圆线性搬运机构，包括旋转平台，旋转平台的底部连接有旋转电机，旋转平台的上端连接有第一旋转臂，第一旋转臂内一端连接有与旋转电机驱动连接的第一旋转关节组件，第一旋转臂内另一端连接有第二旋转关节组件，第二旋转关节组件与第一旋...
    2025-12-18
  • 基板的输送及对位设备
    基板的输送及对位设备_天虹科技股份有限公司_202511231830.X
    本发明为一种基板的输送及对位设备，适用于对一方形的基板进行输送及对位，包括一输送腔体、至少一处理腔体及至少一进出料腔体，其中输送腔体连接处理腔体及进出料腔体。一机械手臂位于输送腔体内，并用以带动基板沿着一转动轴心的一径向路径及一周向路径移动...
    2025-12-18
  • 单臂双叉真空晶圆传输机械手
    单臂双叉真空晶圆传输机械手_无锡富创得精密设备有限公司_202511134951.2
    本申请提供了单臂双叉真空晶圆传输机械手，属于半导体搬运技术领域。针对真空晶圆传输机械手灵活性较差以及效率较低的问题，本申请提供了单臂双叉真空晶圆传输机械手，包括机械手本体和机械手臂，且两者之间设置有隔离件，隔离件与真空腔室连接，且机械手本体...
    2025-12-18
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