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  • 本发明提供一种非等深硅槽结构的形成方法,包括:提供衬底,在衬底表面形成硬掩膜层并进行图形化处理,以暴露衬底的第一待刻蚀区;在衬底和硬掩膜层表面形成光刻胶层,并对光刻胶层进行光刻处理,以同时暴露衬底的第一待刻蚀区和衬底的第二待刻蚀区上的硬掩膜...
  • 本发明提供一种MEMS器件低应力封装方法及结构,通过将敏感结构贴装在盖板上,ASIC芯片设置在陶瓷管壳内,敏感结构与ASIC芯片以及器件输出口之间的电气连接通过盖板和陶瓷管壳之间的电气连接实现,盖板和陶瓷管壳之间的电气连接是通过共晶焊料共晶...
  • 本发明提供了一种用于微型敏感元件应力隔离的悬臂支撑结构及安装方法,由两个结构单元组成,分别是与敏感元件直接固连的弹性支撑梁和固定弹性支撑梁与封装管壳直接相连的固定端,所述弹性支撑梁为悬臂结构;所述的微型敏感元件上设置固支结构,固支结构上制备...
  • 本发明提供一种悬空二维异质结静电应变调控器件,其包括:作为背栅电极的硅衬底;设置于所述硅衬底上的SiO2介质层,其表面设有圆孔凹槽;环形电极,其环绕所述圆孔凹槽设置于所述SiO2介质层上;悬空的二维异质结,其覆盖于所述圆孔凹槽上方,其中所述...
  • 本发明公开了一种基于非对称多腔室和虚拟阀的微型压电散热器及应用,属于散热器技术领域,包括第一腔体、第二腔体、至少一个压电致动结构件、固支部件、入口结构件或者结构组件以及出口结构件或者结构组件;所述第一腔体与第二腔体形成散热器的基础周框,与所...
  • 本发明提供一种加油站油气回收设备和方法,涉及加油站油气回收技术领域,油气回收设备安装在加油枪与加油胶管之间,包含沿油气运动方向依次设置的识别模块以及稳压模块,其中,识别模块用于识别汽车是否具备车载油气回收系统,稳压模块用于抵抗油气回收真空泵...
  • 本发明提供一种加油站密闭加油的集气罩和应用方法,涉及加油站油气回收技术领域,集气罩设置在加油枪,包含:本体、弹簧以及单向阀,其中,弹簧以及单向阀设置在本体。本发明提供了一种新型的加油枪集气罩及制作方法,采用此集气罩可以实现加油过程密闭加油,...
  • 本申请提供一种智能加油机器人及其控制方法。涉及计算机技术领域。该方法包括:控制图像采集模块得到处理后的第一图像数据;控制路径规划模块根据处理后的第一图像数据和执行模块的第一实时位置数据,得到第一规划路径;根据第一规划路径控制执行模块依次开启...
  • 流体分配系统包括一次性分配器歧管,每个分配器歧管都有分配器歧管入口和与分配器歧管入口流体连通的多个分配器歧管出口。一组一次性加注歧管可以按顺序连接到在该组一次性加注歧管的连接部正上游一次性分配器歧管的相应一个出口。在实施例中,上游分配器歧管...
  • 本发明属于化工流体物料输送及自动控制技术领域,具体为一种基于DCS的烧碱罐车智能自动卸车系统及控制方法,卸车系统包括烧碱溶液储罐、卸车泵、卸车中间小罐、卸车鹤管和DCS系统;烧碱溶液储罐的进口阀通过卸车泵与卸车中间小罐的出液口连接,卸车中间...
  • 本发明公开了一种全自动火车鹤管灌装系统及方法,涉及鹤管灌装技术领域,包括:雨棚,其下方设有灌装停车标识区;雷达和监控相机,并列安在雨棚下方;鹤管机械臂,其包括固定支柱、内臂管组、转接管、外臂管组、垂管、内臂驱动机构、外臂驱动机构和垂管驱动机...
  • 本发明属于农药灌装技术领域,具体的说是一种防泄漏农药灌装设备,包括输送台,输送台用于输送药瓶,所述输送台上固定连接有升降架,所述升降架上设置有可升降的升降座,所述输送台上方位于升降架内设置有两个夹持座,所述输送台上设置有传动机构;设置的夹持...
  • 本发明涉及灌装技术领域,特别是涉及一种穹顶式阀杆密封充料枪,其包括料管、阀杆、封堵及密封结构,料管为中空管状且连通物料进口,阀杆穿设于料管内可轴向往复运动,封堵固定于阀杆底部,可封堵料管底端开口;密封结构包括型腔和密封构件,型腔设于料管上方...
  • 本发明涉及洗衣液加工技术领域,更具体的说是一种洗衣液及其加工方法;步骤一:将原料进行配比之后均匀搅拌,得到洗衣液;步骤二:将洗衣液输送到储存罐当中进行静置排气;步骤三:将静置之后的洗衣液输送到灌装设备中;步骤四:将加工装置安装在灌装设备的输...
  • 本发明涉及沐浴露加工技术领域,更具体的说是一种沐浴露及其加工系统与加工方法,包括固定盒和开设在固定盒上的三个开口Ⅰ,固定盒上固定连接有夹具盒,三个开口Ⅰ内均放置有瓶子,所述夹具盒内滑动连接有滑块,夹具盒内固定连接有滑轨Ⅰ,滑块与滑轨Ⅰ滑动连...
  • 本发明涉及开盖工具技术领域,且公开了一种脱模剂物料桶开盖器,包括底座,所述底座内部固定连接有升降机构,所述升降机构内侧固定连接有空心板,所述空心板顶部有固定连接有移动旋转机构,所述空心板内部固定连接有夹持机构,所述底座顶部设置有物料筒本体,...
  • 本发明属于电力工程施工技术领域,提供了一种便携轻巧式电力电缆沟重型盖板开启装置,包括左右一对支架,立架底部有滚轮,所述支架顶部安装有底板,所述底板上安装有手摇绞盘,开启装置还包括横梁,横梁上活动设置有悬吊组件,手摇绞盘的轮盘上绕有钢丝绳,钢...
  • 本申请涉及数据处理技术领域,具体涉及一种高空作业车支腿反力监测系统,解决了当前无法对支腿所受反力进行实时量化监测的技术问题。该系统包括:获取单元,用于获取高空作业车在作业过程中的支腿反力数据和整车姿态数据;动态分析单元,用于根据支腿反力数据...
  • 本发明公开了一种风电机组高空检修用安全型防护装置,涉及风电机组高空检修防护技术领域,包括安装底板、防护背板、支撑板、加固绳和工具箱,所述安装底板的上表面左右两侧均安装有防护侧板,所述防护背板上开设有通槽;所述安装底板的上表面左右两侧均安装有...
  • 本发明涉及吊篮技术领域,且公开了一种吊篮平衡装置,包括两个支撑杆和设置在两个支撑杆下方的吊篮,所述吊篮上设置有两个提升机,还包括:防脱部,所述防脱部设置有两个,两个所述防脱部均安装在吊篮上;稳定部,所述稳定部设置有两个,两个所述稳定部分别设...
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