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最新专利技术
  • 可实现原位退火处理的PVD设备及其控制方法
    可实现原位退火处理的PVD设备及其控制方法_浙江晟霖益嘉科技有限公司_202511187556.0
    本发明公开了一种可实现原位退火处理的PVD设备及其控制方法，所述PVD设备包括装载腔、加热除气腔、预清洗腔、工艺腔、中转腔和冷却腔，所述装载腔、加热除气腔、清洗腔、工艺腔和冷却腔围绕中转腔布置，并通过共享真空系统维持基础真空，所述冷却腔中设...
    2026-02-26
  • 一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统
    一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统_四川省机械研究设计院(集团)有限公司_202511577584.3
    本发明涉及电子束气相沉积技术领域，具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积的进料系统，包括：转架，转动连接若干工装座，发动机叶片设于工装座上并同步自转；公转组件，包括公转驱动器和公转杆，公转杆连接转架并带动转架公转；自转组件，包括自...
    2026-02-26
  • 一种薄膜沉积微纳加工装置及工艺
    一种薄膜沉积微纳加工装置及工艺_信阳市谷麦光电子科技有限公司_202511223291.5
    本发明属于薄膜沉积技术领域，尤其公开了一种薄膜沉积微纳加工装置及工艺。加工装置包括沉积箱，所述沉积箱的底部内壁上固定安装有安装台，所述安装台的顶部中心位置转动安装有靶座，所述安装台的底部安装有电机。本发明通过设有喷气清理组件，在靶材使用前，...
    2026-02-26
  • 用于反应器系统的激光器对准夹具
    用于反应器系统的激光器对准夹具_ASMIP私人控股有限公司_202511129227.0
    一种用于反应器系统的激光器对准夹具，可以用于对准反应器系统的部件以允许将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具可以包括：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具可以对准至少：流动控制环、基座，以及反应器系统的侧壁。
    2026-02-26
  • 一种多孔的磁控溅射电致变色薄膜及其制备方法和应用
    一种多孔的磁控溅射电致变色薄膜及其制备方法和应用_浙江大学_202511226376.9
    本发明公开了一种多孔的磁控溅射电致变色薄膜及其制备方法和在制作电致变色储能器件中的应用，可解决目前存在的电致变色薄膜变色的响应时间长、循环稳定性低等问题。制备方法包括：化学浴沉积形成氧化钨前驱体薄膜，氧化钨前驱体薄膜220℃以下烘干后即用于...
    2026-02-26
  • 一种具有优异耐磨性能的陶瓷涂层及其制备方法与应用
    一种具有优异耐磨性能的陶瓷涂层及其制备方法与应用_北京科技大学_202511177428.8
    本发明提供一种具有优异耐磨性能的陶瓷涂层及其制备方法与应用，涉及陶瓷涂层制备技术领域，所述陶瓷涂层由Ti、Mo、B、N元素组成，其中Mo元素的含量范围为16.1‑36.8 at.%。本发明还提供了所述陶瓷涂层的制备方法，包括步骤：对基片进行...
    2026-02-26
  • 一种提升刀具使用寿命的涂层及制备方法与应用
    一种提升刀具使用寿命的涂层及制备方法与应用_中航贵州飞机有限责任公司_202511108007.X
    本发明公开一种提升刀具使用寿命的涂层及制备方法与应用，所述涂层包括有从内至外依次设置于刀具基体上连接层、过渡层和功能层，其中，所述连接层为Cr层，所述过渡层为WC层，而所述功能层为WC‑DLC层，所述Cr层厚度为0.7μm～0.9μm，所述...
    2026-02-26
  • 一种基于非硅衬底的低温高性能PZT薄膜沉积工艺
    一种基于非硅衬底的低温高性能PZT薄膜沉积工艺_合肥领航微系统集成有限公司_202510983809.9
    本发明提供一种基于非硅衬底的低温高性能PZT薄膜沉积工艺，包括：取一片晶圆衬底，所述晶圆衬底具有相对的正面与反面；利用磁控溅射工艺在所述晶圆衬底的正面沉积一层可降低后续膜层沉积温度的第一buffer层；以及在所述第一buffer层的表面沉积...
    2026-02-26
  • 一种核反应堆用抗氦致损伤耐磨涂层及制备方法
    一种核反应堆用抗氦致损伤耐磨涂层及制备方法_西南交通大学_202510953609.9
    本发明涉及核反应堆材料技术领域，公开了一种核反应堆用抗氦致损伤耐磨涂层及制备方法；该方法包括：清洗奥氏体不锈钢基体；在真空度≤2×10‑3Pa条件下进行反溅射等离子清洗；Ar气氛中预溅射FeCrAl靶材去除杂质；Ar/N2混合气氛中磁控溅射...
    2026-02-26
  • 边缘磁场装置及半导体加工设备
    边缘磁场装置及半导体加工设备_北京北方华创微电子装备有限公司_202410668900.7
    本发明提供一种边缘磁场装置及半导体加工设备，应用于半导体加工设备，包括磁体结构和磁场调节结构，其中，磁体结构设置于半导体加工设备的工艺腔室的侧壁周围，用于在工艺腔室中形成磁场；磁场调节结构包括具有预设磁导率的导磁介质，导磁介质设置于磁体结构...
    2026-02-26
  • 一种高纯度溅射靶材生产工艺
    一种高纯度溅射靶材生产工艺_上海郑璞金属材料有限公司_202511574104.8
    一种高纯度溅射靶材生产工艺，属于半导体材料和薄膜沉积技术领域，采用防氧化提纯、铜基适配热等静压、梯度晶粒调控、界面匹配焊接、防氧化后处理等一系列步骤，充分强化铜材的特性，针对性解决缺陷，获得适用于12英寸级以上半导体芯片互连层、液晶显示器电...
    2026-02-26
  • 一种回收钌残靶制备钌靶材的方法
    一种回收钌残靶制备钌靶材的方法_河南东微电子材料有限公司_202511164733.3
    本发明提供一种回收钌残靶制备钌靶材的方法，属于靶材领域，上述方法包括将钌残靶与对应的背板进行解绑操作，以使钌残靶与背板分离；进而在钌残靶完成焊接层金属清除的情况下，将钌残靶切割成块状；并将块状钌残靶焊接成钌电极棒；进一步将钌电极棒熔炼成钌锭...
    2026-02-26
  • 一种液晶聚合物/氧化硅复合薄膜及其制备方法、太阳能电池背板
    一种液晶聚合物/氧化硅复合薄膜及其制备方法、太阳能电池背板_宁波聚嘉新材料科技有限公司_202510936881.6
    本发明涉及高分子材料技术领域，具体而言，涉及一种液晶聚合物/氧化硅复合薄膜及其制备方法、太阳能电池背板；液晶聚合物的制备方法包括：将对羟基苯甲酸、2‑羟基‑6‑萘甲酸、苯并咪唑‑5, 6‑二甲酸、对苯二酚与酰基化试剂、催化剂混合得到反应混合...
    2026-02-26
  • 一种耐磨抗污涂层及其制备方法、应用和井下工具
    一种耐磨抗污涂层及其制备方法、应用和井下工具_中国石油天然气集团有限公司_202410688647.1
    本发明属于材料表面防护技术领域，具体涉及一种耐磨抗污涂层及其制备方法、应用和井下工具。该制备方法包括以下步骤：1)构建非光滑基体表面；2)对基体进行清洗和烘干；3)采用多弧离子镀的方法，在基体表面交替沉积Ti金属层和TiAlCN层，其中，基...
    2026-02-26
  • 一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统
    一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统_四川省机械研究设计院(集团)有限公司_202511577741.0
    本发明涉及电子束气相沉积技术领域，涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积室系统，包括：沉积室主体，其内部形成第一腔室和第二腔室，第二腔室位于第一腔室外侧；沉积室主体的侧壁形成连通装载结构的进出料口，以及用以设置电子枪的连接位，进出料口...
    2026-02-26
  • 一种大功率电子束物理气相沉积设备的原位辐射加热系统
    一种大功率电子束物理气相沉积设备的原位辐射加热系统_四川省机械研究设计院(集团)有限公司_202511577709.2
    本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域，应用于航空发动机涡轮叶片热障涂层制备，具体涉及一种大功率电子束物理气相沉积设备的原位辐射加热系统，包括相对设置并形成加热腔的两个加热单元，所述加热单元包括集成了加热元件的壳体，壳体两端设置端盖并通过端盖...
    2026-02-26
  • 一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积控制系统及方法
    一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积控制系统及方法_四川省机械研究设计院(集团)有限公司_202511577660.0
    本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域，具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积控制系统及方法，系统包括：设备层，包括伺服系统，包括至少两处伺服装置，用以交替控制气相沉积室处物料进出；电子枪系统，至少包括两处电子枪模块并对应配置热发射...
    2026-02-26
  • 一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备
    一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备_四川省机械研究设计院(集团)有限公司_202511577632.9
    本发明涉及电子束物理气相沉积技术领域，具体涉及一种发动机叶片用大功率电子束物理气相沉积设备，包括沉积室系统，其中气相沉积室设置至少两处电子枪连接位，和若干处偏转封闭结构，至少两处偏转封闭结构与电子枪连接位一一对应并用以封闭或开启气相沉积室壁...
    2026-02-26
  • 一种全角度激光雷达视窗及其制备方法
    一种全角度激光雷达视窗及其制备方法_上饶市锐诚光电有限公司_202410687656.9
    本发明涉及一种全角度激光雷达视窗及其制备方法，本发明的全角度激光雷达视窗的制备方法，包括如下步骤：测试圆环Si膜的光学参数及Tooling值、测试圆环SiO2膜的光学参数及Tooling值、设计全角度激光雷达视窗要镀制的滤光膜的膜层结构、在...
    2026-02-26
  • 一种复合铝箔膜面修复方法
    一种复合铝箔膜面修复方法_扬州纳力新材料科技有限公司_202511271717.4
    本发明公开了一种复合铝箔膜面修复方法，涉及固态电池技术领域，包括以下步骤：将改性氯化聚丙烯置于二甲苯中，超声混匀，将溶液均匀涂覆在基膜表面，60‑80℃烘干，真空干燥1‑2h，得到改性基膜；将改性基膜置于卷绕小车中，设置参数，通入氧气，将蒸...
    2026-02-26
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