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拖动滑块完成拼图
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  • 本发明公开了一种Bump芯片抛平方法及Bump芯片,涉及半导体技术领域,所述方法包括:建立抛平过程中凸点剖面轮廓的抛物线模型;依据抛物线模型得到凸点穹顶高度h与凸点底面跨度d的关系;得到凸点底面跨度d的范围,并作为焊盘尺寸范围I;依据芯片推...
  • 本发明涉及半导体制备与键合工艺领域,提出一种改进的键合工艺方法,其中包括湿法刻蚀、等离子活化和键合等工艺。所述方法包括测量材料表面的氧化膜层厚度;对键合材料的表面进行湿法刻蚀;对键合材料进行等离子活化;对键合材料进行键合操作;以及对键合材料...
  • 本发明涉及使用管芯接合装置的管芯定位方法,装置包括:滑架;线性编码器,包括编码器标尺以及第一和第二编码器头。滑架包括接合头和相机。接合头的中心轴和相机的光轴沿着行进方向彼此相距第一距离。第一和第二编码器头沿着行进方向彼此相距第二距离,第二距...
  • 一种覆晶封装制程,包含有:制备多个芯片,各该芯片设置多个导电凸块;制备多个线路载板,各该线路载板对应于各该导电凸块分别配置一焊垫;将各该芯片翻覆并对位,各该芯片及各该线路载板运送至一批量式回焊炉内,进行金属熔接作业,制成多个覆晶封装结构;填...
  • 一种用于CSP产品塑封治具,下治具总成包括底部治具及其支架,底部治具通过安装底板安装在支架上,底部治具采用一模两腔结构,用于同时容纳两个CSP封装体,底部治具设有物料放置台,物料放置台的短边两端设有物料压边机构,物料放置台长边的一侧也设有物...
  • 方法包括:形成封装组件,包括形成延伸穿过衬底的热通孔;和将管芯接合至热通孔;将封装组件的热通孔附接至封装衬底的第一导电焊盘,其中封装衬底包括位于第一导电焊盘下方的热管;以及将支撑结构附接至封装衬底的第二导电焊盘,其中热管位于第二导电焊盘下方...
  • 本发明涉及芯片封装技术领域,尤其涉及可降解模具辅助的超声波指纹芯片超薄金属化封装方法,包括如下步骤:S1:玻璃基板上形成底部电极;S2:均匀铺设PVDF高分子压电薄膜;S3:形成顶部电极图形;S4:形成钝化层;S5:芯片的集成安装;S6:安...
  • 本申请公开了一种晶圆对解键合方法,包括如下步骤:将器件晶圆和载体晶圆键合形成的晶圆对放置于特定位置,所述器件晶圆和所述载体晶圆之间通过粘合剂形成有用于键合的粘合剂层;执行通过溶剂对所述粘合剂层的边缘进行溶解消除的预解键合工序,使得所述粘合剂...
  • 本发明涉及材料加工的技术领域,具体而言,涉及一种Al/AlN/AlSiC散热模块及其一体化制备方法和IGBT器件。其中,Al/AlN/AlSiC散热模块的一体化制备方法包括:将Al层、AlN层和AlSiC层依次叠放形成三明治结构,并在每相邻...
  • 本发明公开了一种芯片封装结构中的中介层及其制备方法,该方法包括以下步骤:提供中介层,在中介层上刻蚀制备多个微通孔;预制高铜柱,提供载体晶圆,在载体晶圆的第一表面键合中介层;将高铜柱精准配合至微通孔内,使微通孔金属化,高铜柱和微通孔之间的空隙...
  • 本发明公开了一种氮化铝覆铜衬板制作方法,包括激光切割、保护膜印刷、副产物清洗、焊料印刷、烧结、覆膜曝光显影、铜蚀刻、焊料蚀刻和分板步骤。本发明通过对工艺路线优化与整合,无需由基板供应商定制有“切割缝”的氮化铝基板,降低采购成本;其次减少11...
  • 本发明公开一种基于金刚石基的热管理封装基板的制备方法,包括S100,对金刚石片的部分表面进行激光打孔处理;S200,对金刚石片进行高温氧化处理,以去除打孔过程中金刚石片表面附着的石墨;S300,对金刚石片使用DPC工艺,使其表面形成导通线路...
  • 本发明公开了一种超薄复合毛细结构的制作方法,所述复合毛细结构主要由铜网与铜粉复合烧结而成;所述制作方法主要包括以下步骤:步骤1)、准备好厚度为0.05mm~0.1mm的铜网;步骤2)、配制铜浆,将铜粉、粘结剂和造孔剂按一定比例混合均匀后得到...
  • 本公开涉及制造半导体器件的方法以及对应的半导体器件。半导体管芯布置在基板的表面的第一区域处。附加材料被施予到基板的表面的第二区域上以提供凸起构造的浮雕图案。电绝缘材料被模制到基板的表面上,半导体管芯布置在基板的表面的第一区域处。电绝缘材料封...
  • 本公开公开了一种利用焊料可润湿镀覆制造半导体集成电路封装的方法,所述方法包括以下步骤:提供放置在单体化带上的无引线封装的阵列,其中所述阵列包括引线框架,各引线框架具有在下侧处的接触垫、和包封层,所述集成电路被包封在所述包封层中;在底侧处将导...
  • 本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种离子注入方法。所述方法包括以下步骤:准备待注入晶圆,所述待注入晶圆具有离子注入面;在所述待注入晶圆的离子注入面上制备导电层;自所述导电层向待注入晶圆进行离子注入,离子注入期间保持导电层接地,得到离子注入...
  • 本发明涉及图案形成方法。本发明提供借由进行等离子照射而相对于以往的有机下层膜图案展现优良的边缘粗糙度的抗蚀剂下层膜图案形成方法。本发明提供一种图案形成方法,包含下述步骤:于基板上形成抗蚀剂下层膜、于该抗蚀剂下层膜上形成含硅抗蚀剂中间膜、于该...
  • 一种半导体结构的制备方法,包括:形成初始半导体结构;在所述初始半导体结构的表面形成待保护层;在所述待保护层的表面形成保护层,所述保护层内存在沿所述保护层的厚度方向延伸的针孔缺陷,所述保护层的材质为非晶硅;在所述保护层的表面形成金属层,之后热...
  • 本申请提供了一种深沟槽电容器和硅通孔的制造方法,所述方法包括:根据第一光刻胶层上定义出的硅通孔的图案,对待处理晶圆表面的硬掩模层进行初步刻蚀,得到硅通孔的初步浅槽;去除第一光刻胶层,保留硬掩模层;在硬掩模层的表面依次沉积抗反射层和第二光刻胶...
  • 本申请公开了半导体等离子刻蚀的刻蚀方法和设备,其在等离子刻蚀的真空腔中引入带有由能够使等离子体通过的开口的阵列构成的特定图案的金属掩模并将其置于待刻蚀的基板上方且与该基板保持一定间距的位置,这样在等离子刻蚀过程中所产生的等离子体经由所述金属...
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