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  • 本发明公开了一种激光与电场耦合能量注入的等离子体光源系统及方法,涉及等离子体光源技术领域。其中,激光系统产生激光并聚焦激光至等离子体光源,通过激光为等离子体光源注入能量;在等离子体光源发生器上施加电压,点亮等离子体光源,通过电场为等离子体光...
  • 提供一种准分子灯,能够容易地抑制制造工序中的污垢且作业性高。准分子灯的特征在于具备:外侧管,沿管轴方向延伸;内侧管,在所述外侧管的内侧在所述管轴方向上延伸配置;发光管,所述外侧管和所述内侧管在所述管轴方向上的端部被密封而成;发光气体,封入于...
  • 本发明提供准分子灯。在准分子灯中,对紫外线照射对象物有效地照射紫外线。紫外线照射装置的准分子灯具有放电容器(520)和处理容器(530),对放电容器(520)的电介质(560)设置扩径部(561),对放电容器(520)的放电管(521)设置...
  • 本申请涉及一种光电离光强可选四极杆质谱仪及其使用方法。光电离光强可选四极杆质谱仪包括光源腔、主腔体、四极杆质量分析器、光电倍增管、分子泵及光强选择组件;光强选择组件用于选择光强;主腔体包括电离室及分析室,电离室内安装有用于聚焦电离形成的离子...
  • 本发明涉及质谱分析技术领域,涉及一种磁螺旋飞行时间质谱分析装置及分析方法,装置包括离子光学系统、磁场产生系统、飞行腔体、离子检测器以及计算机控制系统,离子光学系统通过静电偏转器调节离子源在目标磁场系统提供的目标磁场下以目标偏转角度入射至飞行...
  • 本发明公开了一种用于气相离子分子反应的激光剥蚀电离源傅里叶变换离子回旋共振质谱仪,包括依次连接的激光剥蚀离子源模块、单聚焦透镜模块、傅里叶离子回旋共振模块、反应气体分子进样模块和反向离子激发系统模块。根据本发明的质谱仪可以由可切换的激光剥离...
  • 本发明提供一种离子谱仪,涉及空间中低能量离子探测的技术领域,该离子谱仪包括:能谱筛选装置,通过对具有不同能量的多个待测离子束施加第一电场,使得多个待测离子束偏转并允许具有预定能量范围的目标离子出射,能谱筛选装置包括:第一壳体;第一极板,被构...
  • 一种用于质谱仪的真空进样接口,包括毛细管和加热层,加热层利用三个金属固定件进行首尾两端接地及中间位置连接电极端,通过电阻式电加热的方式间接对毛细管进行加热。或者,一种用于质谱仪的真空进样接口包括毛细管,基于三个金属固定件,使得毛细管的首尾两...
  • 本申请涉及像增强器技术领域,实施例具体公开了一种自动门控型像增强器声频噪声抑制装置及方法,包括:稳压供电电路模块、微处理器、低压脉冲电路模块、选通门电路模块和阴极输出电路模块,其中,所述稳压供电电路模块的输入端连接2~4VDC电源,输出端输...
  • 本发明涉及晶圆处理设备技术领域,尤其涉及一种反应腔室及晶圆处理设备,包括石英管、感应线圈、第二屏蔽笼和第一屏蔽笼,石英管设于处理室的顶部;感应线圈环绕设于石英管的外侧;第二屏蔽笼环设于石英管外,第二屏蔽笼上开设有若干个贯穿其侧壁的第二轴向狭...
  • 本发明公开了一种真空离子源刻蚀腔贵重金属回收防污染内衬结构及刻蚀机,属于真空干法刻蚀领域,包括内衬板,以及覆盖于内衬板表面的功能胶层;所述功能胶层的室温弹性模量为0.5GPa~2.2GPa,室温下挥发性有机物含量≤45ppm,耐温范围为常温...
  • 本公开涉及一种涉及半导体器件制造技术领域,提供一种离子注入机的程式生成方法、装置、介质、离子注入机及程序产品。包括:获取操作参数;根据操作参数,从数据库中确定出与操作参数相似的预设操作参数,其中,数据库中存储有多个预设程式,以及每一预设程式...
  • 本发明申请涉及一种电磁感应线圈与法拉第筒结合的束流检测装置,属于离子注入机技术领域。电磁感应线圈与法拉第筒结合的束流检测装置包括:第一电磁感应线圈、法拉第筒、第二电磁感应线圈、管道、第三电磁感应线圈和第四电磁感应线圈;管道引导带电粒子束流进...
  • 提供能够减少试样的位置偏离的试样保持器。试样保持器(100)是对试样照射离子束来加工试样的试样加工装置用的试样保持器,包含:保持器基体(10);试样保持部(20),其保持试样(2);以及位置固定部(40),其将试样保持部的位置固定,位置固定...
  • 本申请提供一种短路保护结构及熔断器,涉及低压电器技术领域。该短路保护结构包括:第一导电件,串联在熔断器的主回路中;分断装置,用于切断第一导电件;信号生成模块,与分断装置连接,用于在主回路的信号熔丝熔断后,生成用于触发分断装置切断第一导电件的...
  • 一种高压熔断器辅助更换装置,属于高压熔断器技术领域,为了解决更换时管体的形态难以稳定,容易发生随意的晃动,甚至会从空中坠落,从而会对更换操作带来一定的难度以及安全隐患,且考验工作人员的熟练度的问题,发明包括主体杆和设置在主体杆外部上侧的保险...
  • 一种小型断路器。解决了现有新能源直流系统故障电流电弧断开困难的问题。它包括壳体,还包括:静触头,设于壳体内;动触头,设于壳体内;所述的动触头具有与静触头相贴合使得电路导通的第一位置和与静触头分离的第二位置;所述的壳体内设有供动触头摆动的分断...
  • 一种高分断断路器,包括壳体、灭弧室、静触头、动触头及位于动触头两侧的产气罩,在触头分合区与灭弧区之间、且位于所述产气罩的出气侧与所述灭弧栅片的进气端之前,设有一对隔板;每个隔板上设有多个间隔分布的缺口,各个缺口用于在所述隔板上形成交替的隔离...
  • 本申请提供一种断路器及不间断电源,断路器包括第一母排、第二母排、主触头和多个弧触头;弧触头包括弧动触头和弧静触头;当弧动触头和弧静触头接触时,多个弧触头通过导电件以形成串联连接,串联连接的多个弧触头中位于首端的弧触头与第一母排连接,串联连接...
  • 本发明涉及一种开关电器,涉及电器领域,包括中空的壳体、型腔隔离件、操作机构模块和灭弧室模块,所述型腔隔离件设置于壳体内,将壳体内部中空区域分隔为上型腔和下型腔,所述操作机构设置于上型腔,所述灭弧室模块设置于下型腔。与现有技术相比,本发明通过...
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