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  • 本发明公开了一种基于多参数协同控制的导轴瓦自动研磨系统及方法, 涉及高精度轴承零件的智能研磨领域。该系统包括状态感知模块、节奏解析模块、阶段识别模块、目标权重调整模块、调度协调模块、曲面接触均衡模块、夹具热变形补偿模块、区域能量积分模块及终...
  • 本发明公开了一种屏幕修复工艺和设备, 属于屏幕修复技术领域, 包括机架, 机架上设置有工作台, 工作台上设置有抛光组件, 抛光组件包括挡钩立柱, 挡钩立柱与挡钩横梁固定连接, 挡钩横梁顶部安装有挡钩, 挡钩末端通过挡钩轮轴与挡钩轮连接, 挡...
  • 本发明提供了一种镜板研磨装置和研磨方法, 根据本发明的实施例, 本发明采用了如下的技术方案:一种镜板研磨装置, 包括:架体;电机, 设于所述架体;支撑座, 与所述电机的输出端相连接, 所述支撑座具有放置镜板的支撑位;研磨组件, 所述研磨组件...
  • 本发明提供一种CMP抛光液的失效评价及补偿方法, 涉及碳化硅加工技术领域。失效评价方法包括:抛光液循环使用一段时间后, 测量抛光液的氧化性、磨粒平均粒径和pH值, 若氧化性、磨粒平均粒径及pH值均大于预设值, 则继续利用抛光液对下一批工件抛...
  • 本发明提供了一种中心孔研孔加工装置及方法, 该方法采用顶尖锥面上带有多个第一渐变式容屑槽的左侧CBN涂层顶尖和顶尖锥面上带有多个第二渐变式容屑槽的右侧CBN涂层顶尖进行加工的。多个第一渐变式容屑槽的槽宽和多个第二渐变式容屑槽的槽宽均为渐变式...
  • 本发明涉及研磨装置技术领域, 且公开了一种二十辊轧机机架梅花孔研磨装置, 包括液压马达, 所述液压马达的输出端一侧设置有马达支座, 所述液压马达的输出端连接有联轴器部件, 所述联轴器部件的输出端套接有花键轴部件, 所述花键轴部件的外壁转动套...
  • 本发明公开了玻璃研磨用托盘悬挂补偿机构及快速对位脱卸方法, 属于精密玻璃加工领域。补偿机构包括若干均匀固定于托盘边框四边的托盘柱头, 以及若干均匀固定于托盘传动导轨和研磨头托盘固定装置的柱头夹持组件, 托盘柱头与柱头夹持组件一一对应。本发明...
  • 本发明涉及镜片加工领域, 尤其涉及一种便于调节的镜片加工用研磨设备, 包括有底座、研磨盘、固定框和电动夹持器一等;底座固接有研磨盘, 且研磨盘上表面设置为凸弧形曲面;研磨盘开有若干个通槽, 每个通槽内各固接有一个固定框;每个固定框前侧和后侧...
  • 本发明提出了一种应用于金刚石衬底的精磨工艺, 步骤包括:将离子纳米流体均匀涂覆于蜂窝复合磨垫表面, 形成初始润滑层, 再将至少四个金刚石衬底排列放置于初始润滑层上并通过研磨装置施加预压力;持续通入离子纳米流体, 提高对金刚石衬底的施加压力至...
  • 本发明公开了一种钢带研磨抛光设备, 涉及抛光机床的技术领域, 包括安装立架, 安装立架内部设有上料区域和研磨区域;研磨区域内设有上横架和下横架, 上横架和下横架分别由第一驱动装置和第二驱动装置驱动垂直移动;上横架和下横架上均固定安装有驱动电...
  • 本发明提供一种抛光液供应装置、化学机械抛光单元和晶圆处理设备, 抛光液供应装置包括基座组件、摆臂组件、抛光液喷嘴和喷嘴座;喷嘴座设置在摆臂下方, 喷嘴座底部设置有冲洗喷嘴, 用于自上而下朝向抛光垫喷射清洗液, 其中, 冲洗喷嘴为扇形喷嘴, ...
  • 本发明公开了一种在线检测抛光液状态的护圈及检测方法, 属于晶圆抛光技术领域。在线检测抛光液状态的护圈, 包括护圈本体, 护圈本体的下方设置有抛光垫, 抛光垫固定在转台上, 抛光垫的上方设置有抛光液箱, 护圈本体通过固定座与连接座连接, 连接...
  • 本发明涉及高端数控机床制造技术领域, 特别涉及一种龙门导轨磨床轨道精确移动传输结构, 包括机架、龙门架、工作台、支撑座以及传输结构, 所述传输结构包括联动组件以及直动组件, 本发明一种龙门导轨磨床轨道精确移动传输结构通过机架作为基础结构提供...
  • 本发明涉及精密机械加工技术领域, 尤其是指一种柔性研磨器及其加工方法, 该柔性研磨器包括十字万向头、压力控制机构和研磨组件, 所述十字万向头与压力控制机构可转动连接;所述压力控制机构包括上壳体、下壳体、支撑轴和平衡导向组件, 所述上壳体和下...
  • 本发明属于工件固定技术领域, 具体涉及一种线轨专用磨床工件固定盘, 包括底座;吸附机构, 所述吸附机构包括沿竖直方向滑动安装在底座上的升降架, 所述升降架的上转动安装有转动架, 所述转动架上滑动安装有两个吸附组件;支撑机构, 所述支撑机构包...
  • 本发明公开一种用于市政管道施工的顶管施工管道定位装置, 包括:底板, 底板的顶面安装有框架;夹持组件, 夹持组件安装在底板的顶面, 夹持组件上设置有两组夹持工位;承载组件, 承载组件设置有两组;平面移动组件, 平面移动组件安装在框架上, 平...
  • 本发明涉及齿轮夹持装置技术领域, 且公开了一种传动齿轮生产用外圆磨床夹持装置, 包括工作台, 所述工作台的顶部固定连接有电动滑轨, 所述电动滑轨的输出端安装有打磨台, 所述电动滑轨的输出端安装有夹持台, 所述夹持台的内壁转动连接有转盘, 所...
  • 本申请提供了一种晶圆表面缺陷的检测方法、装置及半导体制造系统, 涉及集成电路制造技术领域, 本申请在晶圆加工的不同工艺阶段, 对目标晶圆进行表面扫描, 分别生成与各工艺阶段对应的颗粒分布图;其中, 各颗粒分布图用于表征工艺引入的颗粒, 以及...
  • 本发明属于补偿垫片打磨技术领域, 公开了一种补偿垫片打磨去除量自动测量装置及其方法, 补偿垫片打磨去除量自动测量装置包括测量设备、控制箱和上位机, 包括测量模组、激光传感器和限位工装, 待测量垫片限位固定于限位工装上, 测量模组设置有X轴滑...
  • 本申请涉及数控控制技术领域, 具体涉及一种数控系统的进给倍率控制方法。该方法包括:获取每个时刻的电流、功率和振动幅度;基于采集参数和砂轮变化特征以及进给速度获取磨损速率;在增速区间内基于磨损速率变化确定最优进给速度;基于当前时刻和对应增速区...
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