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  • 本发明提供了一种Ta‑C复合涂层及制备方法, 所述复合涂层形成于高速钢基体、不锈钢基体或铸铁基体上, 所述复合涂层包括依次层叠设置的过渡层和耐磨层;所述过渡层包括Me层、MeN层、Me(W)N层以及MeWN层;所述耐磨层包括WC层、WC/T...
  • 本发明公开了一种脉冲磁控溅射涂层制备装置及制备方法, 属于磁控溅射技术领域, 包括溅射罐;溅射罐内设有靶材溅射机构和基板夹持机构;靶材溅射机构用于夹持并轰击靶材, 以产生靶材原子;基板夹持机构包括固定架;固定架上设有以溅射罐轴线为中心对称布...
  • 本发明公开了一种半导体生产用陶瓷基板镀膜设备, 涉及镀膜设备技术领域, 镀膜设备包括输送机构、夹持机构、清洁机构、镀膜机构和温控机构, 输送机构和夹持机构传动连接, 夹持机构和清洁机构传动连接, 输送机构和镀膜机构紧固连接, 温控机构和镀膜...
  • 本发明属于离子镀膜技术领域, 具体涉及一种高靶材利用率的条形平面磁控阴极, 包括条形靶材、背板、内磁钢和外磁钢, 其中:条形靶材固定于背板上, 外磁钢设置于背板背对条形靶材的一侧, 包含至少一个N‑S磁极对;内磁钢完全嵌入在背板内, 每个内...
  • 本发明提供一种超导薄膜及其制备工艺设备, 工艺设备中溅射系统和基底系统在反应腔室内上下相对;工作气体进气通道位于反应腔室的壳体靠近靶材的位置, 反应气体进气通道位于反应腔室的壳体靠近基底系统的位置, 排气口位于反应腔室侧壁的壳体。本发明设置...
  • 本发明涉及镀膜设备技术领域, 具体公开了一种氧化物高阻隔镀膜设备及其真空卷绕系统, 包括真空镀膜箱, 所述真空镀膜箱的顶端一侧固定连接有抽气管, 通过在真空镀膜箱上固定抽气管, 抽气管上安装第一泵体、第二泵体、第三泵体, 依次为初级旋片泵、...
  • 本发明提供一种改善金刚石基氮化钽薄膜电阻性能的方法, 涉及电阻器制造领域。包括以下步骤:将金刚石衬底放置在磁控溅射腔室的样品台上, 密封溅射腔室抽真空;通入氩气在一定功率下对金刚石衬底进行预溅射;开启样品台旋转, 通入氩气, 调节Ta靶溅射...
  • 本发明涉及离子束溅射技术领域, 具体地说, 涉及一种离子束溅射复合膜控制系统及方法。包括参数逆向求解模块、靶材运动控制模块和界面污染抑制模块。本发明通过参数逆向求解模块采集复合膜的目标成分组成和预存的靶材物理参数数据, 利用逆向积分方程求解...
  • 本发明属于离子镀膜技术领域, 具体涉及一种具有可变磁场特性的多弧离子源。该多弧离子源, 包括:阴极, 固定于阴极支撑座上;磁体组件, 设置于阴极支撑座背对阴极的一侧, 包括第一永磁体阵列和旋转磁场发生装置;旋转磁场发生装置包括第二永磁体阵列...
  • 本申请属于半导体制造设备技术领域, 具体涉及一种进气装置及基板处理设备, 进气装置包括一个混合腔、多个输气管道和多个脉冲阀, 混合腔与反应腔连接, 混合腔包括多个进气孔, 输气管道的第一端连接一个进气孔以使输气管道与混合腔连通, 至少部分输...
  • 本发明涉及真空镀膜机冷却技术领域, 具体公开了一种真空镀膜机的镀膜腔体快速冷却机构及其冷却方法, 包括冷却箱, 所述冷却箱的上侧固定连接有真空镀膜机本体, 所述真空镀膜机本体的四周腔体内部固定连接有冷却水管, 通过在真空镀膜机本体四周腔体内...
  • 本发明涉及超厚复合涂层技术领域, 尤其涉及一种多层结构的超厚复合涂层及其制备方法, 包括有有基体、粘结层、过渡层、交替叠层和表层;基体外表面设有由Cr层组成的粘结层, 粘结层外表面设有由CrN/CrCN双层组成的过渡层, 过渡层外表面设有由...
  • 本发明公开了一种用于导热基板的铜复合板及其制备方法。该制备方法包括具有一定厚度的金属板材, 所述金属板材具有上表面和相对的下表面, 所述金属板材蚀刻有贯穿所述上表面和下表面的多个微孔, 其中所述金属板材包括因瓦合金或可伐合金;所述金属板材的...
  • 本发明公开了一种用于提升配电箱金属部件的漆面附着能力的涂层, 涂层由如下步骤制备:在金属表面沉积第一氧化物层, 其中, 第一氧化物层包括Zn元素以及Ce元素;在第一氧化物层表面沉积第二氧化物层, 其中, 第二氧化物层包括Zn元素以及Ce元素...
  • 本发明公开了一种集热管温度选择性涂层、制备方法、集热管及涂覆方法, 涂层包括氧化铝层、氧化钛层以及氧化钨层;其中, 所述氧化铝层占涂层材料总重量的60‑70%, 所述氧化钛层占所述涂层材料总重量的20‑30%, 所述氧化钨层占涂层材料总重量...
  • 本发明涉及涂层刀具技术领域, 提供了一种高温耐磨涂层刀具及其制备方法, 刀具包括基体和涂覆于所述基体上的高温耐磨涂层;基体为WC基硬质合金;涂层由内向外包括WaAlbSicB2粘结层和TixAlySizB2功能层;其中TixAlySizB2...
  • 本发明涉及机械加工刀具技术领域, 公开了新一代高温合金GH4065A刀具表面预处理方法, 对GH4065A刀具表面进行闪变温度场处理, 高速变化的温度场使刀具表面晶格往复膨胀紧缩, 诱发位错增值, 形成空位、间隙等缺陷, 产生交变应力并消除...
  • 本发明公开一种基于高熵合金氮化物的多谱段兼容隐身涂层及其制备方法, 属于宽光谱、多波段隐身技术领域。本发明要解决现有隐身涂层在宽光谱范围内可见光吸收与红外辐射抑制难以协同优化的问题。本发明涂层包括高熵合金氮化物构成的高熵氮化物涂层, 金属元...
  • 本发明涉及一种用于在基材表面制备具有同面多色且大角度变色效果的膜层的制备方法, 属于光学薄膜技术领域。所述方法包括以下步骤:首先通过光学模拟软件设计第一膜层和第二膜层的结构参数, 使得第一膜层、第一膜层和第二膜层叠加之后在垂直入射和倾斜入射...
  • 本发明公开了一种用于甲醇汽车发动机表面改性的B/Al共掺杂多层梯度碳薄膜的制备方法, 属于表面处理技术领域。该B/Al共掺杂多层梯度碳薄膜包括用于在甲醇汽车发动机金属部件表面依次设置的Cr打底层、CrxByCz梯度过渡层以及B/Al共掺杂碳...
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