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  • 本发明公开了一种加油站纳米气泡燃油的制备方法与装置,所述装置可集成于加油站燃油储罐中,包括四个系统,分别为气相管理系统、液相循环系统、进排油系统、监控系统;所述液相循环系统包括循环油抽出口、循环油返回口,以及外置纳米气泡燃油生成单元;所述方...
  • 本发明涉及椅背生产领域,特别涉及一种办公网椅椅背扪网设备,包括安装架、转盘机构、夹持机构、折弯机构、压边机构以及检测机构,夹持机构包括固定单元和驱动固定单元移动并对椅背的左右两侧向中间位置进行挤压的压缩单元;折弯机构包括折弯板以及与折弯板可...
  • 本申请公开一种MEMS芯片、MEMS芯片的制作方法、传感器及电子设备,涉及MEMS芯片技术领域,MEMS芯片包括依次层叠设置的基底层、缓冲层、绝缘层、隔离层和活动极板层,绝缘层设置有容纳槽,容纳槽内设置有固定极板层,隔离层对应至少部分固定极...
  • 本发明提供了一种MEMS器件及其制造方法、电子装置,该MEMS器件包括:衬底,衬底中形成有凹槽;感压腔,位于凹槽中,感压腔的顶部形成有感压口,感压腔的底部与凹槽的底部连接,感压腔的侧壁由第一电极层围成;至少一个第二电极层,位于凹槽中并与第一...
  • 本发明实施例公开一种半导体器件及其制造方法。该半导体器件包括:衬底;第一绝缘层,位于衬底的一侧;振膜,位于第一绝缘层远离衬底的一侧;振膜上设置有多个微孔、波纹结构和对电极;衬底、第一绝缘层和振膜构成第一空腔;第二绝缘层,位于振膜远离第一绝缘...
  • 本发明提供了一种MEMS控制器及MEMS器件,MEMS控制器包括:封装壳,包括共同围设形成封装腔的第一板部、第二板部以及侧壁部,第一板部上开设有第一开口,第二板部上开设有第二开口;及控制组件,包括底座、悬臂以及绕流件,绕流件固定于侧壁部,底...
  • 本发明提供了一种MEMS控制器及MEMS器件,MEMS控制器包括:封装壳,包括共同围设形成封装腔的第一板部、第二板部以及侧壁部,第一板部上开设有贯穿第一板部的第一开口,第二板部上开设有贯穿第二板部的第二开口;供电板,供电板固定于侧壁部并设置...
  • 本申请公开了一种柔性信号传输结构。柔性信号传输结构包括基底和微同轴传输结构,微同轴传输结构包括外导体、支撑体和内导体。本申请通过在基底上设置多个第一应力释放槽,并将微同轴传输结构的外导体在基底上的正投影设置为与多个第一应力释放槽在基底上的正...
  • 本发明公开了一种半导体应变计的制造方法,步骤如下:S1、在(110)取向的P型单晶硅衬底上外延生长硼掺杂硅外延层;S2、在步骤S1中的外延层表面沉积钝化层;S3、通过第一光刻步骤将需要做金属沉积的位置曝光;S4、在步骤S3中暴露的外延层表面...
  • 本发明公开了一种PCB扩展背腔封装工艺,属于半导体封装技术领域。工艺步骤包括:(1)在PCB基板上点胶贴装ASIC集成芯片烘烤固化;(2)在PCB基板上涂覆胶水贴装MEMS电容式芯片烘烤固化,PCB基板上开设有扩展背腔,扩展背腔与MEMS电...
  • 本发明涉及一种基于微流控的氧合等离子体表面键合方法。本发明通过在特定真空度下对硅片和PDMS基片进行等离子清洗,实现了对硅片表面硅烷醇化修饰,使其能够与PDMS基片形成有效键合;同时,结合热板加热与烤箱烘烤处理,协同对等离子体处理后且贴合的...
  • 本发明属于微纳加工与先进制造技术领域,特别属于一种基于形状记忆合金相变驱动的三维曲面微结构的制备方法。对基底热机械处理,赋予三维曲面记忆状态,得到训练好的SMA基底;将训练好的SMA基底冷却至其马氏体相变完成温度以下,施加外部机械力,将从记...
  • 本申请公开了一种MEMS器件及其制备方法。所述MEMS器件制备方法中,先执行干法去胶工艺去除光刻胶层,再对衬底进行两次清洗液不同的湿法清洗工艺,其中第一次湿法清洗工艺用于去除部分厚度的表面保护层,并将粘黏在表面保护层上的残胶充分的释放;而采...
  • 本发明提供一种高兼容性的异质集成方法,采用形态可变介质层为媒介,将非标准尺寸的任意形状功能层和支撑衬底稳定结合后,再与其它功能层进行异质集成,最后再去除形态可变介质层和支撑衬底,得以将标准MEMS平台标准工艺难以集成的非常规尺寸材料异质集成...
  • 本发明公开一种电场传感器场增强盖板及其制备方法,属于微机电系统制造技术领域。该方法包括:在硅片或绝缘体上硅表面刻蚀凹槽形成增强结构;通过键合与减薄工艺制备平整待键合面;在玻璃片上激光切割预留孔洞;将玻璃片与键合面键合形成盖板。可选步骤包括溅...
  • 本公开提供了一种基于嵌段共聚物的导向自组装方法及图案化结构,方法包括:在金属衬底上形成引导模板;将形成有引导模板的金属衬底置于无规聚合物溶液中,使无规聚合物溶液中的无规聚合物通过化学键在金属衬底表面形成中性界面层,得到形成有中性界面层的导向...
  • 一种封装结构及其形成方法、电子设备,形成方法包括:将第二晶圆键合在第一晶圆上,使第一芯片和第二芯片电连接,切割区与测试接入层相对应,第二晶圆和第一晶圆之间构成隧道结构,测试接入层暴露在隧道结构中,并在测试接入层表面形成保护层,从而在对第二晶...
  • 本发明涉及储氢材料制备技术领域,具体涉及一种利用多元金属催化剂活化的铝合金带制备钠铝氢四储氢材料的方法。本发明提供了一种利用多元金属催化剂活化的铝合金带制备钠铝氢四储氢材料的方法,包括:惰性气氛下,铝单质和多元金属催化剂熔炼得到多元铝合金铸...
  • 本发明公开了一种含溴废液制取的溴素的精制提纯工艺,步骤为:(1)将含溴废液制取的溴素和水加入蒸馏釜,在60‑80℃下进行水浴蒸馏,获得粗溴;(2)将粗溴加入精馏釜,粗溴体积控制在占精馏釜容积的50%,升温至59‑70℃,然后开启计量泵向釜内...
  • 本发明属于无机化工技术领域,具体涉及一种高效催化合成溴化氢的方法。旨在解决能耗高、催化剂易失活、纯度不高等技术问题。本发明通过将氢气与汽化后的溴蒸气在特定摩尔比下混合;将混合气体导入催化反应区,与核壳结构催化剂接触进行蓝光LED照射催化反应...
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