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  • 一种多级单锥形多气口式动态气体锁装置,采用多级单锥形管道构型,管道中心的光孔通道的截面形状为多级单锥形,并由若干单锥形管道节串联而成,在单锥形管道节的管道壁上设有进气口和吸气口;沿光孔通道的中轴线方向形成逐级扩展的连续重复流道形态,对污染物...
  • 公开了一种用于曝光浮雕前体(P)的设备,该浮雕前体(P)包括基板层和至少一个光敏层,所述设备包括:第一光源(1),其包括LED阵列,所述LED阵列被配置成照射所述浮雕前体的第一侧;第二光源(2),其被配置成照射所述浮雕前体的与所述第一侧相对...
  • 本发明涉及光刻加工设备技术领域,特别是涉及一种高精度曝光机,包括上料机构、预定位机构、输送机构、下料机构、第一视觉定位机构、第二视觉定位机构、曝光机构、第一移送机械手及第二移送机械手;输送机构包括直线轨道模组和承载架,直线轨道模组沿输送方向...
  • 本发明涉及光刻装备的技术领域,公开了一种i线光刻机的非成像光刻照明系统,包括采用LED光源提供i线曝光光束的光源模块,调节照明相干因子生成离轴照明光瞳的变焦模块,采集照明光瞳图像并提取光瞳特征值形成光瞳特征时间序列的光瞳监测模块,对光束进行...
  • 本发明提供能够利用由气体或雾构成的显影流体得到良好形状的抗蚀剂图案的基片处理方法、基片处理装置和存储介质。本发明的基片处理方法,向基片供给由气体或雾构成的显影流体,对形成在所述基片上的含有金属的抗蚀剂膜进行显影来形成图案,所述基片处理方法的...
  • 本申请提供了一种液体供应系统和单晶圆处理设备。液体供应系统包括单流体喷嘴和二流体喷嘴。所述单流体喷嘴配置用于向晶圆提供高温工艺液体。所述二流体喷嘴与所述单流体喷嘴相邻,配置用于向所述晶圆提供由气体和所述高温工艺液体组成的混合流体。
  • 本发明提供了一种光阻剥离液及其制备方法和应用,属于半导体制造工艺技术领域。本发明的光阻剥离液的原料组成为:烷酮类有机溶剂20~75份、亚砜类有机溶剂5~30份、醇胺类有机溶剂5~20份、功能添加剂0.1~5份;所述功能添加剂为2, 4, 6...
  • 本申请提供了一种光刻机的晶圆对准与自动对焦装置,包括:晶圆对准模块,用于以第一波长的光线进行晶圆对准;自动对焦模块,用于以第二波长的光线进行自动对焦;二向色镜模块,相对于所述晶圆对准模块与所述自动对焦模块的光路倾斜设置,且连接所述晶圆对准模...
  • 本发明的电子设备具有对准单元和控制部。上述对准单元包括:对准辊,其向对记录介质实施处理的处理部供给上述记录介质;以及校正电动机,其能够使上述对准辊动作以校正上述记录介质的偏移。上述控制部在使用具有第一频率的第一脉冲信号驱动上述校正电动机后,...
  • 一种处理单元包括:可旋转的图像承载构件;充电辊,所述充电辊被配置为与所述图像承载构件的表面接触并对所述表面进行充电;轴支撑构件,所述轴支撑构件被配置为可旋转地支撑所述充电辊;以及刷子单元,所述刷子单元包括刷子和被配置为保持所述刷子的保持构件...
  • 本申请涉及处理单元和成像设备。一种处理单元,包括:可旋转的图像承载构件;充电辊,构造成与图像承载构件的表面接触并且对图像承载构件的表面充电;刷单元,包括构造成在接触位置处与充电辊的表面接触的刷和构造成保持刷的保持构件;框架构件,构造成将保持...
  • 本公开涉及一种处理单元,其包括:可旋转的图像承载部件;充电辊,所述充电辊配置成与图像承载部件的表面接触且配置成对所述表面充电;以及刷单元,所述刷单元包括(i)刷,所述刷包括(i‑1)板状刷基底和(i‑2)从刷基底突出并且配置成与充电辊的表面...
  • 本申请涉及一种处理单元,包括可旋转的图像承载构件、充电辊、具有刷和保持构件的刷单元、管控构件和推压构件。保持构件包括第一受力部分、第二受力部分和第三受力部分,第一受力部分被配置为接收来自推压构件的在第一方向上的力,第二受力部分被配置为接收来...
  • 本发明涉及计算机技术领域,公开了打印机碳粉余量智能感知与预警方法。该方法通过在供粉通道部署振动、电容与光学散射三类传感单元,同步采集机械振动、介电特性与颗粒散射信号,并融合供粉电机的电流与转速数据,构建4维同步时序流;经小波包分解提取各信号...
  • 显影盒,包括:壳体;能够围绕在第一方向上延伸的轴线旋转的显影辊;能够围绕在第一方向上延伸的轴线旋转的第一搅拌器;能够与搅拌器一起旋转的搅拌器齿轮;第一突起;显影存储器;电连接到显影存储器的第一电接触表面;和保持第一电接触表面的第一保持器。显...
  • 一种定影装置,包括:环形的定影带;转向辊,使定影带在宽度方向上移动;以及润滑剂施加构件,在定影带内侧沿宽度方向延伸,并且通过接触定影带的内周表面而将润滑剂施加到内周表面。相对于宽度方向,润滑剂施加构件包括第一区域和设置在第一区域的两个端部的...
  • 本发明公开了一种打印机用墨粉吸附循环组件,涉及打印机技术领域,包括主体,所述主体内设置有墨粉盒,所述墨粉盒侧壁设置有处理仓,所述处理仓侧壁固定连接有驱动电机,所述处理仓内壁对称固定连接有电极板,所述处理仓底部固定连接有废料仓、回收仓。本发明...
  • 本发明提供一种汞离子微波频标的自动运行时序设计方法,由软件根据时序,自动操作,包括:当微波、晶振、汞灯参数回读与设置数值一致且汞灯如期点亮,开始微波扫频;扫频结束后判定扫描范围及信号量无异常,进行荧光信号数据拟合;拟合得到中心频率及荧光谱线...
  • 本发明公开了一种基于SGP4模型的月影时间计算方法,涉及航天器轨道动力学与能源管理技术领域,本发明通过扩展卡尔曼滤波器状态变量,将大气阻力参数B*的瞬时噪声偏移量作为独立估计目标,形成闭合反馈环路;能实时追踪太阳活动高峰、突发地磁扰动等引发...
  • 本发明涉及一种伪卫星发射源高精度时钟控制方法,所述伪卫星发射源高精度时钟控制方法包括以下步骤:获取高精度时钟源;时间驯服;时间同步补偿算法执行。本发明的伪卫星发射源高精度时钟控制方法使用高精度GNSS时钟源与驯服恒温晶振结合,引入时间同步补...
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