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一种绝缘陶瓷轴承用高纯氧化铝热喷涂粉的制备方法
本申请涉及涂覆和表面处理技术领域,公开了一种绝缘陶瓷轴承用高纯氧化铝热喷涂粉的制备方法,包括选择氧化铝粉末,其平均颗粒大小在1到50微米之间,氧化铝粉末能够通过化学法或物理法制备,以确保其纯度和粒径分布符合要求,将步骤一中预先准备的氧化铝粉...
一种基于常规RF溅射的低温高质量氮化硅薄膜制备方法
本发明提供了一种基于常规RF溅射的低温高质量氮化硅薄膜制备方法,属于薄膜材料制备技术领域。该制备方法包括以下步骤:步骤1、将基片预处理后固定在载物台上;步骤2、将靶材固定在磁控溅射系统腔体内,之后抽真空;步骤3、加热基底,使基底温度为30℃...
薄膜沉积装置及薄膜沉积方法
本发明提出的薄膜沉积装置,包括:处理腔室,用于进行薄膜沉积;喷淋头,设置在所述处理腔室的顶部,用于向所述处理腔室内供应工艺气体;基板支撑组件,设置在所述喷淋头的下方,所述基板支撑组件包括固定部和旋转部,所述旋转部的下表面与所述固定部的上表面...
一种在石墨基体上实现快速CVD碳化硅涂层的方法
本发明涉及材料表面改性技术领域,且公开了一种在石墨基体上实现快速CVD碳化硅涂层的方法,该在石墨基体上实现快速CVD碳化硅涂层的方法,包括以下步骤:S1、石墨基体预处理,对石墨基体进行表面粗糙化处理,依次包括混合酸蚀刻和低温等离子体活化;S...
一种双面镀膜机
本实用新型公开了一种双面镀膜机,包括真空腔体,真空腔体内设置有用于释放薄膜的放卷装置和用于收卷完成镀膜的收卷装置;放卷装置与收卷装置的送膜路径上设置有第一冷却主鼓、牵引组件和第二冷却主鼓,第一冷却主鼓和第二冷却主鼓的下方均设置有蒸镀装置,以...
一种光伏焊带风刀位置自动调节装置及其工作方法
本发明涉及一种光伏焊带风刀位置自动调节装置及其工作方法,包括固定安装在支架上的齿轮环仓和底环板,所述齿轮环仓和底环板之间等角度转动安装有若干个第一螺纹杆,所述第一螺纹杆上螺纹安装有螺纹筒,且螺纹筒安装在升降板内,若干个所述升降板等间距设置在...
硅氧化物的低压化学气相沉积
提供用任选地经掺杂的硅氧化物膜以填充具有中等深宽比且大关键尺寸的半导体衬底特征的低压化学气相沉积方法和装置。用于沉积的前体包括具有至少一个大体积取代基的硅前体和氨基硅烷。该方法可额外包括周期性等离子体处理和/或蚀刻。
半导体设备的装料方法
本申请公开了一种半导体设备的装料方法。该半导体设备的装料方法包括:在半导体设备的多个托盘内分别装填物料,多个托盘内装填的物料的尺寸范围不同;其中,多个托盘沿第一方向依次堆叠于半导体设备的罐体内。
一种用于刀具前刀面的复合润滑减摩涂层的制备方法
本发明提供一种用于刀具前刀面的复合润滑减摩涂层的制备方法,包括以下步骤:将预处理的刀具基体置于真空室的基片架上;加热刀具基体至预设沉积温度;采用非平衡磁控共溅射工艺,同时溅射至少一个硬质相靶材和至少一个润滑相复合靶材以沉积涂层;通过对刀具基...
热浸镀锌钢管高上锌量控制方法及系统
本申请涉及钢管镀锌技术领域,公开了一种热浸镀锌钢管高上锌量控制方法及系统。该方法包括:采用二次酸洗二次水洗预处理工艺彻底去除钢管表面杂质和酸液残留,通过溶剂在线处理和复合助镀剂系统形成均匀盐膜提升基体浸润性,利用光谱仪实时监测并调控锌液中铝...
一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统
本发明涉及半导体加工技术领域,更具体地说,涉及一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统。本发明提供了一种液态源蒸发罐设备,包括蒸发罐罐体、补液组件以及超声发生器:所述蒸发罐罐体,内部存储液态化学源;所述补液组件,设置于所述蒸发罐罐体的底部,...
一种复合涂层、其制备方法及其在玻璃模压模具中的应用
本发明公开了一种复合涂层、其制备方法及其在玻璃模压模具中的应用。沿厚度方向,该复合涂层依次包括Cr层和C‑Pt纳米复合层;通过在基体表面依次沉积Cr层,在Cr层表面沉积C‑Pt纳米复合层,制得复合涂层。本发明显著弱化甚至消除了复合涂层中团簇...
一种带有多层纳米涂层的刀具及其制备方法
本发明公开了一种带有多层纳米涂层的刀具及其制备方法,刀具包括刀具基体和设置在刀具基体表面的多层纳米涂层,所述多层纳米涂层从内向外依次包括过渡层、功能层和保护层;所述功能层包括交替设置的耐磨层和润滑层,所述功能层中的最上层和最下层为耐磨层。制...
一种硬质合金表面强结合力的类金刚石功能层的制备方法
本发明公开了一种硬质合金表面强结合力的类金刚石功能层的制备方法,真空变脉冲渗碳阶段,将加工后的硬质合金刀具采用分段加热的方式从室温加热到650~850°C,保温至心表均温后,再升温至渗碳温度950°C~1350°C;通入渗碳介质以变脉冲方式...
一种微型热管自封闭水热处理方法
本发明涉及传热元件制造的技术领域,具体涉及一种微型热管自封闭水热处理方法。微型热管自封闭水热处理方法包括:向微型热管内注入水热反应介质后,将所述微型热管密封并进行加热、保温,以在所述微型热管内进行水热反应并在所述微型热管内壁形成纳米结构层。...
一种微孔铜箔及其制备方法和应用
本发明提供了一种微孔铜箔及其制备方法和应用,包括以下步骤:(1)将铜箔表面预处理;(2)在经过步骤(1)预处理的铜箔表面施镀催化层;(3)将步骤(2)得到的铜箔置于化学镀液中,沉积镍合金层;(4)对镍合金层进行化学氧化,再进行碱性蚀刻;(5...
一种具有多模式红外防伪效果的温敏多层膜结构的制备方法
本发明涉及一种具有多模式红外防伪效果的温敏多层膜结构的制备方法,具体步骤如下:将硅片衬底洗净后用吹干;在硅片衬底层上沉积Al作为金属高反射层;然后在金属高反层上沉积Si作为间隔层并退火处理;再在间隔层上沉积V2O5作为相变材料层,并退火处理...
一种锌铝镁镀层钢板用缓蚀剂及制备方法、复合保护膜
本发明提供了一种锌铝镁镀层钢板用缓蚀剂及制备方法、复合保护膜,属于金属表面处理领域。以质量分数计,所述缓蚀剂的组分包括:溶质:0.1%~10%,溶剂90%~99.9%;其中,以质量份计,所述溶质的化学成分包括:噻唑类缓蚀剂30份~50份,聚...
一种有机材料表面高导热率金属薄膜高精度激光刻蚀方法
本申请涉及一种有机材料表面高导热率金属薄膜高精度激光刻蚀新方法。利用金属材料中晶体缺陷、晶体大小、晶体取向决定晶格中原子的排布方式从而影响热能通过声子和电子的传递方式的原理,通过调控金属材料的晶体结构,减少瞬时激光能量在金属薄膜横向的热传导...
一种钛合金球窝喷管的制备方法
本发明属于热喷涂技术领域,涉及一种钛合金球窝喷管的制备方法。本发明采用钛合金环锻件作为球窝喷管材料,通过固溶时效处理提升钛合金强度和稳定性,在不改变球窝喷管结构设计情况下,结构重量降低40%,满足火箭发动机轻量化的控制要求。采用爆炸喷涂制备...
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