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五金工具产品及配附件制造技术
铝稀土改性模具涂层制备方法及模具
本发明涉及一种铝稀土改性模具涂层制备方法及模具,方法包括以下步骤:对模具基体表面进行预处理,所述预处理包括激光表面织构化,以在所述基体表面形成微米级的织构阵列;预处理后,氩离子轰击清洗所述模具基体的表面;清洗后,采用磁控溅射技术在所述模具基...
一种铪基铁电薄膜氧缺陷含量控制方法
本发明涉及一种铪基铁电薄膜氧缺陷含量控制方法,所述方法包括步骤:配置铪基铁电薄膜制备原料;设置生长氧调控参数;根据所述生长氧调控参数利用所述铪基铁电薄膜制备原料制备铪基铁电薄膜;设置退火氧调控参数;根据所述退火氧调控参数对所述铪基铁电薄膜进...
大尺寸薄膜制备工艺的快速优化装置和方法
本申请涉及一种大尺寸薄膜制备工艺的快速优化装置和方法,装置包括基片固定件、靶材固定件和掩模版;基片固定件用于固定基片,且基片可自转地固定于基片固定件上;靶材固定件用于固定靶材;掩模版设置于基片和靶材之间,掩模版包括图案窗口;其中,基片相对于...
对准设备和对准方法
本发明涉及对准设备和对准方法。对准设备包括:基板保持部件,其被构造成保持基板;掩模保持部件,其被构造成保持掩模以使得掩模与保持在基板保持部件上的基板相对;磁力产生部件,其被构造成产生磁力,用于使保持在掩模保持部件上的掩模朝保持在基板保持部件...
一种储气罐及压力调节系统
本申请涉及一种储气罐及压力调节系统,该压力调节系统包括:至少两个内部设置有预压结构的储气罐,该预压结构的形态可发生变化,用于调节所述腔室内的压力;切换装置,用于分别连接各储气罐的流气口与工艺腔体,以控制单个储气罐向工艺腔体内供气;控制装置,...
一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法
本发明公开了一种针对低饱和蒸气压前驱体源的原子层沉积供气方法,属于原子层沉积反应设备技术领域。该系统通过将质量流量控制器与原有的进气气动阀相结合,实现了对沉积过程中前驱体源瓶中气体量的精确控制;并通过压力计实时监测前驱体源瓶内部的压力,实现...
一种涡轮导向叶片多机器人协同自动化喷涂系统及方法
一种涡轮导向叶片多机器人协同自动化喷涂系统及方法,系统分为上/下料区、吹砂区、喷涂区及涂层厚度检测区;方法为:零件上线→吹砂→吹砂后清理→吹砂表面状态检测→面结构光检测→超音速火焰喷涂→大气等离子喷涂面结构光检测→零件下线。本发明的涡轮导向...
一种热镀锌带钢表面条状物的控制装置
本申请公开了一种热镀锌带钢表面条状物的控制装置,包括:炉鼻子;第一吹气组件,包括流量调节阀、总管以及第一吹气管,所述流量调节阀安装于所述总管,所述第一吹气管设有两个,两个所述第一吹气管的输入端与所述总管连通,输出端分别位于所述炉鼻子沿带钢宽...
一种PVD加热室的温度控制方法
本发明公开了一种PVD加热腔室的温度控制方法,涉及半导体领域,PVD加热室包括腔室和测温组件,腔室的底壁设有支撑座,腔室的顶壁设有反射板和红外辐射灯,测温组件包括红外检测仪和控制终端,红外检测仪的探测头伸入腔室,温度控制方法包括:开启红外辐...
偏压装置
本发明提供一种偏压装置,包括:载台主体;载台,设置在载台主体上;所述载台主体和载台能够升降;绝缘导热盘,设置在载台上,绝缘导热盘的上表面用于承载晶圆;在载台主体、载台和绝缘导热盘中对应设有顶针孔;绝缘顶针,穿设在载台主体、载台和绝缘导热盘中...
蒸发源的温度控制方法和蒸镀设备
本申请涉及一种蒸发源的温度控制方法和蒸镀设备。上述方法包括:在送丝装置为蒸发舟进行送丝的过程中,在检测到送丝过程的送丝结果满足预设送丝需求时,控制蒸发舟中的铝液进入成膜流程;在成膜的过程中,根据检测到的蒸发舟的温度变化情况和/或铝液蒸发速度...
一种电阻蒸发镀膜设备及蒸发镀膜方法
本发明属于蒸镀设备技术领域,具体为一种电阻蒸发机构、带有上述蒸发机构的电阻蒸镀设备及方法,包括左右对称设置的两个支撑架,每个支撑架均包括位于中部的横梁和位于两侧的电极固定板,其中电极固定板与横梁相互垂直,电极固定板上固定有电极,两个支撑架中...
一种连续上料的真空镀膜设备
本实用新型提出了一种连续上料的真空镀膜设备,包括镀膜腔室、样品库腔室和上下料装置,所述镀膜腔室与样品库腔室密封连通;所述样品库腔室内存放有若干样品,所述上下料装置用于将样品库腔室内的样品移入镀膜腔室进行镀膜,并将镀膜后的样品移入样品库腔室内...
一种多联体导向叶片耐蚀热障涂层镀覆方法
本发明属于航空金属材料镀覆技术领域,具体涉及一种多联体导向叶片耐蚀热障涂层镀覆方法。采用氧化锆陶瓷丸进行吹砂前处理,优化表面轮廓,避免颗粒嵌入基体,增强涂层附着力;其次,利用专用涂覆夹具实现叶片快速定位和装夹,确保喷涂均匀性;最后,通过超音...
一种提高电池壳用镀镍带钢使用性能的方法
一种提高电池壳用镀镍带钢使用性能的方法,包括:1)带钢表面脱脂;2)带钢进入真空镀膜机真空腔体对带钢进行预热处理;预热处理采用双面预热,加热器布置在带钢两侧,采用横向磁通感应加热线圈对带钢进行加热,加热温度为150~250℃;3)带钢经预热...
抗腐蚀与雷达-红外兼容隐身功能一体化涂层及其制备方法
本申请提供一种抗腐蚀与雷达‑红外兼容隐身功能一体化涂层及其制备方法,涉及金属材料镀覆领域。一体化涂层设置在陶瓷基材上;一体化涂层包括粘结层、抗腐蚀层、雷达吸波层和红外隐身层,抗腐蚀层包括第一子抗腐蚀层、第二子抗腐蚀层和第三子抗腐蚀层,形成第...
大气等离子喷涂制备氟化钇复合陶瓷涂层的方法及应用
本发明涉及表面工程技术领域,公开了一种大气等离子喷涂制备氟化钇复合陶瓷涂层的方法及系统,旨在解决氟化钇涂层在铝基材表面因氟离子扩散生成脆性氟化铝层导致结合强度低、易剥落失效的问题。该方法包括:对铝基材依次进行机械打磨、超声清洗与喷砂粗化;制...
一种双面氮化铁及钛涂层熔射喷涂工艺
本发明公开了一种双面氮化铁及钛涂层熔射喷涂工艺,包括下述步骤:1)复合材料制备,2)冲压氮化,3)抛光清洗,4)涂料制备,5)熔射喷涂,6)抛光检查,在3003铝两面堆叠低碳钢材料,制成复合材料,后对复合材料进行530℃的高温氮化处理,增加...
一种边缘钝化反应设备及边缘钝化方法
本发明公开了一种边缘钝化反应设备及边缘钝化方法,反应设备包括反应腔体,反应腔体的上下两侧分别设有进气口和抽气口,反应腔体内侧上方设有喷淋匀流板,且喷淋匀流板与进气口连通,以实现工艺气体经喷淋匀流板匀流扩散后再分布至反应腔体内;反应腔体内设有...
一种改善金属基底表面缺陷的传感器薄膜及制备方法和传感器
本申请提供了一种改善金属基底表面缺陷的传感器薄膜,是通过低压化学气相沉积法和射频等离子体组合协同沉积覆盖在金属基底上的氮化硅薄膜,氮化硅薄膜的厚度H≥金属基底表面缺陷的轮廓最大高度Rz。制备方法:选取表面缺陷的轮廓最大高度Rz≤R0的金属基...
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