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一种可调节的真空镀膜机
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种可调节的真空镀膜机,其技术方案包括:机体和螺块,所述机体活动安装有往复丝杆,所述螺块与往复丝杆啮合连接,所述螺块顶部活动安装有螺套,所述螺套顶部啮合连接有螺杆,所述螺杆顶部固定安装有承载板,所述...
一种C轴择优取向YAlN薄膜及其制备方法与应用
本发明提供了一种C轴择优取向YAlN薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括:(1)将衬底置于抽真空的腔体中,加热衬底至离子注入温度;(2)向腔体中通入第一气体至腔体内的气压至第一工作压力,对衬底表面进行离子注入处理;(3)向所述腔体中通入...
一种金属氢化物表面钛基阻氢涂层结构的制备方法和应用
本发明公开一种金属氢化物表面钛基阻氢涂层结构的制备方法和应用,该涂层结构由金属氢化物基体和钛基阻氢层组成,钛基阻氢层覆盖在金属氢化物基体表面;钛基阻氢层的化学组成成分为氮化钛。其制备方法为:步骤(1)、将金属氢化物基材依次进行打磨处理、化学...
一种带有清洁功能的溅射镀膜机
本实用新型公开了一种带有清洁功能的溅射镀膜机,括溅射镀膜机本体与放料板,溅射镀膜机本体的左侧设置有清理机构,清理机构包括驱动组件与电动推杆,驱动组件用于驱动电动推杆前后往复移动,电动推杆的伸缩端固定连接有U型杆,U型杆通过安装组件安装有清理...
金属制品加工用带有定位功能的镀膜装置
本实用新型涉及镀膜装置领域,尤其涉及金属制品加工用带有定位功能的镀膜装置,包括有防护仓;还包括有轴承座、传动轴、从动齿轮一、电机一、主动齿轮一、连接杆、密封门、把手、安装杆三和橡胶轮,防护仓的右表面前侧设置有两个对称的轴承座,轴承座的内部转...
真空蒸发镀膜设备及真空蒸发镀膜系统
本实用新型提供了一种真空蒸发镀膜设备及真空蒸发镀膜系统,其中,真空蒸发镀膜设备,包括:真空腔室;传送装置,包括间隔布置于真空腔室内的多个辊子、驱动辊子转动的第一驱动装置以及设置与辊子上的传送带,辊子驱动传送带运动,传送带包括位于辊子上方的传...
一种FIB-SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置
本实用新型公开了一种FIB‑SEM双束系统中的离子束辅助沉积装置,包括工作台,工作台的顶部固定设置有密封箱体;密封箱体的一侧设置有贯穿至密封箱体内部的离子柱系统,密封箱体的顶部设置有电子柱系统,密封箱体的背面设置有背板,且背板上固定安装有旋...
用于真空蒸发镀膜装置的传送系统以及真空蒸发镀膜装置
本实用新型提供了一种用于真空蒸发镀膜装置的传送系统以及真空蒸发镀膜装置,其中,用于真空蒸发镀膜装置的传送系统,包括:辊组,包括多根沿第一方向V1间隔布置的可枢转的辊子,辊子包括辊轴本体以及沿辊轴本体的轴向方向上间隔布置的多个支撑凸环,支撑凸...
一种具有内部流道的镍基合金零件及其加工方法
本发明公开了一种具有内部流道的镍基合金零件及其加工方法,所述具有内部流道的镍基合金零件的加工方法,包括以下步骤:对镍基合金坯体进行内部流道结构精加工及外部结构粗加工,得到半成品零件;对所述半成品零件进行去应力处理;对去应力处理后的所述半成品...
用于摩擦学应用的掺杂DLC
本发明涉及一种非氢化过渡金属掺杂类金刚石碳(DLC),其中非氢化DLC包括选自元素周期表的4d族、5d族和6d族的至少一种过渡金属。至少一种过渡金属的一部分以至少一种过渡金属的碳化物的形式存在于作为基质的非氢化DLC中,并且另一部分作为金属...
一种硅基蒸镀上料装置
本实用新型涉及显示器技术领域,具体地说,本实用新型涉及一种硅基蒸镀上料装置,包括硅片支架(1);所述硅片支架(1)的顶部设有传感器组件;所述硅片支架(1)的底部设有支撑旋转组件;所述支撑旋转组件包括吸盘结构;所述硅片支架(1)上设有晶圆;所...
基片装夹装置
本实用新型公开了基片装夹装置,属于镀膜设备技术领域。基片装夹装置包括负载架、至少一个第一滑动件及第二滑动件,负载架上设有装夹通孔;第一滑动件的长度沿X轴延伸且位于装夹通孔内,第一滑动件沿Y轴滑动连接于负载架;第一滑动件上至少设有一个第二滑动...
一种基于PECVD的基底预清洁方法
本申请公开了一种基于PECVD的基底预清洁方法,属于半导体薄膜沉积技术领域。该方法主要包括:将待沉积基底放置于沉积腔体内的加热器上,并将闭合的沉积腔体内的真空度调整至第一预定值;以预定大小的流量向沉积腔体内通入氩气,并将沉积腔体内的真空度调...
化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法
本发明公开了一种化学气相沉积法制备TaC涂层用前驱体进料系统及方法。该系统包括内壁均设有保温层且串联连接的前驱体罐、一级缓冲罐和二级缓冲罐,其中,前驱体罐内通过添加导热惰性材料改善前驱体TaCl55粉末的导热均匀性,实现稳定升华;一级缓冲罐...
一种管内壁电弧离子镀膜设备及镀膜方法
本发明公开了一种管内壁电弧离子镀膜设备及镀膜方法,涉及管状构件内壁处理技术领域,包括上、下腔室组成的镀膜容器,下腔室移动对接上腔室形成密闭腔体,上腔室设装夹夹具定位待镀管状工件,引弧针位于工件轴心,与靶材引弧放电,外侧设阳极构成回路,靶材竖...
一种真空过渡室换样装置
本发明涉及一种真空过渡室换样装置,包括,过渡室主体、磁流体密封机构、旋转机构、升降机构和转接法兰,所述过渡室主体上设置有连接窗口,所述转接法兰与连接窗口连接,所述过渡室主体内部设置有样品承载机构,所述样品承载机构包括旋转轴、轴承座和样品承载...
一种真空蒸镀机的顶部防着装置
本实用新型提出一种真空蒸镀机的顶部防着装置,蒸镀机包括腔体,腔体由顶板、围板、底板围设而成,腔体顶部设有防着装置,包括侧壁防着板、第一防着板、第二防着板,侧壁防着板围绕腔体上部一圈且设于围板内侧,顶板下方设有第一防着板和第二防着板,第一防着...
一种钛钼镍合金件的镀锌加工装置
本发明涉及镀锌设备技术领域,具体是一种钛钼镍合金件的镀锌加工装置,包括底板和镀锌池,镀锌池内两侧对称设有用于导向板材的导向管,位于两个导向管之间通过立柱支撑连接有第一夹板,镀锌池上和第一夹板相对处安装设置有横梁架,横梁架上通过伸缩杆连接设置...
一种涓流化辅助制造的原子层沉积装置和方法
本发明公开了一种涓流化辅助制造的原子层沉积装置和方法。所述涓流化辅助制造的原子层沉积装置包括:涓流化辅助系统、反应腔体、前驱体源系统、气路系统、尾气处理系统、控制系统和供电系统。所述涓流化辅助系统能将进入所述反应腔体的前驱体源进行涓流化处理...
半球谐振陀螺电极检测基座金属化膜层蒸镀工装、系统及方法
本发明公开了一种半球谐振陀螺电极检测基座金属化膜层蒸镀工装、系统及方法,解决了现有技术中存在电极检测基座表面蒸镀的金属化膜层粗糙且均匀性较差的问题,具体包括真空腔、设置在真空腔内的蒸镀设备,以及设置在蒸镀设备上经过优化的半球谐振陀螺电极检测...
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