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工艺腔室及半导体工艺设备
本申请提供一种工艺腔室及半导体工艺设备,工艺腔室包括监测装置、控制装置、加热装置、进气装置以及主调整机构,监测装置用于确定晶圆径向上各位置的发射率;主调整机构包括温度场调整机构和/或气流场调整机构,温度场调整机构与加热装置相连,控制装置控制...
一种水氧阻隔封装薄膜及其制备方法和应用
本发明公开了一种水氧阻隔封装薄膜及其制备方法和应用,属于有机光电器件封装技术领域。本发明通过优化原子层沉积(ALD)与等离子体增强化学气相沉积(PECVD)成膜的薄膜结构与工艺,使制备的薄膜水蒸气透过率(WVTR)显著降低,进一步引入氧化物...
一种酸马奶冻干粉、酸马奶片及其制备方法与应用
本发明提供一种酸马奶冻干粉、酸马奶片及其制备方法与应用,涉及乳制品技术领域。本发明的酸马奶冻干粉的制备方法包括如下步骤:S1.将新鲜马奶经过脉冲强光‑热协同杀菌处理得到无菌马奶;S2.将无菌马奶发酵得到酸马奶发酵液;S3.将酸马奶发酵液置于...
分体式晶圆支撑机构、工艺腔室、加工方法及存储介质
本发明提供了分体式晶圆支撑机构、工艺腔室、加工方法及存储介质。分体式晶圆支撑机构包括多个第一环体、多个第二环体及第一升降机构。多个第一环体经由多根第一支杆设于工艺腔室内部,用于支撑晶圆边缘的多个第一位置。多根第一支杆位于晶圆下方的喷淋头的外...
一种用于固体氧化物电池金属连接体的防护涂层的制备方法
本发明属于表面工程技术领域,涉及一种用于固体氧化物电池金属连接体的防护涂层的制备方法。本发明首先采用反应溅射模式在金属基底上沉积致密的过渡金属氧化物内层,再采用金属溅射模式沉积过渡金属合金外层,形成过渡金属氧化物/过渡金属合金复合涂层,经退...
一种辅助降血压的功能性奶及其制备方法
本发明属于保健食品技术领域,具体涉及一种辅助降血压的功能性奶及其制备方法,按重量计,包括以下原料成分:生牛乳99.5%、钾离子桥联的柑橘纤维‑绿茶多酚网络0.5%,其中,生牛乳先后经过胰蛋白酶和脯氨酸特异性内切酶处理、HPCD‑超声处理及脉...
一种对长内孔零件渗碳的防变形工装及方法
本发明涉及工装夹具技术领域,尤其涉及一种对长内孔零件渗碳的防变形工装及方法。工装包括:支撑杆(2)、安装板(3)、限位工装(4),其中,安装板(3)的顶端均匀安装有多个支撑杆(2),限位工装(4)固定在支撑杆(2)上,所述限位工装(4)的内...
一种具有低介损的超平滑化学银镀液及其制备方法
本发明公开了一种具有低介损的超平滑化学银镀液及其制备方法,属于线路板技术领域。该镀液包括硝酸银、络合剂、氨基磺酸、柠檬酸铵、稳定剂、成核剂、润湿剂、二甲基胺硼烷和蒽醌季铵盐。将硝酸银等原料按顺序溶解混合,加入特定组分后调节pH,最终加水定容...
一种镁合金表面的锡酸盐化学转化涂层及其制备方法
本发明属于金属材料表面涂层制备与腐蚀防护技术领域,具体涉及一种镁合金表面的锡酸盐化学转化涂层及其制备方法。通过将镁合金浸泡于加入聚电解质的锡酸盐化学转化处理溶液中,聚电解质能在金属表面吸附,与锡酸盐反应产物形成更致密、更均匀的复合涂层,提升...
一种铁钴镍基高熵合金纳米阵列阳极及其制备方法和应用
本发明提供了一种铁钴镍基高熵合金纳米阵列阳极及其制备方法和应用,属于纳米功能薄膜材料技术领域。本发明首先通过电化学沉积构建ZnO阵列作为模板,再在其间隙磁控溅射高熵合金,最后溶解掉ZnO模板,极大地增加了电极材料的电化学活性表面积,为电化学...
一种激光喷涂送粉装置
本实用新型涉及激光喷涂技术领域,公开了一种激光喷涂送粉装置,包括底座,所述底座的一侧设有控制面板和控制按钮,还包括:L形板和储粉桶;L形板倒置在底座的顶端一侧,所述储粉桶设置在L形板上;过滤盒和振动结构;过滤盒设置在L形板的下方,储粉桶的底...
一种CVD炉的工艺气体导入管结构
本发明涉及一种CVD炉的工艺气体导入管结构。其包括一用于安装在炉体上的连接管,连接管呈T形管,连接管包括用于对接气体进口的对接管部以及导向套部,对接管部与导向套部相互垂直且相互导通;还包括一接头管,接头管滑动设置在导向套部的内部,导向套部的...
一种差异化柱状晶结构的双陶瓷层热障涂层及制备方法
本发明公开了一种差异化柱状晶结构的双陶瓷层热障涂层及制备方法,属于热障涂层腐蚀与防护技术领域。本发明创新性地发现并利用了柱状晶尺寸对涂层性能的双重影响:YSZ层采用1~1.5 μm的细晶结构可显著提高涂层结合强度和抗热震性能;改性锆酸钆层采...
一种正面进料的PEALD镀膜系统
本发明提供了一种正面进料的PEALD镀膜系统,涉及半导体设备技术领域。包括:工艺腔室组件、连接在所述工艺腔室组件上的等离子体组件、进气组件、真空组件,所述工艺腔室组件至少包括两个工艺腔室;两个所述工艺腔室的背面侧设置有等离子体通道以连接所述...
一种适用于航空航天领域的钕铁硼无氰镀镉铁合金工艺
本发明公开了一种适用于航空航天领域的钕铁硼无氰镀镉铁合金工艺,包括在钕铁硼基体上从内到外依次制备硫酸盐镀锌层、无氰铜锌合金镀层、无氰镉铁合金镀层、及钝化层。无氰镀镉铁合金工艺为:氯化镉25~35g/L,四水合氯化亚铁4~6g/L,氯化钾10...
高速电主轴用轴承表面真空镀膜的旋转支撑装置
本发明涉及支撑结构的技术领域,特别是涉及高速电主轴用轴承表面真空镀膜的旋转支撑装置,包括主轴、安装于所述主轴上的基体和安装于所述基体上并为轴承自转提供动力的动力组,所述主轴轴线与轴承共面,且所述主轴轴线与轴承中心重合,所述基体上设置有一支撑...
一种PVD电镀蒸发源的加热机构
本实用新型涉及电镀设备技术领域,尤其涉及一种PVD电镀蒸发源的加热机构,包括真空室,真空室的上端设置有抽真空机构,真空室内设置有固定基台,固定基台的上端设置有安置台和固定杆,所安置台设置有安置槽,所述安置槽内设置有坩埚,固定台的上端设置有电...
一种可调式镀膜工件用伞型工架
本实用新型公开了一种可调式镀膜工件用伞型工架,其包括连接部以及连接于连接部上的多根支脚,连接部上设有与支脚连接的滑动槽,连接部上设有定位组件;定位组件包括位于滑动槽内的弹性定位部,弹性定位部的抵触端与支脚相连;调节两支脚之间的间距时,驱动弹...
一种化学气相沉积用基体支撑构件及其使用方法
本发明公开了一种化学气相沉积用基体支撑构件及其使用方法,属于化学气相沉积技术领域,解决了基体在化学气相沉积碳化硅涂层过程中,基体支撑处无法涂覆涂层造成基体裸露的问题;其具体包括支撑座,支撑座上活动连接有若干根支撑杆,若干根支撑杆上支撑有待沉...
一种INVAR36模具的修复方法
本发明涉及一种INVAR36模具的修复方法,其包括以下步骤:采用三维扫描仪扫描待修复的INVAR36模具,获取三维坐标点云数据;根据三维坐标点云数据制定修复路径;根据修复路径对INVAR36模具进行表面处理;根据修复路径INVAR36模具进...
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