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一种高纯液态前驱体输送装置
本发明属于集成电路的技术领域,更具体地说,它涉及一种高纯液态前驱体输送装置,其技术方案要点是:包括瓶体、分隔层、雾化组件、进料管和出料管;其中瓶体作为装置的主体结构,内部通过分隔层被划分为两个独立的腔室:第一腔室和第二腔室。第一腔室主要用于...
气体导流环的安装定位结构和镀膜设备
本实用新型涉及一种气体导流环的安装定位结构和镀膜设备。气体导流环的安装定位结构用于将气体导流环安装至镀膜腔顶盖的过程中对气体导流环进行定位,安装定位结构包括:多个定位柱,定位柱的第一端用于与镀膜腔顶盖上的安装槽连接,安装槽内包括用于限定定位...
一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置
本发明涉及一种提高磁过滤电弧离子镀沉积速率的装置,包括过滤器,过滤器由各个首尾相连的管段构成,所述的管段为直管段,管段的数量≥3。本发明提供的上述方案,通过改变过滤器的结构,过滤器可有效过滤掉等离子体中的微观颗粒,适用于多种金属\合金\石墨...
一种含铁铝青铜表面用置换镀铜液及其使用方法
本发明公开了一种含铁铝青铜表面用置换镀铜液及其使用方法。只需将待处理的铝青铜试样进行除油、除锈之后,将其浸泡在置换镀铜液中,即可在表面生成均匀且与基体结合力良好的金属铜层。本发明中所提及的置换镀铜液外观为蓝色稳定的透明溶液,制备金属铜层所需...
一种蒸镀机的镀料蒸汽均匀分布挡板
本实用新型公开了一种蒸镀机的镀料蒸汽均匀分布挡板,包括支撑轴、挡板,所述支撑轴一端表面靠近下端设有驱动单元,所述驱动单元上表面固定安装有转动单元,所述转动单元转动部位固定连接有多边形接头,所述多边形接头下端和挡板上端设置有连接结构,所述连接...
一种钢管防脱碳的加工方法
本发明公开了一种钢管防脱碳的加工方法,本发明中,将Rx气体发生炉与钢管煅烧炉连通,根据钢管煅烧炉的容积及钢管的数量确定Rx气体的首次通入量,并且精准的控制Rx气体中各组分的占比,使钢管能够充分进行渗碳反应,随后再次进行补通Rx气体及N₂,N...
齿轮激光修复装置
本申请提供一种齿轮激光修复装置,包括:喷嘴主体,喷嘴主体在沿其轴向上为分体结构且包括第一主体部和第二主体部,第一主体部设有绕其轴向间隔设置的多个第一送粉孔,第二主体部设有多个送粉孔组件,多个送粉孔组件的出粉口大小不同,多个送粉孔组件中的多个...
一种便于拆卸的金属喷涂用挂具
本实用新型公开了一种便于拆卸的金属喷涂用挂具,涉及金属喷涂技术领域,包括第一安装框和拆装组件,所述第一安装框上端中部设置有挂钩,所述第一安装框内部设置有拆装组件,且拆装组件包括螺纹安装槽、安装螺杆、限位框、螺纹槽、螺纹转杆、辅助转把和夹持板...
一种化学气相沉积设备的反应腔室
本实用新型提供一种化学气相沉积设备的反应腔室,包括腔室主体,腔室主体包括相对设置的第一壳体和第二壳体;第二壳体与第一壳体配合形成反应腔;第一壳体与底座固定连接;第二壳体通过导向机构与第一壳体活动连接,并在升降装置的带动下靠近或远离第一壳体,...
一种基片承载座和气相生长设备
本申请提供一种基片承载座和气相生长设备。该基片承载座包括基座、轴体、托盘和高度调节机构;轴体固定穿设于基座的底面中部,基座顶面设置放置托盘的第一凹槽,第一凹槽朝向轴体的一侧壁为开口侧壁;托盘顶面设置有第二凹槽,托盘包括近端部和远端部,近端部...
一种双重键合构建复合超疏水涂层的方法
本发明涉及一种双重键合构建复合超疏水涂层的方法。以不经预处理的洁净铜片为基底,将铜片浸渍于纳米颗粒与含巯基的硅氧烷乙醇组成的悬浮液中,取出、冲洗、干燥后,再浸渍于全氟硫醇乙醇溶液中,取出、冲洗、干燥,获得铜基超疏水表面涂层。该方法制得涂层具...
一种用于碳钢自攻螺钉生产的表面渗碳处理设备
本发明涉及渗碳处理技术领域,具体涉及一种用于碳钢自攻螺钉生产的表面渗碳处理设备,包括:分段渗碳处理机构,所述分段渗碳处理机构包括用于渗碳处理的处理箱,所述处理箱内设置有用于加热螺钉的电磁加热线圈。通过使用水先将螺钉的尖端与杆身处使用水进行浸...
一种双旋磁控溅射阴极
本申请公开了一种双旋磁控溅射阴极,包括靶管,用于装载靶材;第一驱动组件,用于驱动靶管绕其中心轴线旋转;其特征在于:还包括磁性组件,同轴设置于靶管内部;第二驱动组件,用于驱动磁性组件绕其中心轴线旋转;第一驱动组件和第二驱动组件被独立控制,以使...
一体化匀流气相喷淋头、成型工艺及半导体薄膜沉积设备
本发明涉及一种一体化匀流气相喷淋头、成型工艺及半导体薄膜沉积设备,其中,该喷淋头包括:一体成型的喷淋本体,所述喷淋本体的第一侧被设置为进气侧、第二侧被设置为出气侧,所述喷淋本体位于靠近所述出气侧的内部开设有呈网格状纵横交错、并相互连通以形成...
一种利用低碳煤矸石与低浓度瓦斯余能发电的循环流化床系统及方法
本发明涉及新型循环流化床锅炉和固废资源化利用技术领域,公开了一种利用低碳煤矸石与低浓度瓦斯余能发电的循环流化床系统及方法,包括进料组件、返料组件、燃烧组件、烟气余热回收组件、瓦斯分级调配组件及尾气处理组件;本系统通过将煤层开采出的瓦斯稀释至...
一种无铬表面钝化处理液及其应用
本发明属于金属表面处理技术领域,提供了一种无铬表面钝化处理液及其应用。本发明的无铬表面钝化处理液包括以下重量百分比的组分:硅烷水解溶液30~70%,不挥发有机酸4~7%,水性树脂5~25%,水溶性防锈剂1~5%,氟化物0.1~2%,助剂0....
一种航空合金板材加工用钻孔装置
本发明公开了一种航空合金板材加工用钻孔装置,主要涉及钻孔技术领域,包括移动系统、外架子,外架子上设有内固定圈和主电机,内固定圈上安装有大齿圈,主电机的输出轴利用连接头分别安装有上滑槽架、底转柱架、下滑槽架,下滑槽架上设有花边加工齿轮、带凸柱...
一种便于装卸工件的氮化处理挂具
本实用新型涉及处理挂具技术领域,公开了一种便于装卸工件的氮化处理挂具,包括安装挂钩和连接挂柱,所述连接挂柱的外部套设有转动轴座,所述转动轴座的两侧连接有一号支撑横杆,所述一号支撑横杆前端开设有滑动槽,所述滑动槽的前端插设有锁紧旋钮,所述一号...
一种镀锌钢卷钝化处理装置
本实用新型涉及钢卷加工的技术领域,特别是涉及一种镀锌钢卷钝化处理装置,其不仅利用喷洒和涂抹增强了钝化液的涂抹效果,保证钝化膜厚度达标,而且可以在涂抹完成后对残留的钝化液进行刮除,对钢卷表面进行烘干,提高工作效率;包括传送机构;还包括储液机构...
一种提高吸气膜靶材利用率的圆形磁控溅射装置的磁场结构
本发明公开了一种提高吸气膜靶材利用率的圆形磁控溅射装置磁场结构。吸气膜做为一种新型的真空封装材料,目前的主流制备技术是圆形平面装置磁控溅射技术,其中吸气膜靶材属于一种稀土合金靶材,价格昂贵,工业生产中要求尽可能提高其靶材利用率,降低生产成本...
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