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叉指换能器、谐振器及声表面波滤波器
本申请公开了一种叉指换能器、谐振器及声表面波滤波器, 包括并列设置的第一汇流排、第二汇流排, 第一汇流排上朝向第二汇流排延伸设有多个第一指条、第二指条, 第二汇流排上朝向第一汇流排延伸设有多个第三指条、第四指条, 每一第一指条与每一第三指条...
一种晶圆级封装结构、其制作方法、射频组件及电子设备
本申请提供了一种晶圆级封装结构、其制作方法、射频组件及电子设备。晶圆级封装结构包括:滤波器芯片、挡墙、保护层和导电连接件。滤波器芯片包括:衬底、电极结构和第一焊盘。衬底包括:层叠设置的支撑层和压电层。电极结构和第一焊盘位于压电层背离支撑层的...
一种谐振器及制备方法
本申请涉及半导体技术领域, 具体涉及一种谐振器及制备方法, 谐振器包括衬底依次层叠设置在所述衬底上的下电极、压电层以及上电极;所述压电层上具有离子注入区和离子扩散区, 所述离子注入区的离子浓度大于所述离子扩散区的离子浓度;所述离子注入区的深...
谐振器、滤波器、电子设备
本申请提供一种谐振器、滤波器和电子设备。涉及谐振器技术领域。谐振器包括衬底、第一电极、压电层和多个第二电极;还包括第一汇流条和第二汇流条, 多个第二电极中相邻两个第二电极中一个为第一叉指电极, 另一个为第二叉指电极;第一电极在衬底上的正投影...
具有间距恒定IDT的体声学谐振器
提供了一种体声学谐振器, 该体声学谐振器包括:压电层;第一母线和第二母线, 在压电层的表面上, 并且沿第一方向延伸;以及指状物单元, 彼此相邻。指状物单元中的每个单元包括从第一母线延伸的第一指状物和从第二母线延伸的第二指状物。此外, 每个指...
空腔型体声波谐振器及其制备方法
本发明公开了一种空腔型体声波谐振器及其制备方法, 涉及半导体射频器件领域。其中, 制备方法包括以下步骤:(1)在临时衬底上形成压电层;(2)形成下电极层并图形化;(3)形成填充层并图形化, 图形化后的下电极层的投影覆盖图形化后的填充层;(4...
弹性波装置、弹性波滤波器、多工器
本发明申请涉及具有高线性度的弹性波装置、弹性波滤波器、多工器, 属于弹性波技术领域, 弹性波装置包括:支承基板、布拉格反射器和压电基片;压电基片的欧拉角为(90°, 90°, ψ), 0°≤ψ≤180°;沿着第三方向, 支承基板上方形成有布...
一种体声波谐振器、滤波器及其制作方法
本申请提供一种体声波谐振器、滤波器及其制作方法, 体声波谐振器包括具有第一谐振腔的体声波谐振器载体、第一电极层、压电层、第二电极层, 以及具有第二谐振腔和散热层的体声波谐振器盖体;散热层具有至少一个凸起;第二电极层覆盖压电层的第一表面的第一...
电子器件
电子器件(1)具备:层叠多个绝缘体层(8)而形成的素体(2)、配置于素体(2)内的电感器导体及电容器导体, 电感器导体包括:第一导体(36)、第二导体(37)、第三导体(38)、连接第一导体(36)和第二导体(37)的电感器导体(13)、连...
声表面波谐振装置、滤波器以及双工器或者多工器
本公开涉及声表面波谐振装置、滤波器以及双工器或者多工器。声表面波谐振装置包括:压电层;至少两个谐振单元, 设置在压电层的表面, 每个谐振单元包括叉指电极和在声表面波的传播方向位于叉指电极两侧的反射结构, 其中:对于至少两个谐振单元中至少一个...
声表面波谐振装置、滤波器以及双工器或者多工器
本公开涉及声表面波谐振装置、滤波器以及双工器或者多工器。声表面波谐振装置包括:压电层;至少两个谐振单元, 设置在压电层的表面, 每个谐振单元包括叉指电极和在声表面波的传播方向位于叉指电极两侧的反射结构, 其中:至少两个谐振单元相互串联, 并...
声表面波谐振装置、滤波器以及双工器或者多工器
本公开涉及声表面波谐振装置、滤波器以及双工器或者多工器。声表面波谐振装置包括:压电层;至少两个谐振单元, 设置在压电层的表面, 每个谐振单元包括叉指电极和在声表面波的传播方向位于叉指电极两侧的反射结构, 其中:至少两个谐振单元相互并联;并且...
一种声表面波谐振器及其制备方法
本发明涉及集成电路制造技术领域, 具体公开一种声表面波谐振器及其制备方法, 该谐振器包括:压电衬底;IDT电极, 包括依次叠放于压电衬底上的第一电极黏附层、第一电极层、任选的第二电极黏附层和第二电极层, 第一电极层的声阻抗小于第二电极层的声...
一种声表面波谐振器及滤波器
本发明公开了一种声表面波谐振器及滤波器, 该声表面波谐振器包括:衬底;叉指换能器, 位于衬底的一侧;反射栅, 与叉指换能器同层设置, 且沿第一方向反射栅位于叉指换能器的两侧;多个反射栅沿第一方向排列且均沿第二方向延伸;沿第一方向, 任意相邻...
滤波器
滤波器包含第一谐振器、第二谐振器以及第三谐振器, 该第三谐振器在电路结构上设置于第一谐振器与第二谐振器之间, 第三谐振器包含第一谐振器用导体层。滤波器的屏蔽件的多个柱状导体包含:两个特定的第一柱状导体, 其隔开第一间隔而配置;以及两个特定的...
层叠型电子器件
电子器件具备:层叠体;屏蔽导体, 其相对于层叠体一体化;电感器, 其包含至少一个第一柱状导体、至少一个第二柱状导体以及电感器用的导体层, 其中, 电感器用的导体层将至少一个第一柱状导体与至少一个第二柱状导体连接;以及至少一个第三柱状导体, ...
一种声波滤波器及其制备方法
本发明公开了一种声波滤波器及其制备方法, 涉及半导体技术领域。所述声波滤波器包括依次设置的晶圆衬底、压电层和电极层;其中, 所述压电层包括周期性交替层叠的ε‑Ga2O3层和ε‑AlGaO层。实施本发明, 可以提高压电层结晶质量, 满足高频滤...
一种弹性波滤波器、双工器电路和电子通信设备
本申请涉及滤波器技术领域, 具体为一种弹性波滤波器、双工器电路和电子通信设备, 该弹性波滤波器包括第一双模声表面波滤波器和第二双模声表面波滤波器, 第一双模声表面波滤波器和第二双模声表面波滤波器分别包括横向排列的第一叉指换能器、第二叉指换能...
一种声表面波滤波器及其制作方法
本申请提供了一种声表面波滤波器及其制作方法, 声表面波滤波器包括基底、叉指换能器以及温度补偿层;叉指换能器设置于基底的上方, 温度补偿层覆盖于叉指换能器的表面;温度补偿层的顶端面用于与PAD金属层接触, PAD金属层用于实现对外电信号的连接...
一种超宽带小尺寸低插损可重构射频延时器
本发明提供了一种超宽带小尺寸低插损可重构射频延时器, 涉及延时器芯片技术领域, 包括串联在一起的两个开关切换可调衰减单元和多个可调延时单元;第一开关切换可调衰减单元的输入端为射频输入端, 第二开关切换可调衰减单元的输出端为射频输出端, 多个...
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木材加工工具,设备的制造及其制品制作技术
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五金工具产品及配附件制造技术
安全;消防;救生装置及其产品制造技术
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